-
ለአካላዊ የእንፋሎት ማስቀመጫ ስርዓቶች የአልሙና PVD መከላከያ ቀለበት
የቅዱስ ሴራ የPVD መከላከያ ቀለበት በአካላዊ የእንፋሎት ክምችት (PVD) ስርዓቶች ውስጥ ጥቅም ላይ እንዲውል ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና ካለው አሉሚና (Al₂O₃) የተሰራ ነው። ቀለበቱ በክፍል ክፍሎች መካከል የኤሌክትሪክ ማግለልን ይሰጣል፣ ይህም ቀስትን ይከላከላል እና የተረጋጋ የፕላዝማ አሠራርን ያረጋግጣል። ቁልፍ ባህሪያት ከፍተኛ ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬ (15×10⁶ V/m)፣ የተወሰነ የመቋቋም አቅም >10¹⁴ Ω·mm²/m2 እና እስከ 1600°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋት ያካትታሉ። ትክክለኛ የማሽን ችሎታችን እስከ 600 ሚሜ የሚደርስ ውጫዊ ዲያሜትሮችን፣ ውስጣዊ ዲያሜትሮችን እስከ 0.2 ሚሜ የሚደርስ፣ 0.003 ሚሜ የሚደርስ ጠፍጣፋነት እና የገጽታ አጨራረስ Ra0.1 ያደርሳል። የቀለበቱ ዜሮ ቀዳዳ እና የኬሚካል አለመቻቻል በኃይለኛ ስፐተር አካባቢዎች ውስጥ የረጅም ጊዜ አስተማማኝነትን ያረጋግጣሉ።
-
ለኢ-ጋን የትነት ስርዓቶች የአልሙና ሴራሚክ ክፍሎች
ሴንት ሴራ ለኤሌክትሮን ጨረር (ኢ-ጉን) የትነት ስርዓቶች በተለይ የተነደፉ ከፍተኛ ንጽህና ያላቸው 99.8% የአሉሚና ሴራሚክ ክፍሎችን ያመርታል። እነዚህ ክፍሎች የክሩሲብል ሽፋኖችን፣ የጨረር መከላከያዎችን፣ ኢንሱሌተሮችን እና የመጫኛ እቃዎችን ያካትታሉ። ቁሱ ከፍተኛ የዲኤሌክትሪክ ጥንካሬ (15 × 10⁶ V/m)፣ እስከ 1600°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋት እና ከተተነፉ ቁሳቁሶች ለሚመጣ የሙቀት ድንጋጤ እና ኬሚካላዊ ጥቃት እጅግ በጣም ጥሩ የመቋቋም ችሎታ ይሰጣል። የእኛ ትክክለኛ የማሽን ችሎታዎች ቢያንስ የባህሪ መጠን 0.2ሚሜ፣ ጠፍጣፋነት 0.003ሚሜ እና የገጽታ አጨራረስ Ra0.1 ያላቸው ውስብስብ ጂኦሜትሪዎችን ያገኛሉ። እያንዳንዱ ክፍል ለልኬት ትክክለኛነት 100% CMM የተፈተሸ ነው።
-
ለሴሚኮንዳክተር እና ለኢንዱስትሪ እቃዎች ትልቅ ቅርጸት ያለው የአልሙና ሴራሚክ ሳህን
ሴንትሴራ ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና ያለው አሉሚና (Al₂O₃) ትላልቅ ቅርፅ ያላቸው የሴራሚክ ሳህኖችን ያመርታል፤ ይህም እስከ 1500 ሚሜ ርዝመት እና 600 ሚሜ ስፋት ያለው ነው። ትክክለኛ የመፍጨት ችሎታችን ከ100 ሚሜ በላይ 0.003 ሚሜ ጠፍጣፋ እና 0.002 ሚሜ ትይዩነት ያለው ሲሆን ይህም ለትልቅ ቦታ አፕሊኬሽኖች ወጥ የሆነ የገጽታ ጥራት ያረጋግጣል። እስከ 100 ሚሜ ውፍረት፣ የገጽታ አጨራረስ እስከ Ra0.1 ድረስ። እነዚህ ሳህኖች እንደ ቫክዩም ቹክ መሠረቶች፣ የማሞቂያ ሳህኖች፣ የኤሌክትሪክ መከላከያ ፓነሎች እና በሴሚኮንዳክተር፣ በማሳያ እና በፎቶቮልታይክ ማምረቻ ውስጥ እንደ የሂደት ክፍል ወለሎች ሆነው ያገለግላሉ። ቀዳዳዎች፣ የቆጣሪ ቦረቦች እና የጠርዝ መገለጫ ይገኛሉ።
-
ለመሸፈን፣ ለመከላከያ እና ለመጠገን ትክክለኛ የአልሙና ሴራሚክ ቀለበት
የቅዱስ ሴራ የሴራሚክ ቀለበት ከፍተኛ የመልበስ መቋቋም፣ የኤሌክትሪክ መከላከያ እና እስከ 1600°ሴ የሙቀት መረጋጋት ለሚያስፈልጋቸው አፕሊኬሽኖች ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና ያለው አሉሚና (Al₂O₃) የተሰራ ነው። የማምረቻ አቅሞቻችን እስከ 600 ሚሜ የሚደርስ ውጫዊ ዲያሜትር፣ እስከ 100 ሚሜ የሚደርስ ውፍረት እና እስከ 0.2 ሚሜ የሚደርስ ውስጣዊ ዲያሜትር፣ 0.003 ሚሜ ጠፍጣፋነት፣ 0.002 ሚሜ ትይዩነት እና 0.01 ሚሜ ኮንሰንሲቲቲ ይገኛሉ። እንደ ማኅተም ቀለበቶች፣ የስፔሰር ቀለበቶች፣ የማቆያ ቀለበቶች ወይም ብጁ መገለጫዎች ይገኛሉ። የቁሳቁሱ ዜሮ ቀዳዳነት እና የኬሚካል ኢንተለጀንስ ለኃይለኛ የኬሚካል እና የፕላዝማ አካባቢዎች ተስማሚ ያደርጉታል።
-
ለከፍተኛ ሙቀት እና ለዝገት አካባቢዎች ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የአሉሚና ሴራሚክ ቱቦ
የቅዱስ ሴራሚክ ቱቦ የሚመረተው ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና ካለው አሉሚና (Al₂O₃) ሲሆን እስከ 1600°ሴ ድረስ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት፣ ከፍተኛ ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬ (15×10⁶ V/m) እና የላቀ የኬሚካል መቋቋም ይሰጣል። የእኛ ትክክለኛ የማሽን ችሎታዎች እስከ 0.2ሚሜ ድረስ ትናንሽ የውስጥ ዲያሜትሮችን፣ እስከ 600ሚሜ የሚደርሱ ውጫዊ ዲያሜትሮችን እና እስከ 1500ሚሜ የሚደርሱ ርዝመቶችን፣ 0.005ሚሜ ቀጥተኛነት፣ 0.01ሚሜ ኮንሰንትሪቲ እና የRa0.1 የገጽታ አጨራረስን ያስችላሉ። የቱቦው ዜሮ ቀዳዳ (0% የውሃ መምጠጥ) በቫክዩም አካባቢዎች ውስጥ የጋዝ መጨፍለቅን ይከላከላል፣ ይህም ለሴሚኮንዳክተር ስርጭት ምድጃዎች፣ ለቴርሞኮፕል መከላከያ እና ለኬሚካል ማቀነባበሪያ ተስማሚ ያደርገዋል። ብጁ የግድግዳ ውፍረት እና የመጨረሻ ውቅሮች (ጠፍጣፋ፣ የተወጠረ፣ የተወጠረ) ይገኛሉ።
-
ለሴሚኮንዳክተር እና ለኢንዱስትሪ መሳሪያዎች ብጁ የአልሙና ሴራሚክ ክፍሎች
ሴንት ሴራ በደንበኞች ስዕሎች መሠረት ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና ካለው አሉሚና (አል₂ኦ₃) ብጁ የሴራሚክ ክፍሎችን ያመርታል። ተቋማችን በትክክለኛ መፍጨት ማሽኖች እና በሲኤንሲ የማሽን ማዕከላት የተገጠመለት ሲሆን ይህም ውስብስብ የሴራሚክ ክፍሎችን በከፍተኛ ትክክለኛነት ለማምረት ያስችላል። የተለመዱ ክፍሎች ኢንሱሌተሮች፣ የተሸከሙ ኳሶች፣ የማኅተም ቀለበቶች፣ ቁጥቋጦዎች፣ ብጁ እቃዎች እና ውስብስብ ጂኦሜትሪዎችን ያካትታሉ። የማምረቻ አቅማችን ይደግፋል
-
ለከፍተኛ ሙቀት ጋዝ/ፈሳሽ መርፌ የሚሆን የአልሙና ሴራሚክ ኖዝል
የሴራሚክ ኖዝል ከ99.8% ከፍተኛ ንፁህ አሉሚና (Al₂O₃) የተሰራ ሲሆን ከፍተኛ የመልበስ መቋቋም (Vickers 16 GPa)፣ የኬሚካል ኢንተለጀንስ እና እስከ 1600°ሴ የሙቀት መረጋጋት ይሰጣል። የእኛ ትክክለኛ የማሽን ችሎታዎች እስከ 0.2 ሚሜ ድረስ ትንሽ የሆነ የውስጥ ዲያሜትር፣ 0.005 ሚሜ ቀጥተኛነት እና 0.01 ሚሜ ኮንሰንትሪቲ፣ ወጥ የሆነ ፍሰት እና ትክክለኛ የፈሳሽ/ጋዝ ስርጭትን ያረጋግጣል። ኖዝሉ ለስላሳ ውስጣዊ ቦረቦረ ያለው ሲሆን የፍሰት መቋቋምን ይቀንሳል እና መዘጋትን ይቀንሳል። የኦሪፊስ ዲያሜትሮች ከ0.2 ሚሜ እስከ 5.0 ሚሜ፣ ቀጥ ያሉ፣ የተጠላለፉ ወይም ባለብዙ-ኦሪፊስ መውጫዎችን ጨምሮ ብጁ ጂኦሜትሪዎች አሉት። እያንዳንዱ ኖዝል በመጠን ይመረመራል እና የፍሰት ወጥነት ይፈተሻል።
-
ለትክክለኛነት መዝለል ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የአልሙና ሴራሚክ መፍጨት ሳህን
የቅዱስ ሴራ የሴራሚክ መፍጨት ሳህን የሚመረተው ለትክክለኛነት ለመዝለል እና ለመፍጨት ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና ካለው አሉሚና (Al₂O₃) ነው። የእኛ ትክክለኛ የመፍጨት ችሎታ 0.003ሚሜ ጠፍጣፋነት፣ 0.002ሚሜ ትይዩነት እና የRa0.1 የገጽታ አጨራረስን በማሳካት በመላው የፕላኑ ገጽ ላይ ተመሳሳይ የሆነ የቁስ ማስወገጃን ያረጋግጣል። ሳህኑ እጅግ በጣም ጥሩ የመልበስ መቋቋም (Vickers 16 GPa)፣ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (361 MPa) እና እስከ 800°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋት ይሰጣል። እስከ 600ሚሜ ዲያሜትር እና እስከ 1500ሚሜ ርዝመት ባለው አራት ማዕዘን ቅርጽ ባለው ፕላትፎርም ይገኛል። የተቦረቦሩ ቦታዎች (የጉድጓድ ስፋት 0.5-2.0ሚሜ) በማዝ ሂደቶች ውስጥ ለስሉር ስርጭት ይገኛሉ። እያንዳንዱ ሳህን በሌዘር ኢንተርፌሮሜትር ይመረመራል እና ትክክለኛ የመለኪያ ሪፖርት ያቀርባል።
-
ለዋፈር አያያዝ ሮቦቶች ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የአሉሚና ሴራሚክ መጨረሻ ተፅዕኖ ፈጣሪ
የቅዱስ ሴራ አሉሚና የሴራሚክ መጨረሻ ኢፌክተር ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና Al₂O₃ የተራቀቁ ባለ 5-ዘንግ CNC መፍጨት መሳሪያዎችን በመጠቀም ትክክለኛ የማሽን ማሽን ነው። የማምረቻ አቅሞቻችን ትክክለኛ የመፍጨት ማሽኖችን እና የ CNC ማሽነሪ ማዕከሎችን ያካትታሉ፣ ይህም ውስብስብ ጂኦሜትሪዎችን በከፍተኛ ትክክለኛነት ያስችላል። የመጨረሻው ኢፌክተር ቀጭን መገለጫ (እስከ 1.5 ሚሜ ቀጭን) እና ለስላሳ የዋፈር ማስገቢያ የተቆረጠ ግንባር ያለው ጠርዝ አለው። ቁሱ ከፍተኛ ጥንካሬ (የያንግ ሞዱለስ 380 GPa)፣ እጅግ በጣም ጥሩ የመልበስ መቋቋም እና እስከ 800°ሴ የሙቀት መረጋጋት ይሰጣል። እያንዳንዱ ክፍል 0.003 ሚሜ ጠፍጣፋነት፣ 0.002 ሚሜ ትይዩነት እና የRa0.1 የገጽታ አጨራረስ ለማግኘት ትክክለኛ መሬት ላይ የተፈጨ ሲሆን በሴሚኮንዳክተር FAB አካባቢዎች ውስጥ ወጥ የሆነ የዋፈር ግንኙነት እና ቅንጣት-ነጻ አሠራር ያረጋግጣል። ከ150 ሚሜ እስከ 450 ሚሜ ርዝመቶች፣ ብጁ የጫፍ ጂኦሜትሪዎች (የጠርዝ መያዣ፣ በርኖሊ፣ ጠፍጣፋ) እና የኦሪጂናል ዕቃ አምራች ሮቦቶችን ለመገጣጠም የሚገጠሙ ፍላንጎች አሉት። የወለል አጨራረስ አማራጮች የተወለወለ፣ የተወለወለ ወይም የESD ማሰራጫ ሽፋን (10⁶–10⁹ Ω/ስኩዌር) ያካትታሉ።
-
ለትክክለኛ ዳይሲንግ እና መፍጨት የአልሙኒየም ቫክዩም ቻክ
የቅዱስ ሴራ አሉሚና ቫክዩም ቹክ ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና ካለው አል₂O₃ በትክክለኛ ማሽን በተሠሩ የቫክዩም ጎድጓዶች የተሰራ ነው። የእኛ ትክክለኛ የመፍጨት ችሎታ 0.003ሚሜ ጠፍጣፋነት እና 0.002ሚሜ ትይዩነት ያለው ሲሆን ይህም በመቁረጥ፣ በጀርባ መፍጨት እና በፍተሻ ወቅት ከዋርፕ-ነጻ የዋፈር ጥገናን ያረጋግጣል። ቁሱ ከፍተኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (361 MPa)፣ ጥንካሬ (16 GPa) እና እስከ 800°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋት ይሰጣል። እስከ 600ሚሜ ውጫዊ ዲያሜትር (OD) እና እስከ 1500ሚሜ ርዝመት ባለው አራት ማዕዘን ቅርጽ ባለው ክብ ቅርጽ ይገኛል። የቫክዩም ጎድጓዶች ለተወሰኑ የሂደት መስፈርቶች እንዲስማሙ ብጁ (ኮንሰንትሪክ፣ ራዲያል ወይም ፍርግርግ ቅጦች) የተነደፉ ናቸው። እያንዳንዱ ቹክ በሌዘር ኢንተርፌሮሜትር ይመረመራል እና የጠፍጣፋነት ማረጋገጫ ሪፖርት ይቀርብለታል።
-
ለጎለመሱ እና ቀጭን ዋፈር አያያዝ በብረት የተደገፈ ባለ ቀዳዳ SiC የቫኩም ማገጃ
የቅዱስ ሴራ የብረት መሠረት ያለው የሴራሚክ ቫክዩም ቹክ ባለ ቀዳዳ ሲሊከን ካርቦይድ (SiC) የሴራሚክ ንብርብር ከትክክለኛ ማሽን የተሰራ የብረት መሠረት (አሉሚኒየም ወይም አይዝጌ ብረት) ጋር ያጣምራል። ባለ ቀዳዳ SiC ቁሳቁስ (ሰማያዊ-ጥቁር፣ ቀዳዳ 35-40%፣ ቀዳዳ መጠን 20-30 μm፣ መተላለፊያ 60 ሚሊ ሊትር/ሴሜ²·ደቂቃ) በመላው የዋፈር ወለል ላይ ወጥ የሆነ፣ ለስላሳ የቫክዩም ስርጭትን ይሰጣል፣ የጠርዝ ምልክትን ያስወግዳል እና ለቀጭን (≤100 μm) ወይም ለተዛቡ ዋፈሮች የማይገናኝ ድጋፍ ያስችላል። የSiC ንብርብር ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት (3.5×10⁻⁶/℃)፣ እስከ 1000°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋት እና መካከለኛ የመተጣጠፍ ጥንካሬ (32-35 MPa) ይሰጣል። የብረት መሠረቱ መዋቅራዊ ጥንካሬን፣ በክር ቀዳዳዎች በኩል ቀላል መጫኛን እና ከተሰባበረ ስብራት ጥበቃን ይጨምራል። ይህ ቹክ ለጀርባ መፍጨት፣ ለመቁረጥ እና ለከፍተኛ ሙቀት ዋፈር ማቀነባበሪያ ተስማሚ ሲሆን ወጥ የሆነ ቫክዩም እና የሙቀት ተኳሃኝነት ወሳኝ ናቸው።
-
ከፍተኛ ንፁህ የአሉሚና ሴራሚክ ሳህን - ለኢንሱሌሽን እና ለከፍተኛ ሙቀት ማስተካከያዎች
የቅዱስ ሴራ የሴራሚክ ሳህን ከ99.8% ከፍተኛ ንፅህና ካለው አሉሚና (Al₂O₃) የተሰራ ሲሆን ከፍተኛ ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬ (15×10⁶ V/m)፣ እስከ 1600°ሴ የሚደርስ የሙቀት መረጋጋት እና እጅግ በጣም ጥሩ የመልበስ መቋቋም ይሰጣል። ሳህኖቹ ከ100 ሚሜ በላይ ≤5 μm ጠፍጣፋነት እና የገጽታ ሻካራነት Ra ≤0.4 μm ለማግኘት ትክክለኛ ክብ ቅርጽ አላቸው። ከ1 ሚሜ እስከ 20 ሚሜ በመደበኛ ውፍረት፣ እስከ 500 × 500 ሚሜ ብጁ መጠኖች ይገኛሉ። እንደ ኤሌክትሪክ መከላከያዎች፣ የማሞቂያ መሠረቶች፣ የክፍል ሽፋኖች እና የቫኩም ቹክ ንጣፎች ጥቅም ላይ ይውላል።
