-
Al2O3 ସେରାମିକ୍ ୱେଫର ଚକର କଷ୍ଟମାଇଜ୍ଡ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ
ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସିଣ୍ଟରିଂ କରାଯାଇ, ତା'ପରେ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ ଏବଂ ପଲିସ୍ କରାଯାଇ, ସିରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଇନସୁଲେସନ ଭଳି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣର ଯେକୌଣସି କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ। ସିରାମିକ୍ ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା, ଭାକ୍ୟୁମ୍ କିମ୍ବା କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍ ସ୍ଥିତି ସହିତ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ କାମ କରିପାରିବ।
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା ପାଉଡରରୁ ତିଆରି, ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସିଣ୍ଟରିଂ ଏବଂ ପ୍ରିସିସନ୍ ଫିନିସିଂ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ, ଏହା ±0.001 ମିମି, ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra 0.1, ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ 1600 ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପରିମାଣ ସହନଶୀଳତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରିବ।
-
ST.CERA କଷ୍ଟମାଇଜ୍ଡ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ ସିରାମିକ୍ ପ୍ଲେଟ୍
ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସିଣ୍ଟରିଂ କରାଯାଇ, ତା'ପରେ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ ଏବଂ ପଲିସ୍ କରାଯାଇ, ସିରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଇନସୁଲେସନ ଭଳି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣର ଯେକୌଣସି କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ। ସିରାମିକ୍ ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା, ଭାକ୍ୟୁମ୍ କିମ୍ବା କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍ ସ୍ଥିତି ସହିତ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ କାମ କରିପାରିବ।
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା ପାଉଡରରୁ ତିଆରି, ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସିଣ୍ଟରିଂ ଏବଂ ପ୍ରିସିସନ୍ ଫିନିସିଂ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ, ଏହା ±0.001 ମିମି, ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra 0.1, ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ 1600 ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପରିମାଣ ସହନଶୀଳତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରିବ।
-
300mm ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ 12-ଇଞ୍ଚ ଆଲୁମିନା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍
ସେଣ୍ଟସେରାର 12-ଇଞ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ 300mm ୱାଫର ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂ ପାଇଁ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ସଠିକତା-ଇଞ୍ଜିନିୟରିଂ କରାଯାଇଛି। ଚକ୍ ରେ ଏକ ସୂକ୍ଷ୍ମ-ଖାଞ୍ଚିତ ପୃଷ୍ଠ (ଖାଞ୍ଚ ପ୍ରସ୍ଥ 0.5-1.0 mm, ପିଚ୍ 2-3 mm) ରହିଛି ଯାହା ସମଗ୍ର 300mm ବ୍ୟାସରେ ସମାନ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବଣ୍ଟନ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିଥାଏ। 5 μm ମଧ୍ୟରେ ସମତଳତା ବଜାୟ ରଖାଯାଏ, ଯାହା ଡାଇସିଂ, ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ଯାଞ୍ଚ ସମୟରେ ୱାର୍ପ୍-ଫ୍ରି ୱାଫର ସ୍ଥିରୀକରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ। ସାମଗ୍ରୀର ଉଚ୍ଚ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (361 MPa) ଏବଂ କଠୋରତା (16 GPa) ବାରମ୍ବାର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ରରେ ମଧ୍ୟ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସ୍ଥିରତା ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି କରେ।
-
ସମନ୍ୱିତ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚ୍ୟାନେଲ ସହିତ ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍
ସେଣ୍ଟସେରାର ଆଲୁମିନା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ ସିଧାସଳଖ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା ବଡିରେ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ ହୋଇଥିବା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚ୍ୟାନେଲ୍ ଏବଂ ସକ୍ସନ୍ ହୋଲ୍ସକୁ ଏକୀକୃତ କରିଥାଏ। ଏହି ଡିଜାଇନ୍ ବାହ୍ୟ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପ୍ୟାଡ୍ଗୁଡ଼ିକୁ ଦୂର କରିଥାଏ, ସମାନ ଧରି ରଖିବା ବଳ ସହିତ ସିଧାସଳଖ ୱାଫର ପିକଅପ୍ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ। ସାମଗ୍ରୀର ଉଚ୍ଚ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (361 MPa) ଏବଂ କଠୋରତା (16 GPa) ବାରମ୍ବାର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ର ଅଧୀନରେ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିଥାଏ। ପ୍ୟାଡ୍ ଅଞ୍ଚଳରେ ସମତଳତା 10 μm ମଧ୍ୟରେ ବଜାୟ ରଖାଯାଏ, ୱାଫର ଚାପ ଏବଂ ଭାଙ୍ଗିବାକୁ ରୋକିଥାଏ। OEM ରୋବୋଟ୍ ବାହୁ ସହିତ ସହଜ ସମନ୍ୱୟ ପାଇଁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପୋର୍ଟଗୁଡ଼ିକ ପଛ ମାଉଣ୍ଟିଂ ଫ୍ଲାଞ୍ଜରେ ଅବସ୍ଥିତ।
-
ସ୍ଥିର-ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ୱେଫର ପରିଚାଳନା ପାଇଁ ESD-ସୁରକ୍ଷିତ ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ଅଂଶ
ସେଣ୍ଟସେରାର ESD (ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ଡିସଚାର୍ଜ) ସୁରକ୍ଷିତ ଆଲୁମିନା ସିରାମିକ୍ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା Al₂O₃ ରୁ ନିର୍ମିତ ଏବଂ 10⁶–10⁹ Ω/ବର୍ଗ ବର୍ଗର ଏକ ଉପଯୁକ୍ତ ପୃଷ୍ଠ ପ୍ରତିରୋଧକତା ସହିତ, ଏକ ମାଲିକାନା ଡୋପିଂ କିମ୍ବା ଆବରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ହାସଲ କରାଯାଇଛି। ଏହି ଅଂଶଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ସ୍ଥିର ଚାର୍ଜକୁ ନଷ୍ଟ କରିଦିଏ, ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ୱେଫର୍ ଏବଂ ଡିଭାଇସଗୁଡ଼ିକୁ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ କ୍ଷତିକୁ ରୋକିଥାଏ। ମୂଳ ସାମଗ୍ରୀ ଏହାର ଉଚ୍ଚ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (361 MPa), କଠୋରତା (16 GPa), ଏବଂ ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି (15×10⁶ V/m) ବଜାୟ ରଖେ। ESD-ସୁରକ୍ଷିତ ସିରାମିକ୍ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକରେ ଶେଷ ପ୍ରଭାବକ, ଲିଫ୍ଟ ପିନ୍, ଗାଇଡ୍ ରେଲ୍ ଏବଂ FAB ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ପାଇଁ କଷ୍ଟମ୍ ଫିକ୍ସଚର ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
-
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରୋବ୍ ଉପକରଣ ପାଇଁ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍
ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସିଣ୍ଟରିଂ କରାଯାଇ, ତା'ପରେ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ ଏବଂ ପଲିସ୍ କରାଯାଇ, ସିରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଇନସୁଲେସନ ଭଳି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣର ଯେକୌଣସି କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ। ସିରାମିକ୍ ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା, ଭାକ୍ୟୁମ୍ କିମ୍ବା କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍ ସ୍ଥିତି ସହିତ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ କାମ କରିପାରିବ।
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା ପାଉଡରରୁ ତିଆରି, ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସିଣ୍ଟରିଂ ଏବଂ ପ୍ରିସିସନ୍ ଫିନିସିଂ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ, ଏହା ±0.001 ମିମି, ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra 0.1, ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ 1600 ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପରିମାଣ ସହନଶୀଳତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରିବ।
-
ସେରାମିକ୍ ପ୍ଲେଟ୍ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ ବାହକ
ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସିଣ୍ଟରିଂ କରାଯାଇ, ତା'ପରେ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ ଏବଂ ପଲିସ୍ କରାଯାଇ, ସିରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଇନସୁଲେସନ ଭଳି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣର ଯେକୌଣସି କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ। ସିରାମିକ୍ ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା, ଭାକ୍ୟୁମ୍ କିମ୍ବା କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍ ସ୍ଥିତି ସହିତ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ କାମ କରିପାରିବ।
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା ପାଉଡରରୁ ତିଆରି, ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସିଣ୍ଟରିଂ ଏବଂ ପ୍ରିସିସନ୍ ଫିନିସିଂ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ, ଏହା ±0.001 ମିମି, ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra 0.1, ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ 1600 ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପରିମାଣ ସହନଶୀଳତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରିବ।
-
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍
ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ସିଣ୍ଟରିଂ କରାଯାଇ, ତା'ପରେ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ ଏବଂ ପଲିସ୍ କରାଯାଇ, ସିରାମିକ୍ ସ୍ପେୟାର ପାର୍ଟସ୍ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ, କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଏବଂ ଇନସୁଲେସନ ଭଳି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣର ଯେକୌଣସି କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିପାରିବ। ସିରାମିକ୍ ଅନେକ ପ୍ରକାରର ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ଉପକରଣରେ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା, ଭାକ୍ୟୁମ୍ କିମ୍ବା କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ୍ ସ୍ଥିତି ସହିତ ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ କାମ କରିପାରିବ।
ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା ପାଉଡରରୁ ତିଆରି, ଥଣ୍ଡା ଆଇସୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ପ୍ରେସିଂ, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସିଣ୍ଟରିଂ ଏବଂ ପ୍ରିସିସନ୍ ଫିନିସିଂ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ, ଏହା ±0.001 ମିମି, ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra 0.1, ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ 1600 ℃ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପରିମାଣ ସହନଶୀଳତା ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରିବ।
-
ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଚାମ୍ବର ସିଲିଂ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ସିଲ୍ ରିଙ୍ଗ
ସେଣ୍ଟସେରାର ସିରାମିକ୍ ସିଲ୍ ରିଙ୍ଗକୁ ଇଲାଷ୍ଟୋମର୍ ନଷ୍ଟ ହେଉଥିବା ଅତ୍ୟନ୍ତ ପରିବେଶରେ ପଲିମର O-ରିଙ୍ଗର ବିକଳ୍ପ ଭାବରେ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି। 99.8% ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ନିର୍ମିତ, ଏହି କଠୋର ସିଲ୍ ରିଙ୍ଗକୁ ସ୍ଥିର ସିଲିଂ ପ୍ରୟୋଗରେ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ - ସାଧାରଣତଃ ଏକ ନରମ ଧାତୁ କିମ୍ବା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଗାସ୍କେଟ ସହିତ ଯୋଡା ହୋଇଥାଏ - 800°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପମାତ୍ରାରେ ଏବଂ ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ପ୍ଲାଜମା କିମ୍ବା ରାସାୟନିକ ପରିବେଶରେ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ଭାକ୍ୟୁମ୍ କିମ୍ବା ଗ୍ୟାସ୍ କଣ୍ଟେନମେଣ୍ଟ ପ୍ରଦାନ କରିବା ପାଇଁ। ଏହି ସାମଗ୍ରୀ ଶୂନ୍ୟ ଗ୍ୟାସିଂ, ଉଚ୍ଚ ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି (ଅନ୍ତର୍ନିହିତ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି 361 MPa), ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତା (HF ବ୍ୟତୀତ ହାଲୋଜେନ୍, ଏସିଡ୍ ଏବଂ କ୍ଷାର ପ୍ରତିରୋଧୀ) ପ୍ରଦାନ କରେ। ସଠିକତା-ଲାପ୍ ହୋଇଥିବା ସିଲିଂ ପୃଷ୍ଠ (ସମତଳତା ≤5 μm, ପୃଷ୍ଠ ରୁକ୍ଷତା Ra ≤0.2 μm) ମେଟିଂ ଧାତୁ କିମ୍ବା ସିରାମିକ୍ ଉପାଦାନ ସହିତ ଲିକ୍-ଟାଇଟ୍ ସମ୍ପର୍କ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
-
ପ୍ଲାଜମା ଏଚ୍ ଏବଂ ସିଭିଡି ସିଷ୍ଟମ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ପ୍ୟୁରିଟି ଆଲୁମିନା ଚାମ୍ବର ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ
ସେଣ୍ଟସେରାର ଚାମ୍ବର ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ ହେଉଛି ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏଚ୍, CVD, ଏବଂ PVD ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉପକରଣରେ ବ୍ୟବହୃତ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା କିଟ୍ ଉପାଦାନ। 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ନିର୍ମିତ, ଏହି ରିଙ୍ଗ ପ୍ଲାଜ୍ମାକୁ ସୀମିତ କରିବା ଏବଂ ଆୟନ କୋଣୀୟ ବଣ୍ଟନକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରିବା ପାଇଁ ୱାଫର ଧାରକୁ ଘେରି ରହିଥାଏ, ଯାହା ଫଳରେ ୱାଫର ପୃଷ୍ଠରେ ଏଚ୍ ସମାନତା ଉନ୍ନତ ହୋଇଥାଏ। ଏହି ସାମଗ୍ରୀ ଅସାଧାରଣ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପ୍ରତିରୋଧ, ଉଚ୍ଚ ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି (15×10⁶ V/m), ଏବଂ 1600°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ଫ୍ଲୋରିନ୍- କିମ୍ବା କ୍ଲୋରିନ୍-ଆଧାରିତ ପ୍ଲାଜ୍ମା ପରିବେଶରେ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ପ୍ରିସିସନ୍-ଗ୍ରାଉଣ୍ଡ ID/OD ଏବଂ ସମତଳତା (≤10 μm) ସଠିକ୍ ୱାଫର ଧାର ସ୍ଥିତିକରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରେ, ଧାର ତ୍ରୁଟି ଏବଂ କଣିକା ସୃଷ୍ଟିକୁ ହ୍ରାସ କରେ।
-
CVD / PVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ରିଙ୍ଗ
ସେଣ୍ଟସେରାର ସିରାମିକ୍ ରିଙ୍ଗ ବିଶେଷ ଭାବରେ CVD (ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା) ଏବଂ PVD (ଭୌତିକ ବାଷ୍ପ ଜମା) ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବରରେ ବ୍ୟବହାର ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି। 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ନିର୍ମିତ, ଏହି ରିଙ୍ଗ ପ୍ଲାଜମାକୁ ସୀମିତ କରିବା ଏବଂ ଚାମ୍ବର କାନ୍ଥକୁ କ୍ଷୟରୁ ରକ୍ଷା କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଚାମ୍ବର ଲାଇନର, ଫୋକସ୍ ରିଙ୍ଗ କିମ୍ବା ପ୍ରକ୍ରିୟା କିଟ୍ ଉପାଦାନ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ଏହି ସାମଗ୍ରୀ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ଲାଜମା ପ୍ରତିରୋଧ, ଉଚ୍ଚ ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି (15×10⁶ V/m), ଏବଂ 1600°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ଫ୍ଲୋରାଇନ୍-ଆଧାରିତ ପ୍ଲାଜମା ପରିବେଶରେ ଦୀର୍ଘ ସେବା ଜୀବନ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ସଠିକ୍ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ ସହନଶୀଳତା (ID/OD ରେ ±0.05 mm) ଏବଂ ସମତଳତା (≤10 μm) ସ୍ଥିର ୱେଫର ଧାର ସ୍ଥିତିକରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରେ, ଜମା ସମାନତାକୁ ଉନ୍ନତ କରେ ଏବଂ କଣିକା ସୃଷ୍ଟିକୁ ହ୍ରାସ କରେ।
-
ବର୍ଣ୍ଣୋଲି ସେରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ - ପତଳା ଏବଂ ଭଙ୍ଗା ୱେଫର୍ ପାଇଁ ଅଣ-ସମ୍ପର୍କ ୱେଫର୍ ପରିଚାଳନା
ସେଣ୍ଟସେରାର ବର୍ଣ୍ଣୋଲି ସିରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ ଭୌତିକ ସମ୍ପର୍କ ବିନା ୱେଫର୍ଗୁଡ଼ିକୁ ପରିଚାଳନା କରିବା ପାଇଁ ଏରୋଡାଇନାମିକ୍ ଲିଫ୍ଟ ବ୍ୟବହାର କରେ। ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା 99.8% ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) କିମ୍ବା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ରୁ ନିର୍ମିତ, ଏଥିରେ ସଠିକ୍-ଯନ୍ତ୍ରଯୁକ୍ତ ନୋଜଲ୍ ରହିଛି ଯାହା ଚାପଯୁକ୍ତ ଗ୍ୟାସ୍ ବାହାର କରି ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ ଏବଂ ୱେଫର ମଧ୍ୟରେ ଏକ ପତଳା ବାୟୁ ଫିଲ୍ମ ସୃଷ୍ଟି କରେ। ଏହି ଅଣ-ସଂଯୋଗ ନୀତି ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ପ୍ରଦୂଷଣ, ଧାର ଚିପିଂ ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ କ୍ଷତିକୁ ଦୂର କରେ, ଏହାକୁ ପତଳା (≤100 μm), ଭଙ୍ଗୁର, କିମ୍ବା ବିକୃତ ୱେଫର୍ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ କରିଥାଏ। ସିରାମିକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉଚ୍ଚ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (Al₂O₃ ପାଇଁ 361 MPa; SiC ପାଇଁ 550-600 MPa ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ), କମ ମାଂସ ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ଗତି ୱେଫର୍ ସ୍ଥାନାନ୍ତର ରୋବୋଟ୍ରେ ପୁନରାବୃତ୍ତିଯୋଗ୍ୟ ସ୍ଥିତି ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
