-
Жоғары тазалықтағы алюминий оксиді керамикалық дискілер
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
алюминий тотығы бар керамикалық қол
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
Керамикалық оқшаулағыш сақиналар Керамикалық фокустау сақиналары
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
ST.CERA алюминий тотығы бар керамикалық қысқыш сақинасы оқшаулағыш қорғанысы
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
Вафлимен жұмыс істеуге арналған жоғары тазалықтағы алюминий оксиді керамикалық робот қолы
St.Cera компаниясының алюминий оксиді бар керамикалық робот қолы 99,8% жоғары тазалықтағы Al₂O₃ (глинозем) қоспасынан дәлдікпен жасалған. Ол ерекше иілу беріктігі (361 МПа), жоғары қаттылық (16 ГПа) және төмен тығыздықты (3,93 г/см³) біріктіреді, бұл жартылай өткізгіш пластиналарды тасымалдау үшін жеңіл, бірақ қатты қолды жасайды. Материалдың жылулық кеңею коэффициенті (7,2 × 10⁻⁶/°C) кремнийге өте ұқсас, бұл өңдеу кезінде жылулық сәйкессіздікті азайтады.
-
Алюминий тотығы жоғары дәлдіктегі керамикалық сақиналы керамикалық бөлшектер
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
ST.CERA жартылай өткізгіш жабдықтарына арналған керамикалық патрондар
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
Кремний карбиді (SiC) керамикалық ұштық эффекторы – жоғары температуралы пластиналарды өңдеуге арналған жоғары қаттылық
St.Cera компаниясының SiC керамикалық соңғы эффекторы S1111 партия материалын пайдаланып жоғары тазалықтағы кремний карбидінен (SiC мөлшері 99,72%, бос Si 0,05%) жасалған. Ол ерекше механикалық қасиеттерге ие: иілу беріктігі 449 МПа (өлшенген), серпімділік модулі 457 ГПа (өлшенген) және Виккерс қаттылығы 25–28 ГПа (әдеттегідей). Төмен тығыздық (әдеттегідей 3,10–3,15 г/см³) жоғары жылдамдықты пластина тасымалдау роботтары үшін өте қолайлы жоғары меншікті қаттылықты қамтамасыз етеді. 120–150 Вт/м·К (әдеттегідей) жылу өткізгіштігі және 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (әдеттегідей) жылу кеңею коэффициентімен бұл соңғы эффектор жоғары температурада өңдеу кезінде (1600–1700°C дейін, жүктемесіз) жылуды тиімді түрде таратады және өлшемдік тұрақтылықты сақтайды. Қара/сұр түс және суды нөлдік сіңіру таза бөлме үйлесімділігін қамтамасыз етеді.
-
Жоғары температуралы және плазмалық орталарға арналған кремний карбиді (SiC) негізіндегі вакуумдық патрон
St.Cera компаниясының SiC негізіндегі керамикалық патрон жоғары тазалықтағы кремний карбидінен жасалған (партия S1111, SiC 99,72%, бос Si 0,05%). Ол 449 МПа өлшенген иілу беріктігі, 3,12 МПа·м¹/² сыну беріктігі және 457 ГПа серпімділік модулін береді. Материалдың әдеттегі жылу өткізгіштігі (120–150 Вт/м·К) және төмен жылу кеңеюі (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) термиялық цикл кезінде температураның тез өзгеруіне және пластинаның минималды деформациясына мүмкіндік береді. Патронды кеуекті вакуумдық патрон (біркелкі газ ағыны) немесе ойықты стандартты патрон ретінде конфигурациялауға болады. Максималды пайдалану температурасы 1600–1700°C (жүктемесіз) және плазмалық эрозияға төзімділігі жоғары бұл патрон жоғары температуралы пластиналарды өңдеу (күйдіру, RTP) және алюминий оксиді патрондары ыдырайтын агрессивті өңдеу камералары үшін өте қолайлы.
-
Жартылай өткізгіш жабдықтар Керамикалық қосалқы бөлшектер Керамикалық тасымалдаушылар
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
Жоғары қаттылықтағы тегістеу қолданбаларына арналған металл негізіндегі алюминий тотығы бар керамикалық тегістеу сақинасы
St.Cera компаниясының металл негізіндегі алюминий оксидін тегістеу сақинасы жоғары тазалықтағы алюминий оксидін (99,8% Al₂O₃) керамикалық тозу қабатын дәл өңделген металл тіреуішпен (әдетте алюминий немесе тот баспайтын болат) біріктіреді. Бұл гибридті дизайн тегістеу бетінде керамиканың ерекше тозуға төзімділігі мен химиялық инерттілігін қамтамасыз етеді, ал металл негізі механикалық беріктікті, оңай бекітуді және сынғыштыққа төзімділікті арттырады. Алюминий оксиді қабаты иілу беріктігі 361 МПа, Виккерс қаттылығы 16 ГПа және термиялық тұрақтылықты 800°C дейін ұсынады. Металл негізі тегістеу машиналарына, планеталық тегістеу машиналарына және CMP жабдықтарына біріктіру үшін бекіту тесіктерімен, орналастыру түйреуіштерімен немесе магниттік қасиеттермен теңшелген.
-
Жартылай өткізгіш зонд станциясының жабдықтарына арналған керамикалық қосалқы бөлшектер
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
