-
Personigita Prilaborado de Al2O3 Ceramika Oblata Ĉuko
Formitaj per malvarma izostatika premado kaj sinteritaj sub alta temperaturo, poste precize maŝinitaj kaj poluritaj, la ceramikaj rezervaj partoj povas plenumi ĉiujn striktajn postulojn de duonkonduktaĵaj ekipaĵoj pro siaj trajtoj de eluziĝrezisto, korodrezisto, malalta termika ekspansio kaj izolado. Ceramikoj povas funkcii en multaj specoj de duonkonduktaĵaj produktadekipaĵoj en kondiĉoj de alta temperaturo, vakuo aŭ koroda gaso dum longa tempo.
Farita el altpureca alumina pulvoro, prilaborita per malvarma izostatika premado, alttemperatura sinterizado kaj preciza finpoluro, ĝi povas atingi dimensiotoleremon ĝis ±0.001 mm, surfacan finpoluron Ra 0.1, temperaturreziston 1600℃.
-
ST.CERA Personigita Duonkondukta Ekipaĵo Ceramika Plato
Formitaj per malvarma izostatika premado kaj sinteritaj sub alta temperaturo, poste precize maŝinitaj kaj poluritaj, la ceramikaj rezervaj partoj povas plenumi ĉiujn striktajn postulojn de duonkonduktaĵaj ekipaĵoj pro siaj trajtoj de eluziĝrezisto, korodrezisto, malalta termika ekspansio kaj izolado. Ceramikoj povas funkcii en multaj specoj de duonkonduktaĵaj produktadekipaĵoj en kondiĉoj de alta temperaturo, vakuo aŭ koroda gaso dum longa tempo.
Farita el altpureca alumina pulvoro, prilaborita per malvarma izostatika premado, alttemperatura sinterizado kaj preciza finpoluro, ĝi povas atingi dimensiotoleremon ĝis ±0.001 mm, surfacan finpoluron Ra 0.1, temperaturreziston 1600℃.
-
12-cola Alumina Vakua Ĉuko por 300mm Oblato-Prilaborado
La 12-cola vakua ĉuko de St.Cera estas precize fabrikita el 99.8% alt-pureca alumino (Al₂O₃) por manipulado de 300mm vaflajoj. La ĉuko havas fajne kanelitan surfacon (kanela larĝo 0.5–1.0 mm, paŝo 2–3 mm) por certigi unuforman vakuan distribuon tra la tuta 300mm diametro. Plateco estas konservata ene de 5 μm, ebligante senvarpan fiksadon de la vaflajoj dum hakado, malantaŭa muelado kaj inspektado. La alta fleksa forto (361 MPa) kaj malmoleco (16 GPa) de la materialo garantias longdaŭran dimensian stabilecon eĉ sub ripetaj vakuaj cikloj.
-
Alumina Ceramika Fina Efektilo kun Integraj Vakuaj Kanaloj
La fina efektoro el alumina aluminio de St.Cera integras precize maŝinprilaboritajn vakuajn kanalojn kaj suĉotruojn rekte en la 99.8% altpurecan aluminan korpon. Ĉi tiu dezajno forigas eksterajn vakuajn kusenetojn, ebligante rektan prenadon de la oblatoj kun unuforma tenforto. La alta fleksa forto (361 MPa) kaj malmoleco (16 GPa) de la materialo certigas longdaŭran dimensian stabilecon sub ripetaj vakuaj cikloj. Plateco trans la kuseneta areo estas konservata ene de 10 μm, malhelpante oblatan streĉon kaj rompiĝon. Vakuaj aperturoj situas ĉe la malantaŭa munta flanĝo por facila integriĝo kun originalaj robotbrakoj.
-
ESD-Sekuraj Aluminaj Ceramikaj Partoj por Statik-Sentema Manipulado de Oblatoj
La ESD-sekuraj (elektrostatika malŝarĝo) ceramikaj partoj de St.Cera el alumino-teraj aluminio-teraj partoj estas fabrikitaj el 99.8% alt-pureca Al₂O₃ kun adaptita surfaca rezisteco de 10⁶–10⁹ Ω/kv., atingita per proprieta dopada aŭ tega procezo. Ĉi tiuj partoj efike disipas statikan ŝargon, malhelpante elektrostatikan difekton al sentemaj duonkonduktaĵaj oblatoj kaj aparatoj. La bazmaterialo konservas sian altan fleksan forton (361 MPa), malmolecon (16 GPa) kaj dielektrikan forton (15×10⁶ V/m). ESD-sekuraj ceramikaj partoj inkluzivas finefektorojn, levajn stiftojn, gvidrelojn kaj adaptitajn fiksaĵojn por FAB-aŭtomatigo.
-
Ceramikaj Rezervaj Partoj por Duonkondukta Sonda Ekipaĵo
Formitaj per malvarma izostatika premado kaj sinteritaj sub alta temperaturo, poste precize maŝinitaj kaj poluritaj, la ceramikaj rezervaj partoj povas plenumi ĉiujn striktajn postulojn de duonkonduktaĵaj ekipaĵoj pro siaj trajtoj de eluziĝrezisto, korodrezisto, malalta termika ekspansio kaj izolado. Ceramikoj povas funkcii en multaj specoj de duonkonduktaĵaj produktadekipaĵoj en kondiĉoj de alta temperaturo, vakuo aŭ koroda gaso dum longa tempo.
Farita el altpureca alumina pulvoro, prilaborita per malvarma izostatika premado, alttemperatura sinterizado kaj preciza finpoluro, ĝi povas atingi dimensiotoleremon ĝis ±0.001 mm, surfacan finpoluron Ra 0.1, temperaturreziston 1600℃.
-
Ceramika Plato Duonkondukta Ekipaĵa Portanto
Formitaj per malvarma izostatika premado kaj sinteritaj sub alta temperaturo, poste precize maŝinitaj kaj poluritaj, la ceramikaj rezervaj partoj povas plenumi ĉiujn striktajn postulojn de duonkonduktaĵaj ekipaĵoj pro siaj trajtoj de eluziĝrezisto, korodrezisto, malalta termika ekspansio kaj izolado. Ceramikoj povas funkcii en multaj specoj de duonkonduktaĵaj produktadekipaĵoj en kondiĉoj de alta temperaturo, vakuo aŭ koroda gaso dum longa tempo.
Farita el altpureca alumina pulvoro, prilaborita per malvarma izostatika premado, alttemperatura sinterizado kaj preciza finpoluro, ĝi povas atingi dimensiotoleremon ĝis ±0.001 mm, surfacan finpoluron Ra 0.1, temperaturreziston 1600℃.
-
Ceramikaj Rezervaj Partoj por Duonkonduktaĵa Ekipaĵo
Formitaj per malvarma izostatika premado kaj sinteritaj sub alta temperaturo, poste precize maŝinitaj kaj poluritaj, la ceramikaj rezervaj partoj povas plenumi ĉiujn striktajn postulojn de duonkonduktaĵaj ekipaĵoj pro siaj trajtoj de eluziĝrezisto, korodrezisto, malalta termika ekspansio kaj izolado. Ceramikoj povas funkcii en multaj specoj de duonkonduktaĵaj produktadekipaĵoj en kondiĉoj de alta temperaturo, vakuo aŭ koroda gaso dum longa tempo.
Farita el altpureca alumina pulvoro, prilaborita per malvarma izostatika premado, alttemperatura sinterizado kaj preciza finpoluro, ĝi povas atingi dimensiotoleremon ĝis ±0.001 mm, surfacan finpoluron Ra 0.1, temperaturreziston 1600℃.
-
Altpureca Alumina Ceramika Sigela Ringo por Alttemperatura Kamera Sigelado
La ceramika sigelringo de St.Cera estas desegnita kiel alternativo al polimeraj O-ringoj en ekstremaj medioj kie elastomeroj degradiĝas. Fabrikita el 99.8% altpureca alumino (Al₂O₃), ĉi tiu rigida sigelringo estas uzata en statikaj sigelaj aplikoj — tipe parigita kun mola metalo aŭ grafita pakado — por provizi fidindan vakuon aŭ gasretenon je temperaturoj ĝis 800°C kaj en agresemaj plasmaj aŭ kemiaj medioj. La materialo ofertas nulan elgasadon, altan kunpreman forton (subesta fleksa forto 361 MPa), kaj kemian inertecon (rezistema al halogenoj, acidoj kaj alkaloj krom HF). Precize lapintaj sigelaj surfacoj (plateco ≤5 μm, surfaca malglateco Ra ≤0.2 μm) certigas hermetikan kontakton kun kuniĝantaj metalaj aŭ ceramikaj komponantoj.
-
Altpureca Alumina Kamera Fokusa Ringo por Plasmo-Gravado kaj CVD Sistemoj
La kamera fokusa ringo de St.Cera estas kritika komponanto de proceza ilaro uzata en plasmogravurado, CVD, kaj PVD-duonkonduktaĵa ekipaĵo. Fabrikita el 99.8% altpureca alumino (Al₂O₃), la ringo ĉirkaŭas la randon de la silo por limigi la plasmon kaj optimumigi la angulan distribuon de jonoj, tiel plibonigante la gravuran homogenecon tra la silosurfaco. La materialo ofertas esceptan plasmoreziston, altan dielektrikan forton (15×10⁶ V/m), kaj termikan stabilecon ĝis 1600°C, certigante longdaŭran fidindecon en agresemaj fluor- aŭ kloro-bazitaj plasmaj medioj. Precize muelitaj internaj/eksteraj difinoj kaj plateco (≤10 μm) ebligas precizan poziciigon de la rando de la silo, reduktante randajn difektojn kaj partiklan generadon.
-
Altpureca Alumina Ceramika Ringo por CVD / PVD Procezaj Ĉambroj
La ceramika ringo de St.Cera estas speciale desegnita por uzo en CVD (Kemia Vapora Deponado) kaj PVD (Fizika Vapora Deponado) procezĉambroj. Fabrikita el 99.8% altpureca alumino (Al₂O₃), ĉi tiu ringo servas kiel kamera tegaĵo, fokusa ringo aŭ procezkompleta komponanto por enfermi plasmon kaj protekti la kamerajn murojn kontraŭ erozio. La materialo ofertas bonegan plasmoreziston, altan dielektrikan forton (15×10⁶ V/m), kaj termikan stabilecon ĝis 1600°C, certigante longan servodaŭron en agresemaj fluor-bazitaj plasmaj medioj. Precizaj dimensiaj tolerancoj (±0.05 mm sur interna/ekstera diametro) kaj plateco (≤10 μm) ebligas koheran poziciigon de la randoj de la oblato, plibonigante la homogenecon de la deponado kaj reduktante la generadon de partikloj.
-
Bernoulli Ceramika Fina Efektoro — Senkontakta Manipulado de Oblatetoj por Maldikaj kaj Delikataj Oblatetoj
La ceramika fina efektoro Bernoulli de St.Cera uzas aerdinamikan levforton por manipuli oblatojn sen fizika kontakto. Fabrikita el altpureca 99.8% alumino (Al₂O₃) aŭ siliciokarbido (SiC), ĝi havas precize maŝinprilaboritajn ajutojn, kiuj elĵetas premizitan gason por krei maldikan aerfilmon inter la fina efektoro kaj la oblato. Ĉi tiu ne-kontakta principo eliminas poluadon de la malantaŭa flanko, randosplitiĝon kaj surfacdifekton, igante ĝin ideala por maldikaj (≤100 μm), delikataj aŭ misformitaj oblatoj. La ceramika substrato provizas altan fleksoreziston (361 MPa por Al₂O₃; ĝis 550–600 MPa por SiC), malaltan mason kaj bonegan dimensian stabilecon, certigante ripeteblan poziciigon en altrapidaj oblataj translokigaj robotoj.
