-
Aukšto grynumo aliuminio oksido keraminiai diskai
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
aliuminio oksido keramikos rankena
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Keraminiai izoliaciniai žiedai Keraminiai fokusavimo žiedai
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
ST.CERA aliuminio oksido keraminis spaustuko žiedas su izoliacijos apsauga
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keramikos roboto ranka vaflių tvarkymui
„St.Cera“ aliuminio oksido keramikos roboto ranka pagaminta tiksliai iš 99,8 % grynumo Al₂O₃ (aliuminio oksido). Ji pasižymi išskirtiniu lenkimo stiprumu (361 MPa), dideliu kietumu (16 GPa) ir mažu tankiu (3,93 g/cm³), todėl yra lengva, bet tvirta ranka puslaidininkinių plokštelių perkėlimui. Medžiagos šiluminio plėtimosi koeficientas (7,2 × 10⁻⁶/°C) tiksliai atitinka silicį, todėl apdorojimo metu sumažėja šiluminis neatitikimas.
-
Aliuminio oksido didelio tikslumo keraminiai žiediniai keraminiai gabalai
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
ST.CERA pritaikyti puslaidininkių įrangos keraminiai griebtuvai
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Silicio karbido (SiC) keraminis efektorius – didelis standumas, skirtas aukštos temperatūros plokštelių apdorojimui
„St.Cera“ SiC keraminis galinis efektorius pagamintas iš labai gryno silicio karbido (SiC kiekis 99,72 %, laisvojo Si 0,05 %), naudojant S1111 partijos medžiagą. Jis pasižymi išskirtinėmis mechaninėmis savybėmis: lenkimo stipris 449 MPa (išmatuotas), tamprumo modulis 457 GPa (išmatuotas) ir Vikerso kietumas 25–28 GPa (tipinis). Mažas tankis (3,10–3,15 g/cm³, tipinis) suteikia didelį savitąjį standumą, idealiai tinkantį greitaeigiams plokštelių perkėlimo robotams. Šis galinis efektorius, kurio šilumos laidumas yra 120–150 W/m·K (tipinis), o šiluminio plėtimosi koeficientas – 4,0–4,5 × 10⁻⁶/℃ (tipinis), efektyviai išsklaido šilumą ir išlaiko matmenų stabilumą dirbant aukštoje temperatūroje (iki 1600–1700 °C, be apkrovos). Juoda/pilka spalva ir nulinė vandens absorbcija užtikrina suderinamumą su švariomis patalpomis.
-
Silicio karbido (SiC) pagrindu pagamintas vakuuminis griebtuvas, skirtas aukštos temperatūros ir plazmos aplinkai
„St.Cera“ SiC pagrindu pagamintas keraminis griebtuvas pagamintas iš labai gryno silicio karbido (partija S1111, SiC 99,72 %, laisvojo Si 0,05 %). Jo išmatuotas lenkimo stipris yra 449 MPa, lūžio atsparumas – 3,12 MPa·m¹/², o tamprumo modulis – 457 GPa. Tipinis medžiagos šilumos laidumas (120–150 W/m·K) ir mažas šiluminis plėtimasis (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) leidžia greitai padidinti temperatūrą ir minimalų plokštelių deformavimąsi terminio ciklavimo metu. Griebtuvas gali būti sukonfigūruotas kaip porėtas vakuuminis griebtuvas (vienodas dujų srautas) arba standartinis griovelis su grioveliais. Maksimali naudojimo temperatūra yra 1600–1700 °C (be apkrovos) ir pasižymi išskirtiniu atsparumu plazmos erozijai, todėl šis griebtuvas idealiai tinka aukštos temperatūros plokštelių apdorojimui (atkaitinimui, RTP) ir agresyvioms ėsdinimo kameroms, kuriose aliuminio oksido griebtuvai susidėvi.
-
Puslaidininkių įranga, keraminės atsarginės dalys, keraminiai nešikliai
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
Metalu dengtas aliuminio oksido keraminis šlifavimo žiedas, skirtas didelio standumo šlifavimui
„St.Cera“ metalo pagrindu pagamintas aliuminio oksido šlifavimo žiedas sujungia labai gryną aliuminio oksido (99,8 % Al₂O₃) keraminį dilimo sluoksnį su tiksliai apdirbtu metaliniu pagrindu (paprastai aliuminiu arba nerūdijančiu plienu). Ši hibridinė konstrukcija suteikia išskirtinį keramikos atsparumą dilimui ir cheminį inertiškumą šlifavimo paviršiuje, o metalinis pagrindas padidina mechaninį stiprumą, lengvą montavimą ir atsparumą trapumui. Aliuminio oksido sluoksnio lenkimo stipris yra 361 MPa, Vikerso kietumas – 16 GPa, o terminis stabilumas – iki 800 °C. Metalinis pagrindas yra pritaikytas tvirtinimo angoms, pozicionavimo kaiščiams arba magnetinėms savybėms, kad būtų galima integruoti į šlifavimo stakles, planetinius šlifuoklius ir CMP įrangą.
-
Puslaidininkinių zondų stoties įrangos keraminės atsarginės dalys
Šalto izostatinio presavimo būdu suformuotos ir aukštoje temperatūroje sukepintos, o po to tiksliai apdirbtos ir poliruotos keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija. Keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, veikiant aukštoje temperatūroje, vakuume arba korozinėse dujose.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
