-
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா செராமிக் வட்டுகள்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
அலுமினா செராமிக் கை
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
பீங்கான் காப்பு வளையங்கள் பீங்கான் குவிய வளையங்கள்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
ST.CERA அலுமினா செராமிக் கிளாம்ப் ரிங் இன்சுலேஷன் பாதுகாப்பு
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
வேஃபர் கையாளுதலுக்கான உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக் ரோபோ கை
செயின்ட் செராவின் அலுமினா செராமிக் ரோபோ கை, 99.8% உயர் தூய்மையான Al₂O₃ (அலுமினா) கொண்டு துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. இது விதிவிலக்கான வளைவு வலிமை (361 MPa), அதிக கடினத்தன்மை (16 GPa) மற்றும் குறைந்த அடர்த்தி (3.93 g/cm³) ஆகியவற்றை ஒருங்கிணைத்து, குறைக்கடத்தி வேஃபர் பரிமாற்றத்திற்காக எடை குறைந்த அதே சமயம் உறுதியான ஒரு கையை உருவாக்குகிறது. இந்த பொருளின் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (7.2×10⁻⁶/°C) சிலிக்கானுடன் நெருக்கமாகப் பொருந்துவதால், செயலாக்கத்தின் போது ஏற்படும் வெப்பப் பொருத்தமின்மை குறைக்கப்படுகிறது.
-
அலுமினா உயர் துல்லிய பீங்கான் வளையம் பீங்கான் பாகங்கள்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
ST.CERA தனிப்பயனாக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் செராமிக் சக்குகள்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர் – உயர்-வெப்பநிலை வேஃபர் கையாளுதலுக்கான உயர் விறைப்புத்தன்மை
St.Cera-வின் SiC செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர், S1111 தொகுதிப் பொருளைப் பயன்படுத்தி, உயர்-தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து (SiC உள்ளடக்கம் 99.72%, தனி Si 0.05%) தயாரிக்கப்படுகிறது. இது விதிவிலக்கான இயந்திரவியல் பண்புகளை வழங்குகிறது: வளைவு வலிமை 449 MPa (அளவிடப்பட்டது), மீள் குணகம் 457 GPa (அளவிடப்பட்டது), மற்றும் விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை 25–28 GPa (வழக்கமானது). இதன் குறைந்த அடர்த்தி (3.10–3.15 g/cm³, வழக்கமானது) அதிக குறிப்பிட்ட விறைப்புத்தன்மையை வழங்குகிறது, இது அதிவேக வேஃபர் பரிமாற்ற ரோபோக்களுக்கு மிகவும் ஏற்றது. 120–150 W/m·K (வழக்கமானது) வெப்பக் கடத்துத்திறன் மற்றும் 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (வழக்கமானது) வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்துடன், இந்த எண்ட் எஃபெக்டர் அதிக வெப்பநிலையில் (1600–1700°C வரை, சுமை இல்லாமல்) கையாளப்படும்போது வெப்பத்தைத் திறம்பட வெளியேற்றி, பரிமாண நிலைத்தன்மையைப் பராமரிக்கிறது. கருப்பு/சாம்பல் நிறமும், நீர் உறிஞ்சாத தன்மையும் தூய்மை அறைக்கு ஏற்ற தன்மையை உறுதி செய்கின்றன.
-
உயர் வெப்பநிலை மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கான சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடிப்படையிலான வெற்றிட சக்
செயின்ட்.செராவின் SiC-அடிப்படையிலான செராமிக் சக், உயர்-தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடிலிருந்து (தொகுதி S1111, SiC 99.72%, தனி Si 0.05%) தயாரிக்கப்படுகிறது. இது 449 MPa அளவிடப்பட்ட வளைவு வலிமை, 3.12 MPa·m¹/² முறிவு உறுதித்தன்மை மற்றும் 457 GPa மீள் குணகம் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. இந்த பொருளின் வழக்கமான வெப்பக் கடத்துத்திறன் (120–150 W/m·K) மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ஆகியவை, வெப்ப சுழற்சியின் போது விரைவான வெப்பநிலை ஏற்றத்திற்கும் குறைந்தபட்ச வேஃபர் வளைவிற்கும் வழிவகுக்கின்றன. இந்த சக்கை ஒரு நுண்துளை வெற்றிட சக்காக (சீரான வாயு ஓட்டம்) அல்லது ஒரு பள்ளம் கொண்ட நிலையான சக்காக உள்ளமைக்க முடியும். 1600–1700°C (சுமை இல்லாத நிலையில்) அதிகபட்ச பயன்பாட்டு வெப்பநிலை மற்றும் விதிவிலக்கான பிளாஸ்மா அரிப்பு எதிர்ப்புத் திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்ட இந்த சக், உயர்-வெப்பநிலை வேஃபர் செயலாக்கம் (அனீலிங், RTP) மற்றும் அலுமினா சக்குகள் தரம் குறையக்கூடிய தீவிரமான எட்ச் சேம்பர்களுக்கு மிகவும் உகந்ததாகும்.
-
குறைக்கடத்தி உபகரணங்கள் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள் பீங்கான் கேரியர்கள்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
-
அதிக விறைப்புத்தன்மை கொண்ட மெருகூட்டும் பயன்பாடுகளுக்கான, உலோகப் பின்புலம் கொண்ட அலுமினா செராமிக் அரைக்கும் வளையம்
செயின்ட்.செராவின் உலோக அடிப்படையிலான அலுமினா அரைக்கும் வளையம், உயர் தூய்மை அலுமினா (99.8% Al₂O₃) செராமிக் தேய்மான அடுக்கை, துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட உலோகப் பின்புலத்துடன் (பொதுவாக அலுமினியம் அல்லது துருப்பிடிக்காத எஃகு) இணைக்கிறது. இந்த கலப்பின வடிவமைப்பு, அரைக்கும் பரப்பில் செராமிக்கின் சிறப்பான தேய்மான எதிர்ப்புத்திறனையும் வேதியியல் மந்தத்தன்மையையும் வழங்குகிறது. அதே நேரத்தில், உலோக அடித்தளம் இயந்திர வலிமை, எளிதான பொருத்துதல் மற்றும் எளிதில் உடையக்கூடிய முறிவுக்கு எதிரான எதிர்ப்புத்திறனைச் சேர்க்கிறது. இந்த அலுமினா அடுக்கு 361 MPa வளைவு வலிமை, 16 GPa விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை மற்றும் 800°C வரை வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. இந்த உலோக அடித்தளமானது, லேப்பிங் இயந்திரங்கள், பிளானட்டரி கிரைண்டர்கள் மற்றும் CMP உபகரணங்களில் ஒருங்கிணைப்பதற்காக, பொருத்தும் துளைகள், நிலைநிறுத்தும் முள்கள் அல்லது காந்தப் பண்புகளுடன் தனிப்பயனாக்கப்படுகிறது.
-
குறைக்கடத்தி ஆய்வு நிலைய உபகரணங்களுக்கான பீங்கான் உதிரி பாகங்கள்
குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் மூலம் வடிவமைக்கப்பட்டு, உயர் வெப்பநிலையில் உருக்கி இணைக்கப்பட்டு, பின்னர் துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டு மெருகூட்டப்படும் பீங்கான் உதிரி பாகங்கள், தேய்மான எதிர்ப்பு, அரிமான எதிர்ப்பு, குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் மின்காப்பு போன்ற அதன் பண்புகளால் குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் எந்தவொரு கடுமையான தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. பீங்கான்கள், உயர் வெப்பநிலை, வெற்றிடம் அல்லது அரிக்கும் வாயு போன்ற சூழல்களில் பல வகையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களில் நீண்ட காலத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினா தூளிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டு, குளிர் ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம், உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் மற்றும் துல்லியமான இறுதி வேலைப்பாடுகள் மூலம் பதப்படுத்தப்படுவதால், இது ±0.001 மிமீ வரையிலான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, Ra 0.1 மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் 1600℃ வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறனை அடையக்கூடியது.
