-
Keramički diskovi od aluminijevog oksida visoke čistoće
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
keramička ruka od aluminijevog oksida
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
Keramički izolacijski prstenovi Keramički prstenovi za fokusiranje
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
ST.CERA Zaštita izolacije od keramičkog steznog prstena od aluminijevog oksida
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
Robotska ruka od visokočistog aluminijumskog keramičkog oksida za rukovanje pločicama
St.Cera robotska ruka od aluminijum keramičkog oksida precizno je konstruirana od 99,8% visokočistog Al₂O₃ (aluminijum oksida). Kombinuje izuzetnu čvrstoću na savijanje (361 MPa), visoku tvrdoću (16 GPa) i nisku gustinu (3,93 g/cm³), što rezultira laganom, ali čvrstom rukom za prenos poluprovodničkih pločica. Koeficijent termičkog širenja materijala (7,2×10⁻⁶/°C) blisko se podudara sa silicijumom, minimizirajući termičku neusklađenost tokom obrade.
-
Keramički dijelovi od visokopreciznog keramičkog prstena od aluminijevog oksida
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
ST.CERA Prilagođene keramičke stezne glave za poluprovodničku opremu
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
Keramički krajnji efektor od silicijum-karbida (SiC) – visoka krutost za rukovanje pločicama na visokim temperaturama
St.Cera SiC keramički krajnji efektor proizveden je od silicijum karbida visoke čistoće (sadržaj SiC 99,72%, slobodnog Si 0,05%) korištenjem materijala S1111. Nudi izuzetna mehanička svojstva: čvrstoća na savijanje 449 MPa (izmjereno), modul elastičnosti 457 GPa (izmjereno) i tvrdoća po Vickersu 25–28 GPa (tipično). Niska gustoća (3,10–3,15 g/cm³, tipično) pruža visoku specifičnu krutost, idealnu za robote za brzi prijenos pločica. Sa toplinskom provodljivošću od 120–150 W/m·K (tipično) i koeficijentom toplinskog širenja od 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipično), ovaj krajnji efektor efikasno odvodi toplinu i održava dimenzionalnu stabilnost tokom rukovanja na visokim temperaturama (do 1600–1700°C, bez opterećenja). Crno/siva boja i nulta apsorpcija vode osiguravaju kompatibilnost sa čistim sobama.
-
Vakuumska stezna glava na bazi silicijum karbida (SiC) za visokotemperaturna i plazma okruženja
St.Cera keramička stezna glava na bazi SiC-a proizvedena je od silicijum karbida visoke čistoće (serija S1111, SiC 99,72%, slobodni Si 0,05%). Pruža izmjerenu čvrstoću na savijanje od 449 MPa, žilavost na lom od 3,12 MPa·m¹/² i modul elastičnosti od 457 GPa. Tipična toplinska provodljivost materijala (120–150 W/m·K) i nisko toplinsko širenje (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) omogućavaju brzo povećanje temperature i minimalno savijanje pločice tokom termičkog cikliranja. Stezna glava se može konfigurirati kao porozna vakuumska stezna glava (ujednačen protok plina) ili standardna stezna glava s užljebljenjem. S maksimalnom temperaturom upotrebe od 1600–1700°C (bez opterećenja) i izuzetnom otpornošću na eroziju plazmom, ova stezna glava je idealna za obradu pločica na visokim temperaturama (žarenje, RTP) i agresivne komore za nagrizanje gdje se aluminijske stezne glave degradiraju.
-
Poluprovodnička oprema Keramički rezervni dijelovi Keramički nosači
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
-
Brusni prsten od aluminijumskog keramičkog oksida s metalnom podlogom za primjenu poliranja visoke krutosti
St.Cera brusni prsten od metalnog oksida kombinuje keramički sloj od visokočistog oksida (99,8% Al₂O₃) sa precizno obrađenom metalnom podlogom (obično aluminijum ili nehrđajući čelik). Ovaj hibridni dizajn pruža izuzetnu otpornost na habanje i hemijsku inertnost keramike na površini za brušenje, dok metalna baza dodaje mehaničku čvrstoću, jednostavnu montažu i otpornost na krhki lom. Sloj oksida nudi čvrstoću na savijanje od 361 MPa, tvrdoću po Vickersu od 16 GPa i termičku stabilnost do 800°C. Metalna baza je prilagođena rupama za montažu, locirajućim klinovima ili magnetnim svojstvima za integraciju u mašine za lepanje, planetarne brusilice i CMP opremu.
-
Keramički rezervni dijelovi za opremu poluprovodničkih sondi
Formirani hladnim izostatičkim presovanjem i sinterovani pod visokom temperaturom, zatim precizno obrađeni i polirani, keramički rezervni dijelovi mogu ispuniti sve stroge zahtjeve poluprovodničke opreme svojim karakteristikama otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju, niskog termičkog širenja i izolacije. Keramika može dugo vremena raditi u mnogim vrstama opreme za proizvodnju poluprovodnika u uslovima visoke temperature, vakuuma ili korozivnog gasa.
Napravljen od visokočistog praha aluminijevog oksida, obrađen hladnim izostatičkim presovanjem, sinterovanjem na visokim temperaturama i preciznom završnom obradom, može dostići toleranciju dimenzija do ±0,001 mm, površinsku završnu obradu Ra 0,1, otpornost na temperaturu 1600℃.
