-
Al2O3 керамик пластиналы патронны шәхси эшкәртү
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
ST.CERA ярымүткәргеч җиһазлары өчен махсус эшләнгән керамик пластина
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
300 мм пластина эшкәртү өчен 12 дюймлы алюминий оксиды вакуум патрон
St.Cera компаниясенең 12 дюймлы вакуум патроннары 300 мм пластиналар белән эшләү өчен 99,8% югары сафлыклы алюминий оксидыннан (Al₂O₃) төгәл эшләнгән. Патронның вак уемлы өслеге бар (уем киңлеге 0,5–1,0 мм, адым 2–3 мм), бу 300 мм диаметр буенча вакуумның тигез таралуын тәэмин итә. Тигезлек 5 мкм эчендә саклана, бу ваклау, арткы яктан тарту һәм тикшерү вакытында пластинаны кәкрелексез ныгытырга мөмкинлек бирә. Материалның югары бөгелә торган ныклыгы (361 МПа) һәм катылыгы (16 ГПа) кабатланган вакуум цикллары вакытында да озак вакытлы үлчәмле тотрыклылыкны гарантияли.
-
Интегральләштерелгән вакуум каналлары белән алюминий оксиды керамик оч эффекторы
St.Cera компаниясенең алюминий оксиды вакуум эффекторы төгәл эшкәртелгән вакуум каналларын һәм суыру тишекләрен турыдан-туры 99,8% югары сафлыклы алюминий оксиды корпусына берләштерә. Бу конструкция тышкы вакуум колодкаларын бетерә, пластинаны турыдан-туры тоту көче белән алырга мөмкинлек бирә. Материалның югары бөгелгән ныклыгы (361 МПа) һәм катылыгы (16 ГПа) кабатланган вакуум цикллары вакытында озак вакытлы үлчәмле тотрыклылыкны тәэмин итә. Колодка мәйданы буенча яссылык 10 мкм эчендә саклана, пластинага басым һәм ватылудан саклый. OEM робот куллары белән җиңел интеграцияләү өчен вакуум портлары арткы урнаштыру фланецында урнашкан.
-
Статик сизгер пластиналар белән эш итү өчен ESD-куркынычсыз алюминий оксиды керамик детальләре
St.Cera компаниясенең ESD (электростатик разряд) өчен куркынычсыз алюминий оксиды керамик детальләре 99,8% югары сафлыклы Al₂O₃ дан җитештерелә, өслек каршылыгы 10⁶–10⁹ Ω/кв.м. тәшкил итә, бу патентланган легирлау яки каплау процессы аша ирешелә. Бу детальләр статик корылманы нәтиҗәле рәвештә тарата, сизгер ярымүткәргеч пластиналарга һәм җайланмаларга электростатик зыян китерүне булдырмый. Төп материал үзенең югары бөгелү ныклыгын (361 МПа), катылыгын (16 ГПа) һәм диэлектрик ныклыгын (15 × 10⁶ В/м) саклый. ESD өчен куркынычсыз керамик детальләргә оч эффекторлары, күтәргеч штифтлар, юнәлеш бирүче рельслар һәм FAB автоматизациясе өчен махсус җайланмалар керә.
-
Ярымүткәргеч зонд җиһазлары өчен керамик запас частьләр
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
Керамик пластина ярымүткәргеч җиһазлар ташучы
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
Ярымүткәргеч җиһазлар Керамик запас частьләр
Салкын изостатик пресслау һәм югары температурада блендерлау юлы белән формалаштырылган, аннары төгәл эшкәртелгән һәм ялтыратылган керамик запас частьләр тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, түбән җылылык киңәюе һәм изоляция кебек үзенчәлекләре белән ярымүткәргеч җиһазларның теләсә нинди катгый таләпләренә туры килә ала. Керамика төрле ярымүткәргеч җитештерү җиһазларында югары температура, вакуум яки коррозияле газ шартларында озак вакыт эшли ала.
Югары сафлыктагы алюминий оксиды порошогыннан ясалган, салкын изостатик пресслау, югары температурада блендерлау һәм төгәл эшкәртү ысуллары белән эшкәртелгән, ул ±0,001 мм га кадәр үлчәмгә чыдамлылыкка, Ra 0,1 өслек катламына һәм 1600℃ температурага чыдамлыкка ирешә ала.
-
Югары температуралы камераны герметизацияләү өчен югары сыйфатлы алюминий оксиды керамик герметизация боҗрасы
St.Cera керамик герметик боҗрасы эластомерлар таркала торган экстремаль мохитләрдә полимер О-боҗраларына альтернатива буларак эшләнгән. 99,8% югары сафлыклы алюминий оксидыннан (Al₂O₃) җитештерелгән бу каты герметик боҗра статик герметик кушымталарда кулланыла - гадәттә йомшак металл яки графит прокладкасы белән парлашып - 800°C кадәр температурада һәм агрессив плазма яки химик мохиттә ышанычлы вакуум яки газ тотуны тәэмин итү өчен. Материал нуль газ чыгару, югары кысу ныклыгы (төп бөгелү ныклыгы 361 МПа) һәм химик инертлык (HFтан кала галогеннарга, кислоталарга һәм селтеләргә чыдам) тәкъдим итә. Төгәл капланган герметик өслекләр (тислелеге ≤5 мкм, өслекнең тупаслыгы Ra ≤0,2 мкм) кушылучы металл яки керамик компонентлар белән агып чыгудан саклануны тәэмин итә.
-
Плазма эшкәртү һәм йөрәк-кан тамырлары системалары өчен югары сыйфатлы алюминий оксиды камерасының фокус боҗрасы
St.Cera камерасының фокус боҗрасы - плазма эшкәртү, CVD һәм PVD ярымүткәргеч җиһазларында кулланыла торган мөһим процесс комплекты компоненты. 99,8% югары сафлыклы алюминий оксидыннан (Al₂O₃) җитештерелгән боҗра пластина кырыен әйләндереп алып, плазманы чикли һәм ион почмак таралышын оптимальләштерә, шуның белән пластина өслеге буенча эшкәртү тигезлеген яхшырта. Материал гаҗәеп плазмага каршы торучанлык, югары диэлектрик ныклык (15 × 10⁶ V/m) һәм 1600°C кадәр термик тотрыклылык бирә, агрессив фтор яки хлор нигезендәге плазма мохитендә озак вакытлы ышанычлылыкны тәэмин итә. Төгәл җирләү ID/OD һәм яссылык (≤10 мкм) пластина кырыен төгәл урнаштыру мөмкинлеген бирә, кырый кимчелекләрен һәм кисәкчәләр барлыкка килүен киметә.
-
CVD / PVD процесс камералары өчен югары сафлыклы алюминий оксиды керамик боҗрасы
St.Cera керамик боҗрасы CVD (Химик пар утырту) һәм PVD (Физик пар утырту) процесс камераларында куллану өчен махсус эшләнгән. 99,8% югары сафлыклы алюминий оксидыннан (Al₂O₃) җитештерелгән бу боҗра плазманы чикләү һәм камера стеналарын эрозиядән саклау өчен камера астары, фокус боҗрасы яки процесс комплекты компоненты булып хезмәт итә. Материал плазмага бик яхшы каршылык, югары диэлектрик ныклык (15 × 10⁶ V/m) һәм 1600°C кадәр термик тотрыклылык бирә, агрессив фтор нигезендәге плазма мохитендә озак хезмәт итү вакытын тәэмин итә. Төгәл үлчәмле түземлелек (ID/OD буенча ±0,05 мм) һәм яссылык (≤10 мкм) пластина кырыеның тотрыклы урнашуын тәэмин итә, утырма бердәмлеген яхшырта һәм кисәкчәләр барлыкка килүен киметә.
-
Бернулли керамик оч эффекторы — нечкә һәм ватык пластиналар өчен контактсыз пластина эшкәртү
St.Cera'ның Бернулли керамик оч эффекторы пластиналарны физик контактсыз эшкәртү өчен аэродинамикалык күтәрү куллана. Югары сафлыклы 99,8% алюминий оксидыннан (Al₂O₃) яки кремний карбидыннан (SiC) эшләнгән ул төгәл эшкәртелгән насадкалар белән җиһазландырылган, алар басымлы газ чыгара, нәтиҗәдә оч эффекторы һәм пластина арасында юка һава пленкасы барлыкка килә. Бу контактсыз принцип арткы яктан пычрануны, кырыйларның ватылуын һәм өслекнең зыян күрүен бетерә, бу аны юка (≤100 мкм), сынучан яки кәкре пластиналар өчен идеаль итә. Керамик субстрат югары бөгелә торган ныклык (Al₂O₃ өчен 361 МПа; SiC өчен 550–600 МПа га кадәр), түбән масса һәм бик яхшы үлчәмле тотрыклылык бирә, югары тизлекле пластина күчерү роботларында кабатланырлык урнаштыруны тәэмин итә.
