-
Pemrosesan Kustomisasi Chuck Wafer Keramik Al2O3
Dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles dengan presisi, suku cadang keramik dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi. Keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
Pelat Keramik Peralatan Semikonduktor Kustom ST.CERA
Dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles dengan presisi, suku cadang keramik dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi. Keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
Chuck Vakum Alumina 12 Inci untuk Pemrosesan Wafer 300mm
Chuck vakum 12 inci St.Cera dirancang dengan presisi dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8% untuk penanganan wafer 300mm. Chuck ini memiliki permukaan beralur halus (lebar alur 0,5–1,0 mm, jarak antar alur 2–3 mm) untuk memastikan distribusi vakum yang seragam di seluruh diameter 300mm. Kerataan dipertahankan dalam batas 5 μm, memungkinkan fiksasi wafer tanpa distorsi selama pemotongan, penggerindaan sisi belakang, dan inspeksi. Kekuatan lentur (361 MPa) dan kekerasan (16 GPa) material yang tinggi menjamin stabilitas dimensi jangka panjang bahkan di bawah siklus vakum berulang.
-
Ujung Efektor Keramik Alumina dengan Saluran Vakum Terintegrasi
Ujung efektor vakum alumina St.Cera mengintegrasikan saluran vakum dan lubang hisap yang dikerjakan dengan presisi langsung ke dalam badan alumina dengan kemurnian tinggi 99,8%. Desain ini menghilangkan bantalan vakum eksternal, memungkinkan pengambilan wafer langsung dengan gaya penahan yang seragam. Kekuatan lentur (361 MPa) dan kekerasan (16 GPa) material yang tinggi memastikan stabilitas dimensi jangka panjang di bawah siklus vakum berulang. Kerataan di seluruh area bantalan dipertahankan dalam 10 μm, mencegah tekanan dan kerusakan wafer. Port vakum terletak di flensa pemasangan belakang untuk integrasi yang mudah dengan lengan robot OEM.
-
Komponen Keramik Alumina Aman ESD untuk Penanganan Wafer yang Sensitif terhadap Muatan Statis
Komponen keramik alumina St.Cera yang aman terhadap ESD (pelepasan muatan elektrostatik) diproduksi dari Al₂O₃ dengan kemurnian tinggi 99,8% dengan resistivitas permukaan yang disesuaikan sebesar 10⁶–10⁹ Ω/sq, yang dicapai melalui proses doping atau pelapisan eksklusif. Komponen ini secara efektif menghilangkan muatan statis, mencegah kerusakan elektrostatik pada wafer dan perangkat semikonduktor yang sensitif. Material dasar mempertahankan kekuatan lentur yang tinggi (361 MPa), kekerasan (16 GPa), dan kekuatan dielektrik (15×10⁶ V/m). Komponen keramik yang aman terhadap ESD meliputi end effector, lift pin, guide rail, dan perlengkapan khusus untuk otomatisasi FAB.
-
Komponen Keramik untuk Peralatan Probe Semikonduktor
Dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles dengan presisi, suku cadang keramik dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi. Keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
Pembawa Peralatan Semikonduktor Pelat Keramik
Dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles dengan presisi, suku cadang keramik dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi. Keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
Suku Cadang Keramik Peralatan Semikonduktor
Dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles dengan presisi, suku cadang keramik dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi. Keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
Cincin Segel Keramik Alumina Kemurnian Tinggi untuk Penyegelan Ruang Suhu Tinggi
Cincin segel keramik St.Cera dirancang sebagai alternatif untuk cincin-O polimer di lingkungan ekstrem di mana elastomer mengalami degradasi. Diproduksi dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8%, cincin segel kaku ini digunakan dalam aplikasi penyegelan statis — biasanya dipasangkan dengan gasket logam lunak atau grafit — untuk memberikan penahanan vakum atau gas yang andal pada suhu hingga 800°C dan di lingkungan plasma atau kimia yang agresif. Material ini menawarkan pelepasan gas nol, kekuatan tekan tinggi (kekuatan lentur dasar 361 MPa), dan inert secara kimia (tahan terhadap halogen, asam, dan alkali kecuali HF). Permukaan penyegelan yang dipoles presisi (kerataan ≤5 μm, kekasaran permukaan Ra ≤0,2 μm) memastikan kontak kedap bocor dengan komponen logam atau keramik yang berpasangan.
-
Cincin Fokus Ruang Alumina Kemurnian Tinggi untuk Sistem Etching Plasma & CVD
Cincin fokus ruang St.Cera adalah komponen penting dari kit proses yang digunakan dalam peralatan semikonduktor etsa plasma, CVD, dan PVD. Dibuat dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8%, cincin ini mengelilingi tepi wafer untuk membatasi plasma dan mengoptimalkan distribusi sudut ion, sehingga meningkatkan keseragaman etsa di seluruh permukaan wafer. Material ini menawarkan ketahanan plasma yang luar biasa, kekuatan dielektrik tinggi (15×10⁶ V/m), dan stabilitas termal hingga 1600°C, memastikan keandalan jangka panjang dalam lingkungan plasma berbasis fluorin atau klorin yang agresif. Diameter dalam/luar yang digiling presisi dan kerataan (≤10 μm) memungkinkan penempatan tepi wafer yang akurat, mengurangi cacat tepi dan pembentukan partikel.
-
Cincin Keramik Alumina Kemurnian Tinggi untuk Ruang Proses CVD / PVD
Cincin keramik St.Cera dirancang khusus untuk digunakan dalam ruang proses CVD (Chemical Vapor Deposition) dan PVD (Physical Vapor Deposition). Dibuat dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8%, cincin ini berfungsi sebagai pelapis ruang, cincin fokus, atau komponen kit proses untuk menahan plasma dan melindungi dinding ruang dari erosi. Material ini menawarkan ketahanan plasma yang sangat baik, kekuatan dielektrik tinggi (15×10⁶ V/m), dan stabilitas termal hingga 1600°C, memastikan masa pakai yang lama dalam lingkungan plasma berbasis fluorin yang agresif. Toleransi dimensi yang presisi (±0,05 mm pada ID/OD) dan kerataan (≤10 μm) memungkinkan penempatan tepi wafer yang konsisten, meningkatkan keseragaman deposisi dan mengurangi pembentukan partikel.
-
Ujung Efektor Keramik Bernoulli — Penanganan Wafer Tanpa Kontak untuk Wafer Tipis & Rapuh
Ujung efektor keramik Bernoulli dari St.Cera menggunakan daya angkat aerodinamis untuk menangani wafer tanpa kontak fisik. Dibuat dari alumina (Al₂O₃) atau silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi 99,8%, ujung efektor ini memiliki nosel yang diproses secara presisi yang menyemburkan gas bertekanan untuk menciptakan lapisan udara tipis antara ujung efektor dan wafer. Prinsip tanpa kontak ini menghilangkan kontaminasi bagian belakang, pengelupasan tepi, dan kerusakan permukaan, sehingga ideal untuk wafer tipis (≤100 μm), rapuh, atau melengkung. Substrat keramik memberikan kekuatan lentur yang tinggi (361 MPa untuk Al₂O₃; hingga 550–600 MPa untuk SiC), massa rendah, dan stabilitas dimensi yang sangat baik, memastikan penempatan yang berulang pada robot transfer wafer berkecepatan tinggi.
