-
Individualus Al2O3 keraminių plokštelių griebtuvo apdorojimas
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
ST.CERA pritaikyta puslaidininkių įrangos keraminė plokštė
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
12 colių aliuminio oksido vakuuminis griebtuvas 300 mm plokštelių apdorojimui
„St.Cera“ 12 colių vakuuminis griebtuvas yra tiksliai pagamintas iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), skirtas 300 mm plokštelių apdorojimui. Griebtuvo paviršius yra smulkiai išraižytas (griovelio plotis 0,5–1,0 mm, žingsnis 2–3 mm), kad būtų užtikrintas tolygus vakuumo pasiskirstymas per visą 300 mm skersmenį. Plokštumas išlaikomas 5 μm tikslumu, todėl plokštelės nesideformuoja pjaustant kubeliais, šlifuojant galinę pusę ir tikrinant. Didelis medžiagos lenkimo stipris (361 MPa) ir kietumas (16 GPa) garantuoja ilgalaikį matmenų stabilumą net ir esant pakartotiniams vakuuminiams ciklams.
-
Aliuminio oksido keraminis efektorius su integruotais vakuuminiais kanalais
„St.Cera“ aliuminio oksido vakuuminis efektorius integruoja tiksliai apdirbtus vakuuminius kanalus ir įsiurbimo angas tiesiai į 99,8 % grynumo aliuminio oksido korpusą. Ši konstrukcija panaikina išorinius vakuuminius padėklus, todėl plokštelės gali būti tiesiogiai paimamos su vienoda laikymo jėga. Didelis medžiagos lenkimo stipris (361 MPa) ir kietumas (16 GPa) užtikrina ilgalaikį matmenų stabilumą pasikartojančių vakuuminių ciklų metu. Padėklo ploto plokštumas išlaikomas 10 μm ribose, o tai apsaugo nuo plokštelės įtempimo ir lūžimo. Vakuuminės angos yra galiniame tvirtinimo flanše, kad būtų lengva integruoti su originalios įrangos gamintojų robotų rankomis.
-
ESD atsparios aliuminio oksido keraminės dalys, skirtos statiškai jautrių plokštelių apdorojimui
„St.Cera“ ESD (elektrostatinei iškrovai) atsparios aliuminio oksido keramikos dalys gaminamos iš 99,8 % grynumo Al₂O₃, kurių paviršiaus varža yra 10⁶–10⁹ Ω/sq, pasiekiama patentuotu legiravimo arba dengimo procesu. Šios dalys efektyviai išsklaido statinį krūvį, apsaugodamos jautrias puslaidininkines plokšteles ir įtaisus nuo elektrostatinės žalos. Pagrindinė medžiaga išlaiko didelį lenkimo stiprumą (361 MPa), kietumą (16 GPa) ir dielektrinį stiprumą (15 × 10⁶ V/m). ESD atsparios keramikos dalys apima galinius efektorius, kėlimo kaiščius, kreipiamuosius bėgelius ir specialius FAB automatizavimo įtaisus.
-
Puslaidininkinių zondų įrangos keraminės atsarginės dalys
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Keraminių plokščių puslaidininkių įrangos nešiklis
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Puslaidininkių įrangos keraminės atsarginės dalys
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keraminis sandarinimo žiedas aukštos temperatūros kamerų sandarinimui
„St.Cera“ keraminis sandarinimo žiedas sukurtas kaip alternatyva polimeriniams O žiedams ekstremaliose aplinkose, kuriose elastomerai degraduoja. Pagamintas iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), šis standus sandarinimo žiedas naudojamas statinėse sandarinimo srityse – paprastai kartu su minkštu metaliniu arba grafitiniu tarpikliu – siekiant užtikrinti patikimą vakuumo arba dujų sulaikymą iki 800 °C temperatūroje ir agresyvioje plazmos ar cheminėje aplinkoje. Medžiaga neišskiria dujų, pasižymi dideliu gniuždymo stiprumu (pagrindinis lenkimo stipris 361 MPa) ir cheminiu inertiškumu (atspari halogenams, rūgštims ir šarmams, išskyrus HF). Tiksliai nušlifuoti sandarinimo paviršiai (lygumas ≤5 μm, paviršiaus šiurkštumas Ra ≤0,2 μm) užtikrina sandarų kontaktą su atitinkamais metaliniais arba keraminiais komponentais.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido kamerinis fokusavimo žiedas plazminio ėsdinimo ir CVD sistemoms
„St.Cera“ kameros fokusavimo žiedas yra labai svarbus proceso rinkinio komponentas, naudojamas plazminio ėsdinimo, CVD ir PVD puslaidininkių įrangoje. Pagamintas iš 99,8 % didelio grynumo aliuminio oksido (Al₂O₃), žiedas supa plokštelės kraštą, kad suvaržytų plazmą ir optimizuotų jonų kampinį pasiskirstymą, taip pagerindamas ėsdinimo vienodumą visame plokštelės paviršiuje. Medžiaga pasižymi išskirtiniu plazmos atsparumu, dideliu dielektriniu stiprumu (15 × 10⁶ V/m) ir terminiu stabilumu iki 1600 °C, užtikrinant ilgalaikį patikimumą agresyvioje fluoro ar chloro pagrindu veikiančioje plazmos aplinkoje. Tiksliai šlifuotas vidinis/išorinis skersmuo ir plokštumas (≤10 μm) leidžia tiksliai pozicionuoti plokštelės kraštą, sumažinant kraštų defektus ir dalelių susidarymą.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keraminis žiedas CVD / PVD procesų kameroms
„St.Cera“ keraminis žiedas yra specialiai sukurtas naudoti CVD (cheminio garų nusodinimo) ir PVD (fizikinio garų nusodinimo) procesų kamerose. Pagamintas iš 99,8 % didelio grynumo aliuminio oksido (Al₂O₃), šis žiedas naudojamas kaip kameros įdėklas, fokusavimo žiedas arba proceso rinkinio komponentas, skirtas plazmai apriboti ir kameros sienelėms apsaugoti nuo erozijos. Medžiaga pasižymi puikiu plazmos atsparumu, dideliu dielektriniu stiprumu (15×10⁶ V/m) ir terminiu stabilumu iki 1600 °C, užtikrinant ilgą tarnavimo laiką agresyvioje fluoro pagrindu sukurtoje plazmos aplinkoje. Tikslūs matmenų tolerancijos (±0,05 mm vidinio/išorinio skersmens atžvilgiu) ir plokštumas (≤10 μm) leidžia nuosekliai pozicionuoti plokštelių kraštus, pagerinti nusodinimo vienodumą ir sumažinti dalelių susidarymą.
-
Bernoulli keraminis efektorius – bekontaktis plokštelių apdorojimas plonoms ir trapioms plokštelėms
„St.Cera Bernoulli“ keraminis galinis efektorius naudoja aerodinaminę kėlimo jėgą, kad galėtų apdoroti plokšteles be fizinio kontakto. Pagamintas iš didelio grynumo 99,8 % aliuminio oksido (Al₂O₃) arba silicio karbido (SiC), jame yra tiksliai apdirbti purkštukai, kurie išstumia suslėgtas dujas ir sukuria ploną oro plėvelę tarp galinio efektoriaus ir plokštelės. Šis nekontaktinis principas pašalina užpakalinės pusės užterštumą, kraštų nuskilinėjimą ir paviršiaus pažeidimus, todėl jis idealiai tinka plonoms (≤100 μm), trapioms ar deformuotoms plokštelėms. Keraminis substratas pasižymi dideliu lenkimo stiprumu (361 MPa Al₂O₃; iki 550–600 MPa SiC), maža mase ir puikiu matmenų stabilumu, užtikrinant pakartojamą pozicionavimą greitaeigiuose plokštelių perkėlimo robotuose.
