-
Специализированная обработка зажимного устройства для керамических пластин из Al2O3.
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
ST.CERA Специализированное полупроводниковое оборудование, керамические пластины
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
12-дюймовый вакуумный зажим из оксида алюминия для обработки 300-мм пластин
12-дюймовый вакуумный зажим St.Cera изготовлен с высокой точностью из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) с чистотой 99,8% и предназначен для работы с 300-мм пластинами. Зажим имеет мелкоканавочную поверхность (ширина канавок 0,5–1,0 мм, шаг 2–3 мм) для обеспечения равномерного распределения вакуума по всему диаметру 300 мм. Плоскостность сохраняется в пределах 5 мкм, что позволяет фиксировать пластины без деформации во время нарезки, шлифовки обратной стороны и контроля качества. Высокая прочность на изгиб (361 МПа) и твердость (16 ГПа) материала гарантируют долговременную стабильность размеров даже при многократных циклах вакуумирования.
-
Алюмокерамический концевой захват со встроенными вакуумными каналами
Вакуумный концевой захват из оксида алюминия от St.Cera интегрирует прецизионно обработанные вакуумные каналы и всасывающие отверстия непосредственно в корпус из высокочистого оксида алюминия (99,8%). Такая конструкция исключает использование внешних вакуумных подушек, обеспечивая прямой захват пластин с равномерным усилием удержания. Высокая прочность на изгиб (361 МПа) и твердость (16 ГПа) материала обеспечивают долговременную стабильность размеров при многократных циклах вакуумирования. Плоскостность по всей площади подушки поддерживается в пределах 10 мкм, предотвращая деформацию и поломку пластин. Вакуумные порты расположены на заднем монтажном фланге для легкой интеграции с роботизированными манипуляторами OEM-производителей.
-
Алюмокерамические компоненты, защищенные от электростатического разряда, для работы с чувствительными к статическому электричеству кремниевыми пластинами.
Керамические детали из оксида алюминия, безопасные для защиты от электростатического разряда (ESD), производства St.Cera изготавливаются из высокочистого Al₂O₃ (99,8%) с заданным удельным сопротивлением поверхности 10⁶–10⁹ Ом/кв, достигаемым с помощью запатентованного процесса легирования или нанесения покрытия. Эти детали эффективно рассеивают статический заряд, предотвращая электростатическое повреждение чувствительных полупроводниковых пластин и устройств. Основной материал сохраняет свою высокую прочность на изгиб (361 МПа), твердость (16 ГПа) и диэлектрическую прочность (15×10⁶ В/м). К безопасным для ESD керамическим деталям относятся концевые захваты, подъемные штифты, направляющие и специальные приспособления для автоматизации FAB.
-
Керамические запасные части для полупроводникового зондового оборудования
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
Керамические пластинчатые полупроводниковые компоненты
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
Керамические запасные части для полупроводникового оборудования
Керамические запасные части, изготовленные методом холодного изостатического прессования и спеченные при высокой температуре, а затем подвергнутые прецизионной механической обработке и полировке, благодаря своим характеристикам износостойкости, коррозионной стойкости, низкого теплового расширения и изоляционных свойств, могут соответствовать любым строгим требованиям полупроводникового оборудования. Керамика может длительное время работать во многих видах полупроводникового оборудования в условиях высоких температур, вакуума или агрессивных газов.
Изготовленный из высокочистого порошка оксида алюминия, обработанного методом холодного изостатического прессования, высокотемпературного спекания и прецизионной обработки, он может достигать допуска по размерам ±0,001 мм, чистоты поверхности Ra 0,1 и термостойкости 1600℃.
-
Уплотнительное кольцо из высокочистой оксида алюминия для герметизации высокотемпературных камер.
Керамическое уплотнительное кольцо St.Cera разработано как альтернатива полимерным уплотнительным кольцам в экстремальных условиях, где эластомеры деградируют. Изготовленное из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) чистотой 99,8%, это жесткое уплотнительное кольцо используется в статических герметизирующих системах — обычно в паре с мягкой металлической или графитовой прокладкой — для обеспечения надежного вакуума или удержания газа при температурах до 800°C и в агрессивных плазменных или химических средах. Материал отличается нулевым выделением газов, высокой прочностью на сжатие (предел прочности на изгиб 361 МПа) и химической инертностью (устойчив к галогенам, кислотам и щелочам, за исключением HF). Прецизионно притертые уплотнительные поверхности (плоскостность ≤5 мкм, шероховатость поверхности Ra ≤0,2 мкм) обеспечивают герметичный контакт с сопрягаемыми металлическими или керамическими компонентами.
-
Фокусирующее кольцо из высокочистого оксида алюминия для плазменного травления и систем химического осаждения из газовой фазы.
Фокусирующее кольцо камеры St.Cera — это важнейший компонент технологического комплекта, используемый в оборудовании для плазменного травления, CVD и PVD полупроводников. Изготовленное из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) с чистотой 99,8%, кольцо окружает край пластины, ограничивая плазму и оптимизируя угловое распределение ионов, тем самым улучшая равномерность травления по всей поверхности пластины. Материал обладает исключительной устойчивостью к плазме, высокой диэлектрической прочностью (15×10⁶ В/м) и термической стабильностью до 1600 °C, обеспечивая долговременную надежность в агрессивных плазменных средах на основе фтора или хлора. Точная шлифовка внутреннего и внешнего диаметров и плоскостности (≤10 мкм) обеспечивает точное позиционирование края пластины, уменьшая дефекты кромок и образование частиц.
-
Керамическое кольцо из высокочистого оксида алюминия для камер процесса CVD/PVD.
Керамическое кольцо St.Cera специально разработано для использования в камерах процессов CVD (химическое осаждение из паровой фазы) и PVD (физическое осаждение из паровой фазы). Изготовленное из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) чистотой 99,8%, это кольцо служит в качестве облицовки камеры, фокусирующего кольца или компонента технологического комплекта для удержания плазмы и защиты стенок камеры от эрозии. Материал обладает превосходной плазмостойкостью, высокой диэлектрической прочностью (15×10⁶ В/м) и термической стабильностью до 1600°C, что обеспечивает длительный срок службы в агрессивных средах фторсодержащих плазменных растворов. Точные допуски по размерам (±0,05 мм по внутреннему/внешнему диаметру) и плоскостности (≤10 мкм) обеспечивают стабильное позиционирование краев пластины, улучшая равномерность осаждения и уменьшая образование частиц.
-
Керамический концевой захват Бернулли — бесконтактная обработка тонких и хрупких пластин.
Керамический концевой захват Бернулли от St.Cera использует аэродинамическую подъемную силу для бесконтактной обработки пластин. Изготовленный из высокочистого 99,8% оксида алюминия (Al₂O₃) или карбида кремния (SiC), он оснащен прецизионно обработанными соплами, которые подают сжатый газ, создавая тонкую воздушную пленку между концевым захватом и пластиной. Этот бесконтактный принцип исключает загрязнение обратной стороны, сколы по краям и повреждение поверхности, что делает его идеальным для тонких (≤100 мкм), хрупких или деформированных пластин. Керамическая подложка обеспечивает высокую прочность на изгиб (361 МПа для Al₂O₃; до 550–600 МПа для SiC), малую массу и превосходную стабильность размеров, гарантируя повторяемое позиционирование в высокоскоростных роботах для переноса пластин.
