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Anel de isolamento de alumina para sistemas de deposição física de vapor (PVD)
O anel de isolamento PVD da St.Cera é fabricado com alumina de alta pureza (Al₂O₃) a 99,8% para uso em sistemas de deposição física de vapor (PVD). O anel proporciona isolamento elétrico entre os componentes da câmara, prevenindo arcos elétricos e garantindo a operação estável do plasma. Suas principais propriedades incluem alta rigidez dielétrica (15×10⁶ V/m), resistividade >10¹⁴ Ω·mm²/m e estabilidade térmica de até 1600 °C. Nossas capacidades de usinagem de precisão permitem atingir diâmetros externos de até 600 mm, diâmetros internos de até 0,2 mm, planicidade de 0,003 mm e acabamento superficial Ra0,1. A porosidade zero e a inércia química do anel garantem confiabilidade a longo prazo em ambientes agressivos de pulverização catódica.
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Componentes de cerâmica de alumina para sistemas de evaporação de pistolas de elétrons
A St.Cera fabrica componentes cerâmicos de alumina de alta pureza (99,8%) projetados especificamente para sistemas de evaporação por feixe de elétrons (canhão de elétrons). Essas peças incluem revestimentos de cadinhos, defletores de feixe, isoladores e dispositivos de montagem. O material oferece alta rigidez dielétrica (15×10⁶ V/m), estabilidade térmica de até 1600 °C e excelente resistência a choques térmicos e ataques químicos provenientes de materiais evaporados. Nossas capacidades de usinagem de precisão permitem a obtenção de geometrias complexas com dimensões mínimas de 0,2 mm, planicidade de 0,003 mm e acabamento superficial Ra 0,1. Cada peça é 100% inspecionada por CMM para garantir a precisão dimensional.
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Placa cerâmica de alumina de grande formato para acessórios industriais e de semicondutores.
A St.Cera fabrica placas cerâmicas de grande formato em alumina de alta pureza (Al₂O₃) a 99,8%, com dimensões máximas de até 1500 mm de comprimento e 600 mm de largura. Nossas capacidades de retificação de precisão garantem uma planicidade de 0,003 mm em 100 mm e um paralelismo de 0,002 mm, assegurando uma qualidade de superfície consistente para aplicações em grandes áreas. Espessura de até 100 mm e acabamento superficial de até Ra 0,1. Essas placas são utilizadas como bases para placas de vácuo, placas de aquecimento, painéis de isolamento elétrico e pisos de câmaras de processo na fabricação de semicondutores, displays e células fotovoltaicas. Furos passantes, rebaixos e perfilamento de bordas estão disponíveis.
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Anel de cerâmica de alumina de precisão para vedação, isolamento e fixação.
O anel cerâmico da St.Cera é usinado com precisão a partir de alumina de alta pureza (Al₂O₃) a 99,8%, para aplicações que exigem alta resistência ao desgaste, isolamento elétrico e estabilidade térmica até 1600 °C. Nossas capacidades de fabricação permitem diâmetros externos de até 600 mm, espessuras de até 100 mm e diâmetros internos de até 0,2 mm, com planicidade de 0,003 mm, paralelismo de 0,002 mm e concentricidade de 0,01 mm. Disponível como anéis de vedação, anéis espaçadores, anéis de retenção ou perfis personalizados. A porosidade zero e a inércia química do material o tornam adequado para ambientes químicos agressivos e plasma.
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Tubo cerâmico de alumina de alta pureza para ambientes corrosivos e de alta temperatura.
O tubo cerâmico da St.Cera é fabricado com alumina de alta pureza (Al₂O₃) a 99,8%, oferecendo excelente estabilidade térmica até 1600 °C, alta rigidez dielétrica (15 × 10⁶ V/m) e resistência química superior. Nossas capacidades de usinagem de precisão permitem diâmetros internos de até 0,2 mm, diâmetros externos de até 600 mm e comprimentos de até 1500 mm, com retilineidade de 0,005 mm, concentricidade de 0,01 mm e acabamento superficial de Ra 0,1. A porosidade zero do tubo (0% de absorção de água) impede a liberação de gases em ambientes de vácuo, tornando-o ideal para fornos de difusão de semicondutores, proteção de termopares e processamento químico. Espessuras de parede e configurações de extremidades personalizadas (planas, cônicas, flangeadas) estão disponíveis.
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Peças cerâmicas de alumina personalizadas para equipamentos semicondutores e industriais
A St.Cera fabrica peças cerâmicas personalizadas a partir de alumina de alta pureza (Al₂O₃) a 99,8%, de acordo com os desenhos do cliente. Nossas instalações são equipadas com retificadoras de precisão e centros de usinagem CNC, permitindo a produção de componentes cerâmicos complexos com alta precisão. As peças típicas incluem isoladores, esferas de rolamento, anéis de vedação, buchas, dispositivos de fixação personalizados e geometrias complexas. Nossas capacidades de fabricação oferecem suporte a...
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Bocal de cerâmica de alumina para injeção de gás/fluido em alta temperatura
O bocal cerâmico da St.Cera é usinado com precisão a partir de alumina de alta pureza (Al₂O₃) a 99,8%, oferecendo alta resistência ao desgaste (Vickers 16 GPa), inércia química e estabilidade térmica até 1600 °C. Nossas capacidades de usinagem de precisão permitem atingir diâmetros internos de até 0,2 mm, com retilineidade de 0,005 mm e concentricidade de 0,01 mm, garantindo fluxo consistente e distribuição precisa de fluidos/gases. O bocal apresenta um furo interno liso com acabamento superficial Ra 0,1, minimizando a resistência ao fluxo e reduzindo o entupimento. Diâmetros de orifício de 0,2 mm a 5,0 mm, com geometrias personalizadas, incluindo saídas retas, cônicas ou com múltiplos orifícios. Cada bocal é inspecionado dimensionalmente e verificado quanto à uniformidade do fluxo.
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Disco de retificação cerâmico de alumina de alta pureza para lapidação de precisão.
A placa de retificação cerâmica da St.Cera é fabricada com alumina de alta pureza (Al₂O₃) a 99,8%, para aplicações de lapidação e retificação de precisão. Nossa capacidade de retificação de precisão atinge uma planicidade de 0,003 mm, paralelismo de 0,002 mm e acabamento superficial de Ra 0,1, garantindo a remoção uniforme de material em toda a superfície da placa. A placa oferece excelente resistência ao desgaste (Vickers 16 GPa), alta resistência à flexão (361 MPa) e estabilidade térmica de até 800 °C. Disponível em formatos redondos com diâmetro de até 600 mm e placas retangulares com comprimento de até 1500 mm. Superfícies ranhuradas (largura da ranhura de 0,5 a 2,0 mm) estão disponíveis para distribuição de pasta abrasiva em processos de lapidação. Cada placa é inspecionada com interferômetro a laser e fornecida com um relatório de medição de precisão.
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Efetor final de cerâmica de alumina de alta pureza para robôs de manuseio de wafers
O atuador final de cerâmica de alumina da St.Cera é usinado com precisão a partir de Al₂O₃ de alta pureza (99,8%) utilizando equipamentos avançados de retificação CNC de 5 eixos. Nossas capacidades de fabricação incluem retificadoras de precisão e centros de usinagem CNC, permitindo geometrias complexas com alta precisão. O atuador final apresenta um perfil fino (com espessura de até 1,5 mm) com uma borda de ataque afilada para inserção suave do wafer. O material proporciona alta rigidez (módulo de Young de 380 GPa), excelente resistência ao desgaste e estabilidade térmica de até 800 °C. Cada unidade é retificada com precisão para atingir planicidade de 0,003 mm, paralelismo de 0,002 mm e acabamento superficial de Ra 0,1, garantindo contato consistente com o wafer e operação livre de partículas em ambientes de fabricação de semicondutores. Disponível em comprimentos de 150 mm a 450 mm, com geometrias de ponta personalizadas (garra de borda, Bernoulli, plana) e flanges de montagem para adaptação a robôs OEM. As opções de acabamento de superfície incluem lapidação, polimento ou revestimento dissipativo ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
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Mandril de vácuo de alumina para corte e retificação de precisão
O mandril de vácuo de alumina da St.Cera é fabricado com Al₂O₃ de alta pureza (99,8%) e possui ranhuras de vácuo usinadas com precisão. Nossa capacidade de retificação de precisão garante planicidade de 0,003 mm e paralelismo de 0,002 mm, assegurando a fixação do wafer sem deformações durante o corte, retificação da face posterior e inspeção. O material oferece alta resistência à flexão (361 MPa), dureza (16 GPa) e estabilidade térmica de até 800 °C. Disponível em formatos redondos com diâmetro externo (DE) de até 600 mm e formatos retangulares com comprimento de até 1500 mm. As ranhuras de vácuo são projetadas sob medida (padrões concêntricos, radiais ou em grade) para atender a requisitos específicos do processo. Cada mandril é inspecionado com interferômetro a laser e fornecido com um relatório de verificação de planicidade.
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Placa de fixação a vácuo de SiC poroso com suporte metálico para manuseio de wafers finos e deformados
O suporte de vácuo cerâmico com base metálica da St.Cera combina uma camada cerâmica porosa de carbeto de silício (SiC) com uma base metálica usinada com precisão (alumínio ou aço inoxidável). O material poroso de SiC (azul-escuro, porosidade de 35–40%, tamanho dos poros de 20–30 μm, permeabilidade de 60 ml/cm²·min) proporciona uma distribuição de vácuo uniforme e suave em toda a superfície do wafer, eliminando marcas nas bordas e permitindo o suporte sem contato para wafers finos (≤100 μm) ou deformados. A camada de SiC oferece baixa expansão térmica (3,5×10⁻⁶/℃), estabilidade térmica até 1000 °C e resistência à flexão moderada (32–35 MPa). A base metálica adiciona rigidez estrutural, facilita a montagem por meio de furos roscados e oferece proteção contra fraturas frágeis. Este suporte é ideal para retificação da face posterior, corte e processamento de wafers em altas temperaturas, onde o vácuo uniforme e a compatibilidade térmica são essenciais.
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Placa cerâmica de alumina de alta pureza – para isolamento e acessórios de alta temperatura
A placa cerâmica da St.Cera é fabricada com alumina de alta pureza (Al₂O₃) a 99,8%, oferecendo alta rigidez dielétrica (15×10⁶ V/m), estabilidade térmica até 1600 °C e excelente resistência ao desgaste. As placas são lapidadas com precisão para atingir uma planicidade ≤5 μm em 100 mm e rugosidade superficial Ra ≤0,4 μm. Disponíveis em espessuras padrão de 1 mm a 20 mm e em tamanhos personalizados de até 500×500 mm. Utilizadas como isolantes elétricos, bases de aquecedores, revestimentos de câmaras e substratos para placas de vácuo.
