-
Προσαρμοσμένη επεξεργασία κεραμικού τσοκ γκοφρέτας Al2O3
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Κεραμική πλάκα προσαρμοσμένου ημιαγωγού ST.CERA
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Τσοκ κενού αλουμίνας 12 ιντσών για επεξεργασία πλακιδίων 300 mm
Το τσοκ κενού 12 ιντσών της St.Cera είναι κατασκευασμένο με ακρίβεια από 99,8% αλουμίνα υψηλής καθαρότητας (Al₂O₃) για χειρισμό πλακιδίων 300 mm. Το τσοκ διαθέτει λεπτή αυλακωτή επιφάνεια (πλάτος αυλάκωσης 0,5–1,0 mm, βήμα 2–3 mm) για να διασφαλίζεται ομοιόμορφη κατανομή κενού σε ολόκληρη τη διάμετρο των 300 mm. Η επιπεδότητα διατηρείται εντός 5 μm, επιτρέποντας τη στερέωση των πλακιδίων χωρίς στρέβλωση κατά την κοπή σε κύβους, την άλεση από πίσω και την επιθεώρηση. Η υψηλή αντοχή σε κάμψη (361 MPa) και η σκληρότητα (16 GPa) του υλικού εγγυώνται μακροπρόθεσμη σταθερότητα διαστάσεων ακόμη και υπό επαναλαμβανόμενους κύκλους κενού.
-
Κεραμικός τελικός τελεστής αλουμίνας με ενσωματωμένα κανάλια κενού
Το τελικό στοιχείο κενού αλουμίνας της St.Cera ενσωματώνει κανάλια κενού και οπές αναρρόφησης με ακρίβεια κατεργασίας απευθείας στο σώμα αλουμίνας υψηλής καθαρότητας 99,8%. Αυτός ο σχεδιασμός εξαλείφει τα εξωτερικά μαξιλαράκια κενού, επιτρέποντας την άμεση συλλογή των πλακιδίων με ομοιόμορφη δύναμη συγκράτησης. Η υψηλή αντοχή σε κάμψη (361 MPa) και η σκληρότητα (16 GPa) του υλικού εξασφαλίζουν μακροπρόθεσμη διαστατική σταθερότητα υπό επαναλαμβανόμενους κύκλους κενού. Η επιπεδότητα στην περιοχή του μαξιλαριού διατηρείται εντός 10 μm, αποτρέποντας την τάση και το σπάσιμο των πλακιδίων. Οι θύρες κενού βρίσκονται στην πίσω φλάντζα στήριξης για εύκολη ενσωμάτωση με τους ρομποτικούς βραχίονες OEM.
-
Αντηλιακά κεραμικά μέρη αλουμίνας ασφαλή για ηλεκτροστατική εκκένωση για χειρισμό πλακιδίων ευαίσθητων στον στατικό ηλεκτρισμό
Τα κεραμικά εξαρτήματα αλουμίνας ασφαλή για ηλεκτροστατική εκκένωση (ESD) της St.Cera κατασκευάζονται από Al₂O₃ υψηλής καθαρότητας 99,8% με προσαρμοσμένη επιφανειακή αντίσταση 10⁶–10⁹ Ω/τετρ. μέτρο, η οποία επιτυγχάνεται μέσω μιας ιδιόκτητης διαδικασίας πρόσμιξης ή επίστρωσης. Αυτά τα εξαρτήματα διαχέουν αποτελεσματικά το στατικό φορτίο, αποτρέποντας ηλεκτροστατική βλάβη σε ευαίσθητες πλακέτες και συσκευές ημιαγωγών. Το βασικό υλικό διατηρεί την υψηλή αντοχή σε κάμψη (361 MPa), τη σκληρότητα (16 GPa) και τη διηλεκτρική αντοχή (15×10⁶ V/m). Τα κεραμικά εξαρτήματα ασφαλή για ESD περιλαμβάνουν ακραίους ενεργοποιητές, πείρους ανύψωσης, οδηγούς και προσαρμοσμένα εξαρτήματα για αυτοματισμό FAB.
-
Κεραμικά ανταλλακτικά για εξοπλισμό ημιαγωγών ανιχνευτών
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Μεταφορέας εξοπλισμού ημιαγωγών κεραμικών πλακών
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Κεραμικά ανταλλακτικά εξοπλισμού ημιαγωγών
Σχηματισμένα με ψυχρή ισοστατική συμπίεση και πυροσυσσωμάτωση υπό υψηλή θερμοκρασία, στη συνέχεια κατεργασμένα με ακρίβεια και γυαλισμένα, τα κεραμικά ανταλλακτικά μπορούν να ικανοποιήσουν οποιεσδήποτε αυστηρές απαιτήσεις εξοπλισμού ημιαγωγών με τα χαρακτηριστικά αντοχής στη φθορά, αντοχής στη διάβρωση, χαμηλής θερμικής διαστολής και μόνωσης. Τα κεραμικά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε πολλά είδη εξοπλισμού παραγωγής ημιαγωγών υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, κενού ή διαβρωτικού αερίου για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Κατασκευασμένο από σκόνη αλουμίνας υψηλής καθαρότητας, επεξεργασμένο με ψυχρή ισοστατική συμπίεση, υψηλής θερμοκρασίας σύντηξη και φινίρισμα ακριβείας, θα μπορούσε να φτάσει σε ανοχή διαστάσεων ±0,001 mm, φινίρισμα επιφάνειας Ra 0,1, αντοχή θερμοκρασίας 1600℃.
-
Κεραμικός δακτύλιος στεγανοποίησης αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για σφράγιση θαλάμου υψηλής θερμοκρασίας
Ο κεραμικός δακτύλιος στεγανοποίησης της St.Cera έχει σχεδιαστεί ως εναλλακτική λύση στους πολυμερείς δακτυλίους Ο σε ακραία περιβάλλοντα όπου τα ελαστομερή υποβαθμίζονται. Κατασκευασμένος από 99,8% αλουμίνα υψηλής καθαρότητας (Al₂O₃), αυτός ο άκαμπτος δακτύλιος στεγανοποίησης χρησιμοποιείται σε εφαρμογές στατικής στεγανοποίησης — συνήθως σε συνδυασμό με ένα μαλακό μεταλλικό ή γραφιτικό παρέμβυσμα — για να παρέχει αξιόπιστη συγκράτηση κενού ή αερίου σε θερμοκρασίες έως 800°C και σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος ή χημικών. Το υλικό προσφέρει μηδενική απαγωγή αερίων, υψηλή αντοχή σε θλίψη (υποκείμενη αντοχή σε κάμψη 361 MPa) και χημική αδράνεια (ανθεκτική σε αλογόνα, οξέα και αλκάλια εκτός από HF). Οι επιφάνειες στεγανοποίησης με ακριβή επίστρωση (επιπεδότητα ≤5 μm, τραχύτητα επιφάνειας Ra ≤0,2 μm) εξασφαλίζουν στεγανή επαφή με τα μεταλλικά ή κεραμικά εξαρτήματα που συνδυάζονται.
-
Δακτύλιος εστίασης θαλάμου αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για συστήματα χάραξης πλάσματος και καρδιαγγειακής νόσου
Ο δακτύλιος εστίασης θαλάμου της St.Cera είναι ένα κρίσιμο εξάρτημα του κιτ διεργασίας που χρησιμοποιείται σε εξοπλισμό ημιαγωγών χάραξης με πλάσμα, CVD και PVD. Κατασκευασμένος από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας 99,8% (Al₂O₃), ο δακτύλιος περιβάλλει την άκρη της πλακέτας για να περιορίσει το πλάσμα και να βελτιστοποιήσει τη γωνιακή κατανομή ιόντων, βελτιώνοντας έτσι την ομοιομορφία χάραξης σε όλη την επιφάνεια της πλακέτας. Το υλικό προσφέρει εξαιρετική αντοχή στο πλάσμα, υψηλή διηλεκτρική αντοχή (15×10⁶ V/m) και θερμική σταθερότητα έως 1600°C, εξασφαλίζοντας μακροπρόθεσμη αξιοπιστία σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος με βάση το φθόριο ή το χλώριο. Η ακριβής τριβή ID/OD και η επιπεδότητα (≤10 μm) επιτρέπουν την ακριβή τοποθέτηση της άκρης της πλακέτας, μειώνοντας τα ελαττώματα της άκρης και την παραγωγή σωματιδίων.
-
Κεραμικός δακτύλιος αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για θαλάμους διεργασίας CVD / PVD
Ο κεραμικός δακτύλιος της St.Cera έχει σχεδιαστεί ειδικά για χρήση σε θαλάμους διεργασίας CVD (Χημική Εναπόθεση Ατμών) και PVD (Φυσική Εναπόθεση Ατμών). Κατασκευασμένος από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας 99,8% (Al₂O₃), αυτός ο δακτύλιος χρησιμεύει ως επένδυση θαλάμου, δακτύλιος εστίασης ή εξάρτημα κιτ διεργασίας για τον περιορισμό του πλάσματος και την προστασία των τοιχωμάτων του θαλάμου από τη διάβρωση. Το υλικό προσφέρει εξαιρετική αντοχή στο πλάσμα, υψηλή διηλεκτρική αντοχή (15×10⁶ V/m) και θερμική σταθερότητα έως 1600°C, εξασφαλίζοντας μεγάλη διάρκεια ζωής σε επιθετικά περιβάλλοντα πλάσματος με βάση το φθόριο. Οι ακριβείς ανοχές διαστάσεων (±0,05 mm σε Εσωτερική/Εξωτερική Διάμετρο) και η επιπεδότητα (≤10 μm) επιτρέπουν τη συνεπή τοποθέτηση των άκρων των πλακιδίων, βελτιώνοντας την ομοιομορφία της εναπόθεσης και μειώνοντας την παραγωγή σωματιδίων.
-
Κεραμικός τελεστής τελών Bernoulli — Χειρισμός πλακιδίων χωρίς επαφή για λεπτά και εύθραυστα πλακίδια
Ο κεραμικός τελεστής end effector Bernoulli της St.Cera χρησιμοποιεί αεροδυναμική ανύψωση για τον χειρισμό πλακιδίων χωρίς φυσική επαφή. Κατασκευασμένος από αλουμίνα υψηλής καθαρότητας 99,8% (Al₂O₃) ή καρβίδιο του πυριτίου (SiC), διαθέτει ακροφύσια ακριβείας που εκτοξεύουν πεπιεσμένο αέριο για να δημιουργήσουν ένα λεπτό φιλμ αέρα μεταξύ του end effector και του πλακιδίου. Αυτή η αρχή μη επαφής εξαλείφει τη μόλυνση του πίσω μέρους, το ξεφλούδισμα των άκρων και τις επιφανειακές ζημιές, καθιστώντας τον ιδανικό για λεπτά (≤100 μm), εύθραυστα ή στρεβλωμένα πλακίδια. Το κεραμικό υπόστρωμα παρέχει υψηλή αντοχή σε κάμψη (361 MPa για Al₂O₃· έως 550–600 MPa για SiC), χαμηλή μάζα και εξαιρετική διαστατική σταθερότητα, εξασφαλίζοντας επαναλήψιμη τοποθέτηση σε ρομπότ μεταφοράς πλακιδίων υψηλής ταχύτητας.
