-
Al2O3 keramik gofret chuckini maxsus qayta ishlash
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
ST.CERA moslashtirilgan yarimo'tkazgichli uskunalar keramik plitasi
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
300 mm gofretni qayta ishlash uchun 12 dyuymli alumina vakuumli patron
St.Cera’ning 12 dyuymli vakuum patroni 300 mm plastinka bilan ishlash uchun 99,8% yuqori tozalikdagi alyuminiy oksididan (Al₂O₃) aniq ishlab chiqilgan. Patron butun 300 mm diametr bo'ylab vakuumning bir xil taqsimlanishini ta'minlash uchun nozik olukli sirtga ega (oluk kengligi 0,5–1,0 mm, qadam 2–3 mm). Tekislik 5 mkm ichida saqlanadi, bu esa maydalash, orqa tomondan silliqlash va tekshirish paytida plastinkani deformatsiyasiz mahkamlash imkonini beradi. Materialning yuqori egilish kuchi (361 MPa) va qattiqligi (16 GPa) takroriy vakuum sikllari ostida ham uzoq muddatli o'lchovli barqarorlikni kafolatlaydi.
-
Integratsiyalashgan vakuum kanallari bilan alyuminiy oksidli keramik uch effektori
St.Cera kompaniyasining alyuminiy oksidi vakuum effektori aniq ishlov berilgan vakuum kanallari va so'rish teshiklarini to'g'ridan-to'g'ri 99,8% yuqori tozalikdagi alyuminiy oksidi korpusiga birlashtiradi. Ushbu dizayn tashqi vakuum prokladkalarini yo'q qiladi, bu esa plastinkani bir xil ushlab turish kuchi bilan to'g'ridan-to'g'ri olish imkonini beradi. Materialning yuqori egilish kuchi (361 MPa) va qattiqligi (16 GPa) takroriy vakuum sikllari ostida uzoq muddatli o'lchovli barqarorlikni ta'minlaydi. Prokladka maydoni bo'ylab tekislik 10 mkm ichida saqlanadi, bu plastinkaning kuchlanishi va sinishining oldini oladi. Vakuum portlari OEM robot qo'llari bilan oson integratsiyalashish uchun orqa o'rnatish flanesida joylashgan.
-
Statik sezgir gofretlarni qayta ishlash uchun ESD-xavfsiz alumina keramik qismlari
St.Cera kompaniyasining ESD (elektrostatik razryad) uchun xavfsiz alyumin oksidi keramik qismlari 99,8% yuqori tozalikdagi Al₂O₃ dan ishlab chiqariladi, bu esa 10⁶–10⁹ Ω/sq maxsus sirt qarshiligi bilan maxsus qo'shimcha yoki qoplama jarayoni orqali erishiladi. Ushbu qismlar statik zaryadni samarali ravishda yo'qotadi, sezgir yarimo'tkazgichli plastinkalar va qurilmalarga elektrostatik shikastlanishning oldini oladi. Asosiy material o'zining yuqori egilish kuchini (361 MPa), qattiqligini (16 GPa) va dielektrik kuchini (15 × 10⁶ V/m) saqlab qoladi. ESD uchun xavfsiz keramik qismlarga FAB avtomatlashtirish uchun so'nggi effektorlar, ko'taruvchi pinlar, yo'naltiruvchi relslar va maxsus moslamalar kiradi.
-
Yarimo'tkazgichli zond uskunalari uchun keramik ehtiyot qismlar
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
Keramik plastinka yarimo'tkazgich uskunalari tashuvchisi
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
Yarimo'tkazgich uskunalari keramik ehtiyot qismlari
Sovuq izostatik presslash va yuqori harorat ostida sinterlash orqali hosil qilingan, so'ngra aniq ishlov berilgan va sayqallangan keramik ehtiyot qismlar aşınmaya bardoshliligi, korroziyaga chidamliligi, past issiqlik kengayishi va izolyatsiyasi xususiyatlari bilan yarimo'tkazgich uskunalarining har qanday qat'iy talablariga javob berishi mumkin. Keramika uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum yoki korroziv gaz sharoitida ko'plab turdagi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida ishlashi mumkin.
Yuqori tozalikdagi alumina kukunidan tayyorlangan, sovuq izostatik presslash, yuqori haroratli sinterlash va aniq pardozlash orqali qayta ishlangan, u o'lchamlarga bardoshlik ± 0,001 mm gacha, sirt qoplamasi Ra 0,1 ga, haroratga chidamlilik 1600 ℃ ga yetishi mumkin.
-
Yuqori haroratli kamerani muhrlash uchun yuqori tozalikdagi alumina keramik muhr uzuklari
St.Cera keramik muhr halqasi elastomerlar parchalanadigan ekstremal muhitlarda polimer O-halqalariga alternativa sifatida ishlab chiqilgan. 99,8% yuqori tozalikdagi alumina (Al₂O₃) dan ishlab chiqarilgan ushbu qattiq muhr halqasi statik muhrlash dasturlarida - odatda yumshoq metall yoki grafit qistirmalari bilan birgalikda - 800°C gacha bo'lgan haroratlarda va agressiv plazma yoki kimyoviy muhitda ishonchli vakuum yoki gazni saqlashni ta'minlash uchun ishlatiladi. Material nol gaz chiqarishga, yuqori siqish kuchiga (asosiy egilish kuchi 361 MPa) va kimyoviy inertlikka (HFdan tashqari galogenlar, kislotalar va ishqorlarga chidamli) ega. Aniq qoplamali muhrlash yuzalari (tekislik ≤5 μm, sirt pürüzlülüğü Ra ≤0,2 μm) birlashtiruvchi metall yoki keramik komponentlar bilan oqish o'tkazmaydigan aloqani ta'minlaydi.
-
Plazma o'ymakorligi va yurak-qon tomir tizimlari uchun yuqori tozalikdagi alyuminiy oksidi kamerasining fokus halqasi
St.Cera kamerasining fokus halqasi plazma o'ymakorligi, CVD va PVD yarimo'tkazgich uskunalarida ishlatiladigan muhim jarayon to'plami komponentidir. 99,8% yuqori tozalikdagi alyuminiy oksididan (Al₂O₃) ishlab chiqarilgan halqa plazmani cheklash va ion burchak taqsimotini optimallashtirish uchun plastinka chetini o'rab oladi, shu bilan plastinka yuzasi bo'ylab o'ymakorlikning bir xilligini yaxshilaydi. Material ajoyib plazma qarshiligi, yuqori dielektrik kuchi (15 × 10⁶ V/m) va 1600°C gacha issiqlik barqarorligini ta'minlaydi, bu esa agressiv ftor yoki xlor asosidagi plazma muhitida uzoq muddatli ishonchlilikni ta'minlaydi. Aniq yerga ulash ID/OD va tekislik (≤10 μm) plastinka chetini aniq joylashtirish imkonini beradi, chekka nuqsonlari va zarrachalar hosil bo'lishini kamaytiradi.
-
CVD / PVD jarayon kameralari uchun yuqori tozalikdagi alumina keramik halqasi
St.Cera keramik halqasi CVD (Kimyoviy bug'larni cho'ktirish) va PVD (Fizik bug'larni cho'ktirish) jarayon kameralarida foydalanish uchun maxsus ishlab chiqilgan. 99,8% yuqori tozalikdagi alyuminiy oksididan (Al₂O₃) ishlab chiqarilgan ushbu halqa plazmani cheklash va kamera devorlarini eroziyadan himoya qilish uchun kamera layneri, fokus halqasi yoki jarayon to'plami komponenti bo'lib xizmat qiladi. Material ajoyib plazma qarshiligi, yuqori dielektrik kuchi (15 × 10⁶ V/m) va 1600°C gacha issiqlik barqarorligini ta'minlaydi, bu esa agressiv ftor asosidagi plazma muhitida uzoq xizmat qilish muddatini ta'minlaydi. Aniq o'lchovli toleranslar (ID/OD da ±0,05 mm) va tekislik (≤10 μm) plastinka chetlarini izchil joylashtirish imkonini beradi, cho'kma bir xilligini yaxshilaydi va zarrachalar hosil bo'lishini kamaytiradi.
-
Bernoulli keramik uchi effektori — Yupqa va mo'rt plitalar uchun kontaktsiz plastinka bilan ishlov berish
St.Cera'ning Bernoulli keramik uch effektori plastinalarni jismoniy aloqasiz boshqarish uchun aerodinamik ko'tarishdan foydalanadi. Yuqori tozalikdagi 99,8% alyuminiy oksidi (Al₂O₃) yoki kremniy karbididan (SiC) ishlab chiqarilgan bo'lib, u aniq ishlov berilgan nozullarga ega bo'lib, ular bosimli gazni chiqarib, uch effektor va plastina o'rtasida yupqa havo plyonkasini hosil qiladi. Ushbu kontaktsiz printsip orqa tomondan ifloslanishni, chekkalarning yorilishi va sirt shikastlanishini bartaraf etadi, bu esa uni yupqa (≤100 μm), mo'rt yoki qiyshiq plastinalar uchun ideal qiladi. Keramik substrat yuqori egilish kuchini (Al₂O₃ uchun 361 MPa; SiC uchun 550–600 MPa gacha), past massa va a'lo o'lchovli barqarorlikni ta'minlaydi, bu esa yuqori tezlikdagi plastinalarni uzatish robotlarida takrorlanadigan joylashishni ta'minlaydi.
