-
Yüksek Saflıkta Alümina Seramik Diskler
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
alümina seramik kol
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
Seramik İzolasyon Halkaları Seramik Odaklama Halkaları
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
ST.CERA Alümina Seramik Kelepçe Halkası Yalıtım Koruması
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
Yarı iletken levhaların taşınması için yüksek saflıkta alümina seramik robot kolu
St.Cera'nın alümina seramik robot kolu, %99,8 saflıkta Al₂O₃ (alümina) kullanılarak hassas bir şekilde üretilmiştir. Olağanüstü eğilme dayanımı (361 MPa), yüksek sertlik (16 GPa) ve düşük yoğunluğu (3,93 g/cm³) bir araya getirerek, yarı iletken gofret transferi için hafif ancak rijit bir kol oluşturur. Malzemenin termal genleşme katsayısı (7,2×10⁻⁶/°C) silikon ile yakından eşleşerek, işlem sırasında termal uyumsuzluğu en aza indirir.
-
Alümina Yüksek Hassasiyetli Seramik Halka Seramik Parçalar
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
ST.CERA Özel Tasarım Yarı İletken Ekipman Seramik Tutucuları
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
Silisyum Karbür (SiC) Seramik Uç Eleman – Yüksek Sıcaklıkta Yonga Levha İşleme İçin Yüksek Sertlik
St.Cera'nın SiC seramik uç elemanı, S1111 hammaddesi kullanılarak yüksek saflıkta silisyum karbürden (SiC içeriği %99,72, serbest Si %0,05) üretilmiştir. Olağanüstü mekanik özellikler sunar: eğilme dayanımı 449 MPa (ölçülmüş), elastik modül 457 GPa (ölçülmüş) ve Vickers sertliği 25–28 GPa (tipik). Düşük yoğunluk (3,10–3,15 g/cm³, tipik), yüksek hızlı wafer transfer robotları için ideal olan yüksek özgül sertlik sağlar. 120–150 W/m·K (tipik) termal iletkenlik ve 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipik) termal genleşme katsayısı ile bu uç eleman, yüksek sıcaklıkta (yüksüz olarak 1600–1700°C'ye kadar) işlem sırasında ısıyı etkili bir şekilde dağıtır ve boyutsal kararlılığı korur. Siyah/gri rengi ve sıfır su emme özelliği, temiz oda uyumluluğunu sağlar.
-
Yüksek Sıcaklık ve Plazma Ortamları için Silisyum Karbür (SiC) Tabanlı Vakum Tutucu
St.Cera'nın SiC tabanlı seramik tutucusu, yüksek saflıkta silisyum karbürden (parti S1111, %99,72 SiC, %0,05 serbest Si) üretilmiştir. 449 MPa'lık ölçülen eğilme dayanımı, 3,12 MPa·m¹/²'lik kırılma tokluğu ve 457 GPa'lık elastik modülü sunar. Malzemenin tipik termal iletkenliği (120–150 W/m·K) ve düşük termal genleşmesi (4,0–4,5×10⁻⁶/℃), hızlı sıcaklık artışına ve termal döngü sırasında minimum wafer deformasyonuna olanak tanır. Tutucu, gözenekli vakum tutucu (tekdüze gaz akışı) veya oluklu standart tutucu olarak yapılandırılabilir. 1600–1700°C (yüksüz) maksimum kullanım sıcaklığı ve olağanüstü plazma aşınma direnci ile bu tabla, alümina tablaların bozulduğu yüksek sıcaklıkta gofret işleme (tavlama, RTP) ve agresif aşındırma odaları için idealdir.
-
Yarı İletken Ekipmanları Seramik Yedek Parçaları Seramik Taşıyıcılar
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
Yüksek Rijitlik Gerektiren Taşlama Uygulamaları için Metal Destekli Alümina Seramik Taşlama Halkası
St.Cera'nın metal tabanlı alümina taşlama halkası, yüksek saflıkta alümina (%99,8 Al₂O₃) seramik aşınma tabakasını hassas işlenmiş metal bir destekle (genellikle alüminyum veya paslanmaz çelik) birleştirir. Bu hibrit tasarım, taşlama yüzeyinde seramiğin olağanüstü aşınma direncini ve kimyasal inertliğini sağlarken, metal taban mekanik mukavemet, kolay montaj ve kırılgan kırılmaya karşı direnç ekler. Alümina tabakası 361 MPa eğilme mukavemeti, 16 GPa Vickers sertliği ve 800°C'ye kadar termal kararlılık sunar. Metal taban, taşlama makinelerine, planet taşlama makinelerine ve CMP ekipmanlarına entegrasyon için montaj delikleri, konumlandırma pimleri veya manyetik özelliklerle özelleştirilebilir.
-
Yarı İletken Prob İstasyonu Ekipmanları için Seramik Yedek Parçalar
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
