-
ການປຸງແຕ່ງແບບກຳນົດເອງຂອງ Al2O3 Ceramic Wafer Chuck
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ ແລະ ເຜົາພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ, ຈາກນັ້ນເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຂັດເງົາຢ່າງແມ່ນຍຳ, ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳດ້ວຍຄຸນສົມບັດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ແລະ ການກັນຄວາມຮ້ອນ. ເຊລາມິກສາມາດໃຊ້ງານໄດ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນເປັນເວລາດົນນານ.
ເຮັດຈາກຜົງອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ປຸງແຕ່ງໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ, ການເຜົາດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການສຳເລັດຮູບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ມັນສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງມິຕິໄດ້ເຖິງ ±0.001 ມມ, ຜິວໜ້າ Ra 0.1, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ 1600 ℃.
-
ແຜ່ນເຊລາມິກອຸປະກອນເຊມິຄອນດັກເຕີທີ່ກຳນົດເອງຂອງ ST.CERA
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ ແລະ ເຜົາພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ, ຈາກນັ້ນເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຂັດເງົາຢ່າງແມ່ນຍຳ, ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳດ້ວຍຄຸນສົມບັດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ແລະ ການກັນຄວາມຮ້ອນ. ເຊລາມິກສາມາດໃຊ້ງານໄດ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນເປັນເວລາດົນນານ.
ເຮັດຈາກຜົງອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ປຸງແຕ່ງໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ, ການເຜົາດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການສຳເລັດຮູບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ມັນສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງມິຕິໄດ້ເຖິງ ±0.001 ມມ, ຜິວໜ້າ Ra 0.1, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ 1600 ℃.
-
ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນອາລູມິນາຂະໜາດ 12 ນິ້ວ ສຳລັບການປຸງແຕ່ງແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດ 300 ມມ
ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນຂະໜາດ 12 ນິ້ວຂອງ St.Cera ໄດ້ຮັບວິສະວະກຳທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງຈາກອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.8% (Al₂O₃) ສຳລັບການຈັດການເວເຟີຂະໜາດ 300 ມມ. ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນມີໜ້າຜິວທີ່ມີຮ່ອງລະອຽດ (ຄວາມກວ້າງຂອງຮ່ອງ 0.5–1.0 ມມ, ຄວາມສູງ 2–3 ມມ) ເພື່ອຮັບປະກັນການແຈກຢາຍສູນຍາກາດຢ່າງເປັນເອກະພາບທົ່ວເສັ້ນຜ່າສູນກາງ 300 ມມ. ຄວາມຮາບພຽງຖືກຮັກສາໄວ້ພາຍໃນ 5 μm, ເຮັດໃຫ້ການຕິດແຜ່ນເວເຟີບໍ່ມີການບິດງໍໃນລະຫວ່າງການຫັ່ນ, ການບົດດ້ານຫຼັງ, ແລະ ການກວດກາ. ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍສູງ (361 MPa) ແລະຄວາມແຂງ (16 GPa) ຂອງວັດສະດຸຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິໃນໄລຍະຍາວເຖິງແມ່ນວ່າຈະຢູ່ພາຍໃຕ້ວົງຈອນສູນຍາກາດຊ້ຳໆ.
-
ຕົວສົ່ງຜົນສຸດທ້າຍເຊລາມິກອາລູມິນາພ້ອມດ້ວຍຊ່ອງສູນຍາກາດປະສົມປະສານ
ເຄື່ອງສົ່ງຜົນສູນຍາກາດອະລູມິນາຂອງ St.Cera ປະສົມປະສານຊ່ອງທາງສູນຍາກາດ ແລະ ຮູດູດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເຂົ້າກັບຕົວອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.8%. ການອອກແບບນີ້ລົບລ້າງແຜ່ນສູນຍາກາດພາຍນອກ, ເຮັດໃຫ້ສາມາດເກັບແຜ່ນເວເຟີໄດ້ໂດຍກົງດ້ວຍແຮງຍຶດທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ. ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍສູງ (361 MPa) ແລະ ຄວາມແຂງ (16 GPa) ຂອງວັດສະດຸຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງທາງມິຕິໃນໄລຍະຍາວພາຍໃຕ້ວົງຈອນສູນຍາກາດຊ້ຳໆ. ຄວາມຮາບພຽງທົ່ວພື້ນທີ່ແຜ່ນຖືກຮັກສາໄວ້ພາຍໃນ 10 μm, ປ້ອງກັນຄວາມກົດດັນ ແລະ ການແຕກຫັກຂອງແຜ່ນເວເຟີ. ຮູສູນຍາກາດຕັ້ງຢູ່ທີ່ຂອບຕິດຕັ້ງດ້ານຫຼັງເພື່ອງ່າຍຕໍ່ການເຊື່ອມໂຍງກັບແຂນຫຸ່ນຍົນ OEM.
-
ຊິ້ນສ່ວນເຊລາມິກອາລູມິນາທີ່ປອດໄພຕໍ່ ESD ສຳລັບການຈັດການແຜ່ນເວເຟີທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ໄຟຟ້າສະຖິດ
ຊິ້ນສ່ວນເຊລາມິກອະລູມິນາທີ່ປອດໄພຕໍ່ ESD (ການປະລະจุໄຟຟ້າສະຖິດ) ຂອງ St.Cera ແມ່ນຜະລິດຈາກ Al₂O₃ ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.8% ດ້ວຍຄວາມຕ້ານທານຂອງພື້ນຜິວທີ່ປັບແຕ່ງໄດ້ 10⁶–10⁹ Ω/sq, ເຊິ່ງບັນລຸໄດ້ຜ່ານຂະບວນການເສີມຫຼືເຄືອບທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງ. ຊິ້ນສ່ວນເຫຼົ່ານີ້ກະຈາຍປະຈຸໄຟຟ້າສະຖິດໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍຈາກໄຟຟ້າສະຖິດຕໍ່ແຜ່ນເວເຟີແລະອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວ. ວັດສະດຸພື້ນຖານຍັງຄົງຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍສູງ (361 MPa), ຄວາມແຂງ (16 GPa), ແລະຄວາມແຂງແຮງຂອງໄດອີເລັກຕຣິກ (15×10⁶ V/m). ຊິ້ນສ່ວນເຊລາມິກທີ່ປອດໄພຕໍ່ ESD ປະກອບມີຕົວຕີ, ໝຸດຍົກ, ຮາງນຳທາງ, ແລະອຸປະກອນຕິດຕັ້ງທີ່ກຳນົດເອງສຳລັບລະບົບອັດຕະໂນມັດ FAB.
-
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກສຳລັບອຸປະກອນກວດສອບເຄິ່ງຕົວນຳ
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ ແລະ ເຜົາພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ, ຈາກນັ້ນເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຂັດເງົາຢ່າງແມ່ນຍຳ, ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳດ້ວຍຄຸນສົມບັດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ແລະ ການກັນຄວາມຮ້ອນ. ເຊລາມິກສາມາດໃຊ້ງານໄດ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນເປັນເວລາດົນນານ.
ເຮັດຈາກຜົງອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ປຸງແຕ່ງໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ, ການເຜົາດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການສຳເລັດຮູບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ມັນສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງມິຕິໄດ້ເຖິງ ±0.001 ມມ, ຜິວໜ້າ Ra 0.1, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ 1600 ℃.
-
ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການອຸປະກອນເຊລາມິກແຜ່ນເຊລາມິກ
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ ແລະ ເຜົາພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ, ຈາກນັ້ນເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຂັດເງົາຢ່າງແມ່ນຍຳ, ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳດ້ວຍຄຸນສົມບັດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ແລະ ການກັນຄວາມຮ້ອນ. ເຊລາມິກສາມາດໃຊ້ງານໄດ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນເປັນເວລາດົນນານ.
ເຮັດຈາກຜົງອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ປຸງແຕ່ງໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ, ການເຜົາດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການສຳເລັດຮູບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ມັນສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງມິຕິໄດ້ເຖິງ ±0.001 ມມ, ຜິວໜ້າ Ra 0.1, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ 1600 ℃.
-
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ
ຊິ້ນສ່ວນອາໄຫຼ່ເຊລາມິກທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ ແລະ ເຜົາພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ, ຈາກນັ້ນເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຂັດເງົາຢ່າງແມ່ນຍຳ, ສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດຂອງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳດ້ວຍຄຸນສົມບັດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນຕ່ຳ, ແລະ ການກັນຄວາມຮ້ອນ. ເຊລາມິກສາມາດໃຊ້ງານໄດ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳຫຼາຍຊະນິດທີ່ມີສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນເປັນເວລາດົນນານ.
ເຮັດຈາກຜົງອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ປຸງແຕ່ງໂດຍການກົດໄອໂຊສະຖິດເຢັນ, ການເຜົາດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການສຳເລັດຮູບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ, ມັນສາມາດບັນລຸຄວາມທົນທານຂອງມິຕິໄດ້ເຖິງ ±0.001 ມມ, ຜິວໜ້າ Ra 0.1, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ 1600 ℃.
-
ແຫວນປະທັບຕາເຊລາມິກອາລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສຳລັບການປະທັບຕາຫ້ອງອຸນຫະພູມສູງ
ວົງແຫວນປະທັບຕາເຊລາມິກຂອງ St.Cera ຖືກອອກແບບມາເປັນທາງເລືອກແທນວົງແຫວນ O-ring ໂພລີເມີໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງບ່ອນທີ່ອີລາສໂຕເມີເສື່ອມສະພາບ. ຜະລິດຈາກອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.8% (Al₂O₃), ວົງແຫວນປະທັບຕາແຂງນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ໃນການປະທັບຕາສະຖິດ - ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວຈະຈັບຄູ່ກັບໂລຫະອ່ອນ ຫຼື ປະเก็นແກຣໄຟ - ເພື່ອໃຫ້ການຄວບຄຸມສູນຍາກາດ ຫຼື ອາຍແກັສທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 800°C ແລະ ໃນສະພາບແວດລ້ອມ plasma ຫຼື ສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ. ວັດສະດຸດັ່ງກ່າວບໍ່ມີການລະບາຍອາຍແກັສອອກ, ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບີບອັດສູງ (ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດເບືອນພື້ນຖານ 361 MPa), ແລະ ຄວາມเฉื่อยชาທາງເຄມີ (ທົນທານຕໍ່ຮາໂລເຈນ, ກົດ, ແລະ ດ່າງຍົກເວັ້ນ HF). ພື້ນຜິວປະທັບຕາທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ (ຄວາມຮາບພຽງ ≤5 μm, ຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ Ra ≤0.2 μm) ຮັບປະກັນການຕິດຕໍ່ທີ່ແໜ້ນໜາກັບໂລຫະ ຫຼື ສ່ວນປະກອບເຊລາມິກທີ່ຈັບຄູ່ກັນ.
-
ວົງແຫວນໂຟກັດຫ້ອງອາລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສຳລັບລະບົບ Plasma Etch ແລະ CVD
ວົງແຫວນໂຟກັສຫ້ອງຂອງ St.Cera ເປັນອົງປະກອບຊຸດຂະບວນການທີ່ສຳຄັນທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ plasma etch, CVD, ແລະ PVD. ຜະລິດຈາກອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.8% (Al₂O₃), ວົງແຫວນອ້ອມຮອບຂອບແຜ່ນ wafer ເພື່ອຈຳກັດ plasma ແລະເພີ່ມປະສິດທິພາບການແຈກຢາຍມຸມຂອງໄອອອນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການແກະສະຫຼັກທົ່ວໜ້າຜິວແຜ່ນ wafer. ວັດສະດຸດັ່ງກ່າວມີຄວາມຕ້ານທານ plasma ທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຄວາມແຂງແຮງຂອງໄດອີເລັກຕຣິກສູງ (15×10⁶ V/m), ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນສູງເຖິງ 1600°C, ຮັບປະກັນຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືໃນໄລຍະຍາວໃນສະພາບແວດລ້ອມ plasma ທີ່ມີຟລູອໍຣີນ ຫຼື ຄລໍຣີນທີ່ຮຸນແຮງ. ID/OD ແລະ ຄວາມຮາບພຽງທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ (≤10 μm) ຊ່ວຍໃຫ້ການວາງຕຳແໜ່ງຂອບແຜ່ນ wafer ທີ່ຖືກຕ້ອງ, ຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງຂອບ ແລະ ການສ້າງອະນຸພາກ.
-
ແຫວນເຊລາມິກອາລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສຳລັບຫ້ອງຂະບວນການ CVD / PVD
ວົງແຫວນເຊລາມິກຂອງ St.Cera ຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດສຳລັບການນຳໃຊ້ໃນຫ້ອງຂະບວນການ CVD (ການຕົກตะกอนໄອເຄມີ) ແລະ PVD (ການຕົກตะกอนໄອທາງກາຍະພາບ). ຜະລິດຈາກອະລູມິນາທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ 99.8% (Al₂O₃), ວົງແຫວນນີ້ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນຊັ້ນໃນຫ້ອງ, ວົງແຫວນໂຟກັດ, ຫຼື ສ່ວນປະກອບຂອງຊຸດຂະບວນການເພື່ອຈຳກັດພລາສມາ ແລະ ປົກປ້ອງຝາຫ້ອງຈາກການກັດເຊາະ. ວັດສະດຸດັ່ງກ່າວມີຄວາມຕ້ານທານພລາສມາທີ່ດີເລີດ, ຄວາມແຂງແຮງຂອງໄດອີເລັກຕຣິກສູງ (15×10⁶ V/m), ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນສູງເຖິງ 1600°C, ຮັບປະກັນອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານໃນສະພາບແວດລ້ອມພລາສມາທີ່ມີຟລູອໍຣີນເປັນສ່ວນປະກອບ. ຄວາມທົນທານຂອງມິຕິທີ່ຊັດເຈນ (±0.05 ມມ ໃນ ID/OD) ແລະ ຄວາມຮາບພຽງ (≤10 μm) ຊ່ວຍໃຫ້ການວາງຕຳແໜ່ງຂອບເວເຟີທີ່ສອດຄ່ອງກັນ, ປັບປຸງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການຕົກตะกอน ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງອະນຸພາກ.
-
ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຊລາມິກ Bernoulli — ການຈັດການເວເຟີແບບບໍ່ສຳຜັດສຳລັບເວເຟີບາງ ແລະ ແຕກຫັກງ່າຍ
ເຄື່ອງປັບປາຍເຊລາມິກ Bernoulli ຂອງ St.Cera ໃຊ້ການຍົກແບບແອໂຣໄດນາມິກເພື່ອຈັບແຜ່ນເວເຟີໂດຍບໍ່ມີການສຳຜັດທາງກາຍະພາບ. ຜະລິດຈາກອະລູມິນາ 99.8% (Al₂O₃) ຫຼື ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ມັນມີປາຍສີດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງທີ່ປ່ອຍອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມກົດດັນອອກມາເພື່ອສ້າງຟິມອາກາດບາງໆລະຫວ່າງເຄື່ອງປັບປາຍ ແລະ ແຜ່ນເວເຟີ. ຫຼັກການທີ່ບໍ່ສຳຜັດນີ້ຊ່ວຍກຳຈັດມົນລະພິດດ້ານຫຼັງ, ການບิ่นຂອບ, ແລະ ຄວາມເສຍຫາຍຂອງພື້ນຜິວ, ເຮັດໃຫ້ມັນເໝາະສຳລັບແຜ່ນເວເຟີບາງ (≤100 μm), ແຕກຫັກງ່າຍ, ຫຼື ບິດເບືອນ. ຊັ້ນໃຕ້ເຊລາມິກໃຫ້ຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍສູງ (361 MPa ສຳລັບ Al₂O₃; ສູງເຖິງ 550–600 MPa ສຳລັບ SiC), ມວນສານຕໍ່າ, ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງມິຕິທີ່ດີເລີດ, ຮັບປະກັນການວາງຕຳແໜ່ງທີ່ເຮັດຊ້ຳໄດ້ໃນຫຸ່ນຍົນໂອນແຜ່ນເວເຟີຄວາມໄວສູງ.
