-
Prilagođena obrada Al2O3 keramičke pločice za stezanje
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
ST.CERA Prilagođena keramička ploča za poluvodičku opremu
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
12-inčna vakuumska stezna glava od aluminija za obradu pločica od 300 mm
St.Cera 12-inčna vakuumska stezna glava precizno je konstruirana od 99,8%-tnog aluminijevog oksida (Al₂O₃) visoke čistoće za rukovanje pločicama od 300 mm. Stezna glava ima fino utoranu površinu (širina utora 0,5–1,0 mm, korak 2–3 mm) kako bi se osigurala ravnomjerna raspodjela vakuuma po cijelom promjeru od 300 mm. Ravnost se održava unutar 5 μm, što omogućuje fiksiranje pločice bez savijanja tijekom rezanja, brušenja stražnje strane i inspekcije. Visoka čvrstoća na savijanje (361 MPa) i tvrdoća (16 GPa) materijala jamče dugoročnu dimenzijsku stabilnost čak i pod ponovljenim ciklusima vakuumiranja.
-
Krajnji efektor od aluminijeve keramike s integriranim vakuumskim kanalima
St.Cera vakuumski krajnji efektor od aluminijevog oksida integrira precizno obrađene vakuumske kanale i usisne otvore izravno u tijelo od aluminijevog oksida visoke čistoće 99,8%. Ovaj dizajn eliminira vanjske vakuumske pločice, omogućujući izravno hvatanje pločice s ujednačenom silom držanja. Visoka čvrstoća na savijanje (361 MPa) i tvrdoća (16 GPa) materijala osiguravaju dugoročnu dimenzijsku stabilnost pod ponovljenim ciklusima vakuuma. Ravnost preko površine pločice održava se unutar 10 μm, sprječavajući naprezanje i lom pločice. Vakuumski otvori nalaze se na stražnjoj montažnoj prirubnici radi jednostavne integracije s OEM robotskim rukama.
-
ESD-sigurni aluminijevi keramički dijelovi za rukovanje statički osjetljivim pločicama
St.Cera keramički dijelovi od aluminijevog oksida sigurni od elektrostatičkog pražnjenja (ESD) izrađeni su od 99,8% visokočistog Al₂O₃ s prilagođenom površinskom otpornošću od 10⁶–10⁹ Ω/sq, postignutom patentiranim postupkom dopiranja ili premazivanja. Ovi dijelovi učinkovito raspršuju statički naboj, sprječavajući elektrostatičko oštećenje osjetljivih poluvodičkih pločica i uređaja. Osnovni materijal zadržava svoju visoku čvrstoću na savijanje (361 MPa), tvrdoću (16 GPa) i dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m). Keramički dijelovi sigurni od ESD-a uključuju krajnje efektore, klinove za podizanje, vodilice i prilagođene učvršćivače za FAB automatizaciju.
-
Keramički rezervni dijelovi za poluvodičku sondnu opremu
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
Nosač opreme s keramičkom pločom i poluvodičem
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
Keramički rezervni dijelovi za poluvodičku opremu
Oblikovani hladnim izostatskim prešanjem i sinterirani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu zadovoljiti sve stroge zahtjeve poluvodičke opreme svojim značajkama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog toplinskog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluvodiča u uvjetima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog plina.
Izrađen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatskim prešanjem, sinteriranjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može postići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, temperaturnu otpornost 1600 ℃.
-
Keramički brtveni prsten visoke čistoće od aluminijevog oksida za brtvljenje komore visoke temperature
St.Cera keramički brtveni prsten dizajniran je kao alternativa polimernim O-prstenovima u ekstremnim okruženjima gdje se elastomeri degradiraju. Izrađen od 99,8% aluminijevog oksida visoke čistoće (Al₂O₃), ovaj kruti brtveni prsten koristi se u statičkom brtvljenju - obično uparen s brtvom od mekog metala ili grafita - kako bi se osiguralo pouzdano zadržavanje vakuuma ili plina na temperaturama do 800 °C i u agresivnim plazma ili kemijskim okruženjima. Materijal nudi nulto ispuštanje plinova, visoku tlačnu čvrstoću (osnovna čvrstoća na savijanje 361 MPa) i kemijsku inertnost (otporan na halogene, kiseline i lužine osim HF). Precizno preklopljene brtvene površine (ravnost ≤5 μm, hrapavost površine Ra ≤0,2 μm) osiguravaju nepropusni kontakt sa spojnim metalnim ili keramičkim komponentama.
-
Fokusni prsten od visokočistog aluminijevog oksida za sustave plazma jetkanja i CVD-a
St.Cerin prsten za fokusiranje komore ključna je komponenta procesnog kompleta koja se koristi u opremi za plazma jetkanje, CVD i PVD poluvodičke tehnike. Izrađen od 99,8%-tnog aluminijevog oksida (Al₂O₃), prsten okružuje rub pločice kako bi ograničio plazmu i optimizirao kutnu raspodjelu iona, čime se poboljšava ujednačenost jetkanja po površini pločice. Materijal nudi iznimnu otpornost na plazmu, visoku dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m) i toplinsku stabilnost do 1600°C, osiguravajući dugoročnu pouzdanost u agresivnim okruženjima plazme na bazi fluora ili klora. Precizno brušeni unutarnji/vanjski promjer i ravnost (≤10 μm) omogućuju precizno pozicioniranje rubova pločice, smanjujući nedostatke rubova i stvaranje čestica.
-
Keramički prsten od visokočistog aluminijevog oksida za CVD / PVD procesne komore
Keramički prsten tvrtke St.Cera posebno je dizajniran za upotrebu u CVD (kemijsko taloženje iz parne faze) i PVD (fizičko taloženje iz parne faze) procesnim komorama. Izrađen od 99,8% visokočistog aluminijevog oksida (Al₂O₃), ovaj prsten služi kao obloga komore, fokusni prsten ili komponenta procesnog kompleta za ograničavanje plazme i zaštitu stijenki komore od erozije. Materijal nudi izvrsnu otpornost na plazmu, visoku dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m) i toplinsku stabilnost do 1600°C, osiguravajući dugi vijek trajanja u agresivnim okruženjima plazme na bazi fluora. Precizne dimenzijske tolerancije (±0,05 mm na unutarnjem/vanjskom promjeru) i ravnosti (≤10 μm) omogućuju dosljedno pozicioniranje rubova pločice, poboljšavajući ujednačenost taloženja i smanjujući stvaranje čestica.
-
Bernoulli keramički krajnji efektor — beskontaktno rukovanje pločicama za tanke i lomljive pločice
St.Cera Bernoulli keramički krajnji efektor koristi aerodinamički uzgon za rukovanje pločicama bez fizičkog kontakta. Izrađen od visokočistog 99,8%-tnog aluminijevog oksida (Al₂O₃) ili silicijevog karbida (SiC), ima precizno obrađene mlaznice koje izbacuju komprimirani plin kako bi stvorile tanki zračni film između krajnjeg efektora i pločice. Ovaj princip beskontaktnosti eliminira kontaminaciju stražnje strane, odvajanje rubova i oštećenje površine, što ga čini idealnim za tanke (≤100 μm), krhke ili iskrivljene pločice. Keramička podloga pruža visoku čvrstoću na savijanje (361 MPa za Al₂O₃; do 550–600 MPa za SiC), malu masu i izvrsnu dimenzijsku stabilnost, osiguravajući ponovljivo pozicioniranje u robotima za prijenos pločica velikom brzinom.
