-
Керамічныя дыскі з аксіду алюмінію высокай чысціні
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
керамічны кранштэйн з аксіду алюмінію
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Керамічныя ізаляцыйныя кольцы Керамічныя факусуючыя кольцы
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Ізаляцыйная абарона з керамічнага хамута ST.CERA з аксіду алюмінію
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Высокачыстая керамічная рука робата з аксіду алюмінію для апрацоўкі пласцін
Алюмінакерамічная рабатызаваная рука St.Cera выраблена з высокадакладных матэрыялаў з высокачыстага Al₂O₃ (аксіду алюмінію) на 99,8%. Яна спалучае ў сабе выключную трываласць на выгіб (361 МПа), высокую цвёрдасць (16 ГПа) і нізкую шчыльнасць (3,93 г/см³), што дазваляе атрымаць лёгкую, але жорсткую руку для пераносу паўправадніковых пласцін. Каэфіцыент цеплавога пашырэння матэрыялу (7,2×10⁻⁶/°C) вельмі блізкі да крэмнію, што мінімізуе цеплавую разыходжанне падчас апрацоўкі.
-
Высокадакладныя керамічныя кольцы з аксіду алюмінію, керамічныя дэталі
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Керамічныя патроны ST.CERA для паўправадніковага абсталявання на заказ
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Керамічны канцавы эфектар з карбіду крэмнію (SiC) — высокая калянасць для апрацоўкі высокатэмпературных пласцін
Керамічны канцавы эфектар St.Cera з карбіду крэмнію SiC выраблены з высакаякаснага карбіду крэмнію (утрыманне SiC 99,72%, свабодны Si 0,05%) з выкарыстаннем матэрыялу S1111. Ён валодае выключнымі механічнымі ўласцівасцямі: трываласць на выгіб 449 МПа (вымярана), модуль пругкасці 457 ГПа (вымярана) і цвёрдасць па Вікерсу 25–28 ГПа (тыповая). Нізкая шчыльнасць (3,10–3,15 г/см³, тыповая) забяспечвае высокую ўдзельную калянасць, ідэальную для высакахуткасных робатаў для пераносу пласцін. З цеплаправоднасцю 120–150 Вт/м·K (тыповая) і каэфіцыентам цеплавога пашырэння 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (тыповая), гэты канцавы эфект эфектыўна рассейвае цяпло і падтрымлівае стабільнасць памераў пры апрацоўцы пры высокіх тэмпературах (да 1600–1700°C, без нагрузкі). Чорна-шэры колер і нулявое водапаглынанне забяспечваюць сумяшчальнасць з чыстымі памяшканнямі.
-
Вакуумны патрон на аснове карбіду крэмнію (SiC) для высокатэмпературных і плазменных асяроддзяў
Керамічны патрон St.Cera на аснове карбіду крэмнію выраблены з высакаякаснага карбіду крэмнію (партыя S1111, SiC 99,72%, свабодны Si 0,05%). Ён мае вымераную трываласць на выгіб 449 МПа, глейкасць на разлом 3,12 МПа·м¹/² і модуль пругкасці 457 ГПа. Тыповая цеплаправоднасць матэрыялу (120–150 Вт/м·К) і нізкае цеплавое пашырэнне (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) дазваляюць хутка награваць і мінімальна дэфармаваць пласціны падчас тэрмічнага цыклавання. Патрон можа быць выкананы ў выглядзе порыстага вакуумнага патрона (раўнамерны паток газу) або стандартнага патрона з канаўкамі. З максімальнай тэмпературай выкарыстання 1600–1700°C (без нагрузкі) і выключнай устойлівасцю да плазменнай эрозіі, гэты патрон ідэальна падыходзіць для высокатэмпературнай апрацоўкі пласцін (адпал, RTP) і камер агрэсіўнага травлення, дзе патроны з аксіду алюмінію дэградуюць.
-
Паўправадніковае абсталяванне Керамічныя запасныя часткі Керамічныя носьбіты
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
-
Шліфавальнае кольца з керамікі з аксіду алюмінію на металічнай аснове для высокатрывалай прыціркі
Шліфавальнае кольца St.Cera на аснове металу з аксіду алюмінію спалучае ў сабе керамічны зносаўстойлівы пласт з высакаякаснага аксіду алюмінію (99,8% Al₂O₃) з дакладна апрацаванай металічнай асновай (звычайна з алюмінію або нержавеючай сталі). Гэтая гібрыдная канструкцыя забяспечвае выключную зносаўстойлівасць і хімічную інертнасць керамікі на шліфавальнай паверхні, у той час як металічная аснова дадае механічную трываласць, лёгкі мантаж і ўстойлівасць да далікатнага разбурэння. Пласт аксіду алюмінію забяспечвае трываласць на выгіб 361 МПа, цвёрдасць па Вікерсу 16 ГПа і тэрмічную стабільнасць да 800°C. Металічная аснова можа быць абсталявана мантажнымі адтулінамі, фіксуючымі штыфтамі або магнітнымі ўласцівасцямі для інтэграцыі ў прыцірныя станкі, планетарныя шліфавальныя станкі і абсталяванне для плоскаснага вырабу.
-
Керамічныя запасныя часткі для абсталявання паўправадніковых зондавых станцый
Сфарміраваныя шляхам халоднага ізастатычнага прэсавання і спечаныя пры высокай тэмпературы, а затым дакладна апрацаваныя і адпаліраваныя, керамічныя запасныя часткі могуць адпавядаць любым строгім патрабаванням да паўправадніковага абсталявання дзякуючы сваім характарыстыкам зносаўстойлівасці, каразійнай устойлівасці, нізкаму цеплавому пашырэнню і ізаляцыі. Кераміка можа працаваць у многіх відах паўправадніковага вытворчага абсталявання ва ўмовах высокай тэмпературы, вакууму або агрэсіўнага газу на працягу доўгага часу.
Выраблены з высакаякаснага парашка аксіду алюмінію, апрацаванага халодным ізастатычным прэсаваннем, спяканнем пры высокай тэмпературы і дакладнай аздабленнем, ён можа дасягнуць дапушчальнага адхілення памераў ±0,001 мм, паверхневай аздабленнем Ra 0,1, тэмпературнай устойлівасцю 1600℃.
