-
ឌីសសេរ៉ាមិចអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ដៃសេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូម
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ចិញ្ចៀនអ៊ីសូឡង់សេរ៉ាមិច ចិញ្ចៀនផ្តោតសេរ៉ាមិច
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ការការពារអ៊ីសូឡង់នៃចិញ្ចៀនសេរ៉ាមិចអាលុយមីណា ST.CERA
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ដៃរ៉ូបូតសេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបន្ទះសៀគ្វី
ដៃមនុស្សយន្តសេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមរបស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតឡើងយ៉ាងជាក់លាក់ពី Al₂O₃ (អាលុយមីញ៉ូម) ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8%។ វារួមបញ្ចូលគ្នានូវកម្លាំងពត់កោងពិសេស (361 MPa) ភាពរឹងខ្ពស់ (16 GPa) និងដង់ស៊ីតេទាប (3.93 ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រគូប) ដែលបណ្តាលឱ្យមានដៃទម្ងន់ស្រាល ប៉ុន្តែរឹងសម្រាប់ការផ្ទេរបន្ទះសៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច។ មេគុណពង្រីកកម្ដៅរបស់សម្ភារៈ (7.2×10⁻⁶/°C) ត្រូវគ្នាយ៉ាងជិតស្និទ្ធនឹងស៊ីលីកុន ដែលកាត់បន្ថយភាពមិនស៊ីគ្នាកម្ដៅក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ។
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចចិញ្ចៀនអាលុយមីណាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ឧបករណ៍សេរ៉ាមិចដែលប្ដូរតាមបំណងរបស់ ST.CERA
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) – ភាពរឹងខ្ពស់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរសីតុណ្ហភាពខ្ពស់
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច SiC របស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតឡើងពីស៊ីលីកុនកាបៃដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (មាតិកា SiC 99.72% Si សេរី 0.05%) ដោយប្រើសម្ភារៈបាច់ S1111។ វាផ្តល់នូវលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចពិសេស៖ កម្លាំងពត់ 449 MPa (វាស់វែង) ម៉ូឌុលយឺត 457 GPa (វាស់វែង) និងភាពរឹង Vickers 25–28 GPa (ធម្មតា)។ ដង់ស៊ីតេទាប (3.10–3.15 g/cm³ ធម្មតា) ផ្តល់នូវភាពរឹងជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលល្អសម្រាប់មនុស្សយន្តផ្ទេរ wafer ល្បឿនលឿន។ ជាមួយនឹងចរន្តកំដៅ 120–150 W/m·K (ធម្មតា) និងមេគុណពង្រីកកំដៅ 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ធម្មតា) ឧបករណ៍បញ្ចប់នេះបញ្ចេញកំដៅប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព និងរក្សាស្ថេរភាពវិមាត្រក្នុងអំឡុងពេលដោះស្រាយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (រហូតដល់ 1600–1700°C គ្មានបន្ទុក)។ ពណ៌ខ្មៅ/ប្រផេះ និងការស្រូបយកទឹកសូន្យធានានូវភាពឆបគ្នានៃបន្ទប់ស្អាត។
-
ប្រដាប់បូមខ្យល់ដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) សម្រាប់បរិស្ថានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងប្លាស្មា
ដង្កៀបសេរ៉ាមិចដែលមានមូលដ្ឋានលើ SiC របស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតចេញពីកាបូនស៊ីលីកុនដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (បាច់ S1111, SiC 99.72%, Si សេរី 0.05%)។ វាផ្តល់នូវកម្លាំងពត់កោងដែលវាស់បាន 449 MPa ភាពធន់នឹងការបាក់ 3.12 MPa·m¹/² និងម៉ូឌុលអេឡាស្ទិក 457 GPa។ ចរន្តកំដៅធម្មតារបស់សម្ភារៈ (120–150 W/m·K) និងការពង្រីកកំដៅទាប (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) អាចឱ្យមានការកើនឡើងសីតុណ្ហភាពយ៉ាងឆាប់រហ័ស និងការរួញតូចបំផុតនៃបន្ទះសៀគ្វីក្នុងអំឡុងពេលវដ្តកម្ដៅ។ ដង្កៀបអាចត្រូវបានកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធជាបន្ទះសៀគ្វីបូមធូលីដែលមានរន្ធ (លំហូរឧស្ម័នឯកសណ្ឋាន) ឬបន្ទះសៀគ្វីស្តង់ដារដែលមានចង្អូរ។ ជាមួយនឹងសីតុណ្ហភាពប្រើប្រាស់អតិបរមា 1600–1700°C (គ្មានបន្ទុក) និងភាពធន់នឹងសំណឹកប្លាស្មាពិសេស ដង្កៀបនេះគឺល្អសម្រាប់ដំណើរការបន្ទះសៀគ្វីសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ (ការធ្វើឱ្យក្តៅ, RTP) និងបន្ទប់ឆ្លាក់ដ៏ខ្លាំងក្លាដែលបន្ទះសៀគ្វីអាលុយមីញ៉ូមរលួយ។
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ឧបករណ៍ផ្ទុកសេរ៉ាមិច
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ចិញ្ចៀនកិនសេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមដែលមានខ្នងដែកសម្រាប់កម្មវិធីកិនដែលមានភាពរឹងខ្ពស់
ចិញ្ចៀនកិនអាលុយមីញ៉ូមដែលមានមូលដ្ឋានលើលោហៈរបស់ St.Cera ផ្សំស្រទាប់ពាក់សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (99.8% Al₂O₃) ជាមួយនឹងផ្នែកខាងក្រោយដែកដែលបានកែច្នៃយ៉ាងជាក់លាក់ (ជាធម្មតាអាលុយមីញ៉ូម ឬដែកអ៊ីណុក)។ ការរចនាចម្រុះនេះផ្តល់នូវភាពធន់នឹងការពាក់ពិសេស និងភាពអសកម្មគីមីរបស់សេរ៉ាមិចលើផ្ទៃកិន ខណៈដែលមូលដ្ឋានដែកបន្ថែមកម្លាំងមេកានិច ការតោងងាយស្រួល និងភាពធន់នឹងការបាក់បែកផុយ។ ស្រទាប់អាលុយមីញ៉ូមផ្តល់នូវកម្លាំងពត់បាន 361 MPa ភាពរឹង Vickers 16 GPa និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 800°C។ មូលដ្ឋានដែកត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងជាមួយរន្ធតោង ម្ជុលកំណត់ទីតាំង ឬលក្ខណៈសម្បត្តិម៉ាញេទិកសម្រាប់ការរួមបញ្ចូលទៅក្នុងម៉ាស៊ីនកិន ម៉ាស៊ីនកិនភព និងឧបករណ៍ CMP។
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចសម្រាប់ឧបករណ៍ស្ថានីយស៊ើបអង្កេតស៊ីមីកុងដុកទ័រ
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
