-
ដំណើរការកែច្នៃតាមតម្រូវការនៃ Al2O3 Ceramic Wafer Chuck
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ចានសេរ៉ាមិចសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក ST.CERA តាមតម្រូវការ
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ឈុកបូមធូលីអាលុយមីញ៉ូមទំហំ 12 អ៊ីញសម្រាប់ដំណើរការបន្ទះស្តើងទំហំ 300 មីលីម៉ែត្រ
ក្បាលម៉ាស៊ីនបូមខ្យល់ទំហំ 12 អ៊ីញរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងយ៉ាងជាក់លាក់ពីអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (Al₂O₃) 99.8% សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបន្ទះវ៉ាហ្វើរ 300 មីលីម៉ែត្រ។ ក្បាលម៉ាស៊ីននេះមានផ្ទៃដែលមានចង្អូរល្អិតល្អន់ (ទទឹងចង្អូរ 0.5–1.0 មីលីម៉ែត្រ ជម្រេ 2–3 មីលីម៉ែត្រ) ដើម្បីធានាបាននូវការចែកចាយក្នុងកន្លែងបូមខ្យល់ស្មើភាពទូទាំងអង្កត់ផ្ចិត 300 មីលីម៉ែត្រទាំងមូល។ ភាពរាបស្មើត្រូវបានរក្សាក្នុងរង្វង់ 5 μm ដែលអាចឱ្យការជួសជុលបន្ទះវ៉ាហ្វើរមិនរួញអំឡុងពេលកាត់ ការកិនផ្នែកខាងក្រោយ និងការត្រួតពិនិត្យ។ កម្លាំងបត់បែនខ្ពស់ (361 MPa) និងភាពរឹង (16 GPa) របស់វត្ថុធាតុធានានូវស្ថេរភាពវិមាត្ររយៈពេលវែង សូម្បីតែស្ថិតនៅក្រោមវដ្តបូមខ្យល់ម្តងហើយម្តងទៀតក៏ដោយ។
-
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមជាមួយឆានែលបូមធូលីរួមបញ្ចូលគ្នា
ឧបករណ៍បញ្ចប់បូមធូលីអាលុយមីញ៉ូមរបស់ St.Cera បញ្ចូលបណ្តាញបូមធូលីដែលផលិតដោយម៉ាស៊ីនយ៉ាងជាក់លាក់ និងរន្ធបឺតដោយផ្ទាល់ទៅក្នុងតួអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8%។ ការរចនានេះលុបបំបាត់បន្ទះបូមធូលីខាងក្រៅ ដែលអាចឱ្យមានការទាញបន្ទះវ៉ាហ្វឺរដោយផ្ទាល់ជាមួយកម្លាំងកាន់ឯកសណ្ឋាន។ កម្លាំងពត់កោងខ្ពស់ (361 MPa) និងភាពរឹង (16 GPa) របស់វត្ថុធាតុដើមធានាបាននូវស្ថេរភាពវិមាត្ររយៈពេលវែងក្រោមវដ្តបូមធូលីម្តងហើយម្តងទៀត។ ភាពរាបស្មើទូទាំងតំបន់បន្ទះត្រូវបានរក្សាក្នុងរង្វង់ 10 μm ដែលការពារភាពតានតឹងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ និងការបាក់។ រន្ធបូមធូលីត្រូវបានដាក់នៅគែមម៉ោនខាងក្រោយសម្រាប់ការរួមបញ្ចូលងាយស្រួលជាមួយដៃមនុស្សយន្ត OEM។
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាលុយមីណាដែលមានសុវត្ថិភាព ESD សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងបន្ទះស្តើងដែលងាយនឹងប្រតិកម្មនឹងឋិតិវន្ត
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាលុយមីញ៉ូមដែលមានសុវត្ថិភាព ESD (អេឡិចត្រូស្តាទិច) របស់ St.Cera ត្រូវបានផលិតឡើងពី Al₂O₃ ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8% ជាមួយនឹងភាពធន់នៃផ្ទៃដែលត្រូវបានរៀបចំតាមតម្រូវការនៃ 10⁶–10⁹ Ω/sq ដែលសម្រេចបានតាមរយៈដំណើរការដូប ឬថ្នាំកូតដែលមានកម្មសិទ្ធិ។ គ្រឿងបន្លាស់ទាំងនេះបញ្ចេញបន្ទុកឋិតិវន្តប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ដោយការពារការខូចខាតអេឡិចត្រូស្តាទិចចំពោះបន្ទះសៀគ្វី និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចដែលងាយប្រតិកម្ម។ សម្ភារៈមូលដ្ឋានរក្សាបាននូវកម្លាំងពត់ខ្ពស់ (361 MPa) ភាពរឹង (16 GPa) និងកម្លាំងឌីអេឡិចត្រិច (15×10⁶ V/m)។ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចដែលមានសុវត្ថិភាព ESD រួមមានឧបករណ៍បញ្ចប់ ម្ជុលលើក ផ្លូវដែកណែនាំ និងគ្រឿងបរិក្ខារផ្ទាល់ខ្លួនសម្រាប់ស្វ័យប្រវត្តិកម្ម FAB។
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចសម្រាប់ឧបករណ៍ស៊ើបអង្កេតស៊ីមីកុងដុកទ័រ
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ឧបករណ៍ផ្ទុកឧបករណ៍សេរ៉ាមិចបន្ទះសេរ៉ាមិច
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
បង្កើតឡើងដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច និងស៊ីនធឺរក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ បន្ទាប់មកត្រូវបានម៉ាស៊ីន និងប៉ូលាយ៉ាងច្បាស់លាស់ គ្រឿងបន្លាស់សេរ៉ាមិចអាចបំពេញតាមតម្រូវការតឹងរ៉ឹងណាមួយនៃឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាមួយនឹងលក្ខណៈពិសេសរបស់វានៃភាពធន់នឹងការពាក់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ការពង្រីកកម្ដៅទាប និងអ៊ីសូឡង់។ សេរ៉ាមិចអាចដំណើរការក្នុងឧបករណ៍ផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រច្រើនប្រភេទជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ខ្យល់ក្នុងកន្លែងទំនេរ ឬឧស្ម័នច្រេះក្នុងរយៈពេលយូរ។
ផលិតពីម្សៅអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដំណើរការដោយការចុចត្រជាក់អ៊ីសូស្តាទិច ការដុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងការបញ្ចប់ដោយភាពជាក់លាក់ វាអាចឈានដល់ការអត់ធ្មត់វិមាត្រដល់ ±0.001 ម.ម ផ្ទៃបញ្ចប់ Ra 0.1 ធន់នឹងសីតុណ្ហភាព 1600 ℃។
-
ចិញ្ចៀនផ្សាភ្ជាប់សេរ៉ាមិចអាលុយមីណាភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ការផ្សាភ្ជាប់បន្ទប់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់
ចិញ្ចៀនបិទជិតសេរ៉ាមិចរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងជាជម្រើសជំនួសចិញ្ចៀន O-ring ប៉ូលីមែរនៅក្នុងបរិយាកាសខ្លាំងដែលអេឡាស្តូមឺររលួយ។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) 99.8% ចិញ្ចៀនបិទជិតរឹងនេះត្រូវបានប្រើក្នុងកម្មវិធីបិទជិតឋិតិវន្ត - ជាធម្មតាត្រូវបានផ្គូផ្គងជាមួយលោហៈទន់ ឬប្រដាប់បិទជិតក្រាហ្វីត - ដើម្បីផ្តល់នូវការទប់ទល់ឧស្ម័នដែលអាចទុកចិត្តបាននៅសីតុណ្ហភាពរហូតដល់ 800°C និងនៅក្នុងប្លាស្មា ឬបរិយាកាសគីមីដ៏ខ្លាំងក្លា។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវការចេញឧស្ម័នសូន្យ កម្លាំងបង្ហាប់ខ្ពស់ (កម្លាំងពត់កោងមូលដ្ឋាន 361 MPa) និងភាពអសកម្មគីមី (ធន់នឹងហាឡូហ្សែន អាស៊ីត និងអាល់កាឡាំងលើកលែងតែ HF)។ ផ្ទៃបិទជិតដែលមានភាពជាក់លាក់ (ភាពរាបស្មើ ≤5 μm ភាពរដុបនៃផ្ទៃ Ra ≤0.2 μm) ធានានូវទំនាក់ទំនងមិនលេចធ្លាយជាមួយសមាសធាតុលោហៈ ឬសេរ៉ាមិចដែលផ្គូផ្គង។
-
ចិញ្ចៀនផ្តោតអាលុយមីណាដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់ប្រព័ន្ធឆ្លាក់ប្លាស្មា និងប្រព័ន្ធ CVD
ចិញ្ចៀនផ្តោតអង្គជំនុំជម្រះរបស់ St.Cera គឺជាសមាសធាតុឧបករណ៍ដំណើរការដ៏សំខាន់មួយដែលប្រើក្នុងឧបករណ៍ឆ្លាក់ប្លាស្មា CVD និង PVD។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូមដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8% (Al₂O₃) ចិញ្ចៀននេះព័ទ្ធជុំវិញគែមបន្ទះសៀគ្វីដើម្បីកំណត់ប្លាស្មា និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការចែកចាយមុំអ៊ីយ៉ុង ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋានឆ្លាក់នៅទូទាំងផ្ទៃបន្ទះសៀគ្វី។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវភាពធន់នឹងប្លាស្មាដ៏ល្អឥតខ្ចោះ កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ (15×10⁶ V/m) និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 1600°C ដែលធានាបាននូវភាពជឿជាក់រយៈពេលវែងនៅក្នុងបរិស្ថានប្លាស្មាដែលមានមូលដ្ឋានលើហ្វ្លុយអូរីន ឬក្លរីន។ ID/OD និងភាពរាបស្មើនៃដីដែលមានភាពជាក់លាក់ (≤10 μm) អនុញ្ញាតឱ្យមានការកំណត់ទីតាំងគែមបន្ទះសៀគ្វីបានត្រឹមត្រូវ កាត់បន្ថយពិការភាពគែម និងការបង្កើតភាគល្អិត។
-
ចិញ្ចៀនសេរ៉ាមិចអាលុយមីណាភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់សម្រាប់បន្ទប់ដំណើរការ CVD / PVD
ចិញ្ចៀនសេរ៉ាមិចរបស់ St.Cera ត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ប្រើប្រាស់នៅក្នុងបន្ទប់ដំណើរការ CVD (Chemical Vapor Deposition) និង PVD (Physical Vapor Deposition)។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ 99.8% ចិញ្ចៀននេះបម្រើជាស្រទាប់ខាងក្នុងបន្ទប់ ចិញ្ចៀនផ្តោតអារម្មណ៍ ឬសមាសធាតុឧបករណ៍ដំណើរការ ដើម្បីកំណត់ប្លាស្មា និងការពារជញ្ជាំងបន្ទប់ពីសំណឹក។ សម្ភារៈនេះផ្តល់នូវភាពធន់នឹងប្លាស្មាដ៏ល្អឥតខ្ចោះ កម្លាំងឌីអេឡិចត្រិចខ្ពស់ (15×10⁶ V/m) និងស្ថេរភាពកម្ដៅរហូតដល់ 1600°C ដែលធានាបាននូវអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរនៅក្នុងបរិស្ថានប្លាស្មាដែលមានមូលដ្ឋានលើហ្វ្លុយអូរីនដ៏ខ្លាំងក្លា។ ការអត់ធ្មត់វិមាត្រច្បាស់លាស់ (±0.05 ម.ម លើ ID/OD) និងភាពរាបស្មើ (≤10 μm) អនុញ្ញាតឱ្យមានទីតាំងគែមបន្ទះដែលមានភាពស៊ីសង្វាក់គ្នា ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវឯកសណ្ឋាននៃការដាក់ និងកាត់បន្ថយការបង្កើតភាគល្អិត។
-
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច Bernoulli — ការគ្រប់គ្រងបន្ទះស្តើង និងផុយស្រួយដោយមិនប៉ះ
ឧបករណ៍បញ្ចប់សេរ៉ាមិច Bernoulli របស់ St.Cera ប្រើប្រាស់ការលើកឌីណាមិកខ្យល់ដើម្បីគ្រប់គ្រងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរដោយមិនចាំបាច់ប៉ះពាល់រាងកាយ។ ផលិតពីអាលុយមីញ៉ូម (Al₂O₃) 99.8% ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ ឬស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC) វាមានក្បាលបាញ់ដែលផលិតដោយម៉ាស៊ីនយ៉ាងជាក់លាក់ដែលបញ្ចេញឧស្ម័នដែលមានសម្ពាធដើម្បីបង្កើតជាស្រទាប់ខ្យល់ស្តើងមួយរវាងឧបករណ៍បញ្ចប់ និងបន្ទះវ៉ាហ្វឺរ។ គោលការណ៍មិនប៉ះគ្នានេះលុបបំបាត់ការចម្លងរោគផ្នែកខាងក្រោយ ការប្រេះគែម និងការខូចខាតផ្ទៃ ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់បន្ទះវ៉ាហ្វឺរស្តើង (≤100 μm) ផុយស្រួយ ឬរួញ។ ស្រទាប់សេរ៉ាមិចផ្តល់នូវកម្លាំងបត់បែនខ្ពស់ (361 MPa សម្រាប់ Al₂O₃; រហូតដល់ 550–600 MPa សម្រាប់ SiC) ម៉ាស់ទាប និងស្ថេរភាពវិមាត្រដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលធានាបាននូវទីតាំងដែលអាចធ្វើឡើងវិញបានក្នុងមនុស្សយន្តផ្ទេរបន្ទះវ៉ាហ្វឺរល្បឿនលឿន។
