-
Al2O3 Seramik Yonga Tutucunun Özelleştirilmiş İşlenmesi
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
ST.CERA Özel Tasarım Yarı İletken Ekipman Seramik Plakası
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
300 mm'lik wafer işleme için 12 inçlik Alümina Vakumlu Tutucu
St.Cera'nın 12 inçlik vakum tutucusu, 300 mm'lik wafer'ların işlenmesi için %99,8 yüksek saflıkta alüminadan (Al₂O₃) hassas bir şekilde üretilmiştir. Tutucu, tüm 300 mm çap boyunca düzgün vakum dağılımı sağlamak için ince oluklu bir yüzeye (oluk genişliği 0,5–1,0 mm, aralık 2–3 mm) sahiptir. Düzlük 5 μm içinde korunarak, kesme, arka yüzey taşlama ve inceleme sırasında wafer'ların bükülmeden sabitlenmesini sağlar. Malzemenin yüksek eğilme dayanımı (361 MPa) ve sertliği (16 GPa), tekrarlanan vakum döngülerinde bile uzun vadeli boyutsal kararlılığı garanti eder.
-
Entegre Vakum Kanallı Alümina Seramik Uç Etkileyici
St.Cera'nın alümina vakum uç efektörü, hassas işlenmiş vakum kanallarını ve emme deliklerini doğrudan %99,8 saflıktaki alümina gövdeye entegre eder. Bu tasarım, harici vakum pedlerini ortadan kaldırarak, düzgün tutma kuvvetiyle doğrudan wafer alımını mümkün kılar. Malzemenin yüksek eğilme dayanımı (361 MPa) ve sertliği (16 GPa), tekrarlanan vakum döngüleri altında uzun vadeli boyutsal kararlılık sağlar. Ped alanı boyunca düzlük 10 μm içinde korunarak wafer gerilimi ve kırılması önlenir. Vakum portları, OEM robot kollarıyla kolay entegrasyon için arka montaj flanşında bulunur.
-
Statik elektriğe duyarlı silikon levhaların işlenmesi için ESD güvenli alümina seramik parçalar
St.Cera'nın ESD (elektrostatik deşarj) güvenli alümina seramik parçaları, özel bir katkılama veya kaplama işlemiyle elde edilen, 10⁶–10⁹ Ω/sq'lik özel bir yüzey direncine sahip %99,8 yüksek saflıkta Al₂O₃'ten üretilmiştir. Bu parçalar, statik yükü etkili bir şekilde dağıtarak hassas yarı iletken levhalara ve cihazlara elektrostatik hasarı önler. Temel malzeme, yüksek eğilme mukavemetini (361 MPa), sertliğini (16 GPa) ve dielektrik dayanımını (15×10⁶ V/m) korur. ESD güvenli seramik parçalar arasında uç efektörler, kaldırma pimleri, kılavuz raylar ve FAB otomasyonu için özel fikstürler bulunur.
-
Yarı İletken Prob Ekipmanları için Seramik Yedek Parçalar
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
Seramik Plaka Yarı İletken Ekipman Taşıyıcı
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
Yarı İletken Ekipman Seramik Yedek Parçaları
Soğuk izostatik presleme ile şekillendirilen ve yüksek sıcaklıkta sinterlenen, ardından hassas bir şekilde işlenip parlatılan seramik yedek parçalar, aşınma direnci, korozyon direnci, düşük termal genleşme ve yalıtım özellikleriyle yarı iletken ekipmanlarının her türlü katı gereksinimini karşılayabilir. Seramikler, yüksek sıcaklık, vakum veya aşındırıcı gaz koşullarında uzun süre çalışabilen birçok yarı iletken üretim ekipmanında kullanılabilir.
Yüksek saflıkta alümina tozundan üretilen, soğuk izostatik presleme, yüksek sıcaklıkta sinterleme ve hassas son işlemden geçirilen bu ürün, ±0,001 mm boyut toleransına, Ra 0,1 yüzey kalitesine ve 1600℃ sıcaklık dayanımına ulaşabilir.
-
Yüksek Sıcaklık Odalarının Sızdırmazlığı için Yüksek Saflıkta Alümina Seramik Sızdırmazlık Halkası
St.Cera'nın seramik sızdırmazlık halkası, elastomerlerin bozulduğu aşırı ortamlarda polimer O-ringlere alternatif olarak tasarlanmıştır. %99,8 yüksek saflıkta alüminadan (Al₂O₃) üretilen bu sert sızdırmazlık halkası, statik sızdırmazlık uygulamalarında - genellikle yumuşak metal veya grafit conta ile birlikte - 800°C'ye kadar sıcaklıklarda ve agresif plazma veya kimyasal ortamlarda güvenilir vakum veya gaz muhafazası sağlamak için kullanılır. Malzeme sıfır gaz salınımı, yüksek basınç dayanımı (temel eğilme dayanımı 361 MPa) ve kimyasal inertlik (HF hariç halojenlere, asitlere ve alkalilere karşı dirençli) sunar. Hassas taşlanmış sızdırmazlık yüzeyleri (düzlük ≤5 μm, yüzey pürüzlülüğü Ra ≤0,2 μm), eşleşen metal veya seramik bileşenlerle sızdırmaz temas sağlar.
-
Plazma Aşındırma ve CVD Sistemleri için Yüksek Saflıkta Alümina Odak Halkası
St.Cera'nın oda odaklama halkası, plazma aşındırma, CVD ve PVD yarı iletken ekipmanlarında kullanılan kritik bir proses kiti bileşenidir. %99,8 yüksek saflıkta alüminadan (Al₂O₃) üretilen halka, plazmayı sınırlamak ve iyon açısal dağılımını optimize etmek için gofret kenarını çevreler ve böylece gofret yüzeyinde aşındırma homojenliğini iyileştirir. Malzeme, olağanüstü plazma direnci, yüksek dielektrik dayanımı (15×10⁶ V/m) ve 1600°C'ye kadar termal kararlılık sunarak, agresif flor veya klor bazlı plazma ortamlarında uzun vadeli güvenilirlik sağlar. Hassas taşlanmış iç/dış çap ve düzlük (≤10 μm), gofret kenarının doğru konumlandırılmasını sağlayarak kenar kusurlarını ve parçacık oluşumunu azaltır.
-
CVD / PVD Proses Odaları için Yüksek Saflıkta Alümina Seramik Halka
St.Cera'nın seramik halkası, CVD (Kimyasal Buhar Biriktirme) ve PVD (Fiziksel Buhar Biriktirme) işlem odalarında kullanılmak üzere özel olarak tasarlanmıştır. %99,8 yüksek saflıkta alüminadan (Al₂O₃) üretilen bu halka, plazmayı sınırlamak ve oda duvarlarını aşınmaya karşı korumak için oda astarı, odak halkası veya işlem kiti bileşeni olarak görev yapar. Malzeme, mükemmel plazma direnci, yüksek dielektrik dayanımı (15×10⁶ V/m) ve 1600°C'ye kadar termal kararlılık sunarak, agresif flor bazlı plazma ortamlarında uzun hizmet ömrü sağlar. Hassas boyut toleransları (İç/Dış çapta ±0,05 mm) ve düzlük (≤10 μm), tutarlı gofret kenarı konumlandırmasına olanak tanıyarak, biriktirme homojenliğini artırır ve parçacık oluşumunu azaltır.
-
Bernoulli Seramik Uç Etkileyici — İnce ve Kırılgan Yonga Levhalar için Temassız Yonga Levha İşleme
St.Cera'nın Bernoulli seramik uç elemanı, aerodinamik kaldırma kuvveti kullanarak fiziksel temas olmadan gofretleri işler. %99,8 saflıkta alümina (Al₂O₃) veya silisyum karbürden (SiC) üretilen bu eleman, uç eleman ile gofret arasında ince bir hava filmi oluşturmak için basınçlı gaz püskürten hassas işlenmiş nozullara sahiptir. Bu temassız prensip, arka yüzey kirlenmesini, kenar kırılmasını ve yüzey hasarını ortadan kaldırarak ince (≤100 μm), kırılgan veya bükülmüş gofretler için idealdir. Seramik alt tabaka, yüksek eğilme dayanımı (Al₂O₃ için 361 MPa; SiC için 550–600 MPa'ya kadar), düşük kütle ve mükemmel boyutsal kararlılık sağlayarak yüksek hızlı gofret transfer robotlarında tekrarlanabilir konumlandırmayı garanti eder.
