-
Cincin Isolasi PVD Alumina untuk Sistem Deposisi Uap Fisik
Cincin isolasi PVD St.Cera diproduksi dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8% untuk digunakan dalam sistem deposisi uap fisik (PVD). Cincin ini menyediakan isolasi listrik antara komponen ruang, mencegah percikan api dan memastikan operasi plasma yang stabil. Sifat-sifat utamanya meliputi kekuatan dielektrik tinggi (15×10⁶ V/m), resistansi spesifik >10¹⁴ Ω·mm²/m, dan stabilitas termal hingga 1600°C. Kemampuan pemesinan presisi kami mencapai diameter luar hingga 600mm, diameter dalam hingga 0,2mm, kerataan 0,003mm, dan hasil akhir permukaan Ra0,1. Porositas nol dan inertness kimia cincin memastikan keandalan jangka panjang dalam lingkungan sputtering yang agresif.
-
Komponen Keramik Alumina untuk Sistem Evaporasi E-Gun
St.Cera memproduksi komponen keramik alumina dengan kemurnian tinggi 99,8% yang dirancang khusus untuk sistem penguapan berkas elektron (E-gun). Komponen-komponen ini meliputi pelapis wadah, pelindung deflektor berkas, isolator, dan perlengkapan pemasangan. Material ini menawarkan kekuatan dielektrik tinggi (15×10⁶ V/m), stabilitas termal hingga 1600°C, dan ketahanan yang sangat baik terhadap guncangan termal dan serangan kimia dari material yang diuapkan. Kemampuan pemesinan presisi kami menghasilkan geometri kompleks dengan ukuran fitur minimum 0,2 mm, kerataan 0,003 mm, dan hasil akhir permukaan Ra0,1. Setiap bagian diperiksa 100% menggunakan CMM untuk akurasi dimensi.
-
Pelat Keramik Alumina Format Besar untuk Perlengkapan Semikonduktor & Industri
St.Cera memproduksi pelat keramik format besar dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8% dengan dimensi maksimum hingga panjang 1500 mm dan lebar 600 mm. Kemampuan penggilingan presisi kami mencapai kerataan 0,003 mm pada area 100 mm dan paralelisme 0,002 mm, memastikan kualitas permukaan yang konsisten untuk aplikasi area luas. Ketebalan hingga 100 mm, hasil akhir permukaan hingga Ra0,1. Pelat ini berfungsi sebagai alas chuck vakum, pelat pemanas, panel isolasi listrik, dan lantai ruang proses dalam manufaktur semikonduktor, display, dan fotovoltaik. Tersedia lubang tembus, lubang tirus, dan profil tepi.
-
Cincin Keramik Alumina Presisi untuk Penyegelan, Isolasi & Pemasangan
Cincin keramik St.Cera diproses secara presisi dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8% untuk aplikasi yang membutuhkan ketahanan aus tinggi, isolasi listrik, dan stabilitas termal hingga 1600°C. Kemampuan manufaktur kami mendukung diameter luar hingga 600 mm, ketebalan hingga 100 mm, dan diameter dalam sekecil 0,2 mm, dengan kerataan 0,003 mm, paralelisme 0,002 mm, dan konsentrisitas 0,01 mm. Tersedia sebagai cincin segel, cincin pengatur jarak, cincin penahan, atau profil khusus. Porositas nol dan inertness kimia material ini membuatnya cocok untuk lingkungan kimia dan plasma yang agresif.
-
Tabung Keramik Alumina Kemurnian Tinggi untuk Lingkungan Suhu Tinggi & Korosif
Tabung keramik St.Cera diproduksi dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8%, menawarkan stabilitas termal yang sangat baik hingga 1600°C, kekuatan dielektrik tinggi (15×10⁶ V/m), dan ketahanan kimia yang unggul. Kemampuan pemesinan presisi kami memungkinkan diameter dalam sekecil 0,2 mm, diameter luar hingga 600 mm, dan panjang hingga 1500 mm, dengan kelurusan 0,005 mm, konsentrisitas 0,01 mm, dan kehalusan permukaan Ra0,1. Porositas nol (penyerapan air 0%) pada tabung mencegah pelepasan gas dalam lingkungan vakum, menjadikannya ideal untuk tungku difusi semikonduktor, perlindungan termokopel, dan pemrosesan kimia. Ketebalan dinding dan konfigurasi ujung khusus (datar, meruncing, berflensa) tersedia.
-
Komponen Keramik Alumina Kustom untuk Peralatan Semikonduktor & Industri
St.Cera memproduksi komponen keramik khusus dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8% sesuai dengan gambar pelanggan. Fasilitas kami dilengkapi dengan mesin gerinda presisi dan pusat permesinan CNC, yang memungkinkan produksi komponen keramik kompleks dengan presisi tinggi. Komponen umum meliputi isolator, bola bantalan, cincin segel, bushing, perlengkapan khusus, dan geometri kompleks. Kemampuan manufaktur kami mendukung
-
Nosel Keramik Alumina untuk Injeksi Gas/Cairan Suhu Tinggi
Nosel keramik St.Cera diproses secara presisi dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8%, menawarkan ketahanan aus yang tinggi (Vickers 16 GPa), inert secara kimia, dan stabilitas termal hingga 1600°C. Kemampuan pemesinan presisi kami mencapai diameter dalam sekecil 0,2 mm, dengan kelurusan 0,005 mm dan konsentrisitas 0,01 mm, memastikan aliran yang konsisten dan distribusi fluida/gas yang tepat. Nosel ini memiliki lubang bagian dalam yang halus dengan permukaan akhir Ra0,1, meminimalkan hambatan aliran dan mengurangi penyumbatan. Diameter lubang mulai dari 0,2 mm hingga 5,0 mm, dengan geometri khusus termasuk outlet lurus, meruncing, atau multi-lubang. Setiap nosel diperiksa dimensinya dan diperiksa keseragaman alirannya.
-
Pelat Gerinda Keramik Alumina Kemurnian Tinggi untuk Pengasahan Presisi
Pelat gerinda keramik St.Cera diproduksi dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8% untuk aplikasi penggosokan dan penggerindaan presisi. Kemampuan penggerindaan presisi kami mencapai kerataan 0,003 mm, paralelisme 0,002 mm, dan hasil akhir permukaan Ra0,1, memastikan penghilangan material yang seragam di seluruh permukaan pelat. Pelat ini menawarkan ketahanan aus yang sangat baik (Vickers 16 GPa), kekuatan lentur tinggi (361 MPa), dan stabilitas termal hingga 800°C. Tersedia dalam format bulat hingga diameter 600 mm dan pelat persegi panjang hingga panjang 1500 mm. Permukaan beralur (lebar alur 0,5–2,0 mm) tersedia untuk distribusi bubur dalam proses penggosokan. Setiap pelat diperiksa dengan interferometer laser dan dilengkapi dengan laporan pengukuran presisi.
-
Ujung Efektor Keramik Alumina Kemurnian Tinggi untuk Robot Penanganan Wafer
Ujung efektor keramik alumina St.Cera diproses secara presisi dari Al₂O₃ dengan kemurnian tinggi 99,8% menggunakan peralatan penggilingan CNC 5 sumbu canggih. Kemampuan manufaktur kami mencakup mesin penggilingan presisi dan pusat permesinan CNC, yang memungkinkan geometri kompleks dengan presisi tinggi. Ujung efektor ini memiliki profil tipis (setipis 1,5 mm) dengan ujung depan yang meruncing untuk penyisipan wafer yang halus. Material ini memberikan kekakuan tinggi (modulus Young 380 GPa), ketahanan aus yang sangat baik, dan stabilitas termal hingga 800°C. Setiap unit digiling secara presisi untuk mencapai kerataan 0,003 mm, paralelisme 0,002 mm, dan hasil akhir permukaan Ra0,1, memastikan kontak wafer yang konsisten dan operasi bebas partikel di lingkungan FAB semikonduktor. Tersedia dalam panjang 150 mm hingga 450 mm, dengan geometri ujung khusus (pegangan tepi, Bernoulli, datar) dan flensa pemasangan agar sesuai dengan robot OEM. Pilihan penyelesaian permukaan meliputi dipoles, dihaluskan, atau lapisan disipatif ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
Chuck Vakum Alumina untuk Pemotongan dan Penggilingan Presisi
Chuck vakum alumina St.Cera diproduksi dari Al₂O₃ dengan kemurnian tinggi 99,8% dengan alur vakum yang dikerjakan secara presisi. Kemampuan penggilingan presisi kami mencapai kerataan 0,003 mm dan paralelisme 0,002 mm, memastikan fiksasi wafer tanpa distorsi selama pemotongan, penggilingan sisi belakang, dan inspeksi. Material ini menawarkan kekuatan lentur tinggi (361 MPa), kekerasan (16 GPa), dan stabilitas termal hingga 800°C. Tersedia dalam format bulat hingga diameter luar (OD) 600 mm dan bentuk persegi panjang hingga panjang 1500 mm. Alur vakum dirancang khusus (pola konsentris, radial, atau kisi) untuk memenuhi persyaratan proses tertentu. Setiap chuck diperiksa dengan interferometer laser dan dilengkapi dengan laporan verifikasi kerataan.
-
Penjepit Vakum SiC Berpori dengan Penyangga Logam untuk Penanganan Wafer Tipis dan Melengkung
Chuck vakum keramik berbasis logam St.Cera menggabungkan lapisan keramik silikon karbida (SiC) berpori dengan alas logam yang dikerjakan dengan presisi (aluminium atau baja tahan karat). Material SiC berpori (biru-hitam, porositas 35–40%, ukuran pori 20–30 μm, permeabilitas 60 ml/cm²·min) memberikan distribusi vakum yang seragam dan lembut di seluruh permukaan wafer, menghilangkan bekas tepi dan memungkinkan penyangga tanpa kontak untuk wafer tipis (≤100 μm) atau yang melengkung. Lapisan SiC menawarkan ekspansi termal rendah (3,5×10⁻⁶/℃), stabilitas termal hingga 1000°C, dan kekuatan lentur sedang (32–35 MPa). Alas logam menambah kekakuan struktural, pemasangan mudah melalui lubang berulir, dan perlindungan terhadap patahan getas. Chuck ini ideal untuk penggerindaan sisi belakang, pemotongan, dan pemrosesan wafer suhu tinggi di mana vakum seragam dan kompatibilitas termal sangat penting.
-
Pelat Keramik Alumina Kemurnian Tinggi – untuk Isolasi & Perlengkapan Suhu Tinggi
Pelat keramik St.Cera diproduksi dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8%, menawarkan kekuatan dielektrik tinggi (15×10⁶ V/m), stabilitas termal hingga 1600°C, dan ketahanan aus yang sangat baik. Pelat dipoles dengan presisi untuk mencapai kerataan ≤5 μm pada panjang 100 mm dan kekasaran permukaan Ra ≤0,4 μm. Tersedia dalam ketebalan standar dari 1 mm hingga 20 mm, ukuran khusus hingga 500×500 mm. Digunakan sebagai isolator listrik, alas pemanas, pelapis ruang, dan substrat penjepit vakum.
