-
ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အငွေ့စုပုံစနစ်များအတွက် အလူမီနာ PVD လျှပ်ကာလက်စွပ်
St.Cera ရဲ့ PVD insulation ring ကို 99.8% high-purity alumina (Al₂O₃) နဲ့ ပြုလုပ်ထားပြီး physical vapor deposition (PVD) systems တွေမှာ အသုံးပြုပါတယ်။ ဒီ ring က chamber components တွေကြားမှာ electrical isolation ကို ပေးစွမ်းပြီး arcing ဖြစ်ခြင်းကို ကာကွယ်ပေးပြီး plasma operation ကို တည်ငြိမ်စေပါတယ်။ အဓိကဂုဏ်သတ္တိတွေကတော့ dielectric strength မြင့်မားခြင်း (15×10⁶ V/m)၊ specific resistance >10¹⁴ Ω·mm²/m နဲ့ 1600°C အထိ thermal stability တို့ပဲ ဖြစ်ပါတယ်။ ကျွန်ုပ်တို့ရဲ့ တိကျတဲ့ machining စွမ်းရည်တွေက outer diameters 600mm အထိ၊ inner diameters 0.2mm အထိ၊ flatness 0.003mm နဲ့ surface finish Ra0.1 အထိ ရရှိစေပါတယ်။ ဒီ ring ရဲ့ သုည porosity နဲ့ chemical inertness က ပြင်းထန်တဲ့ sputtering environments တွေမှာ ရေရှည်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကို သေချာစေပါတယ်။
-
E-Gun အငွေ့ပျံစနစ်များအတွက် အလူမီနာကြွေအစိတ်အပိုင်းများ
St.Cera သည် အီလက်ထရွန်ရောင်ခြည် (E-gun) အငွေ့ပျံစနစ်များအတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော မြင့်မားသောသန့်စင်မှု ၉၉.၈% အလူမီနာကြွေထည်အစိတ်အပိုင်းများကို ထုတ်လုပ်သည်။ ဤအစိတ်အပိုင်းများတွင် crucible liners၊ beam deflector shields၊ insulator များနှင့် mounting fixtures များ ပါဝင်သည်။ ဤပစ္စည်းသည် မြင့်မားသော dielectric strength (15×10⁶ V/m)၊ 1600°C အထိ အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုနှင့် အငွေ့ပျံသွားသောပစ္စည်းများမှ အပူရှော့ခ်နှင့် ဓာတုဗေဒတိုက်ခိုက်မှုကို ကောင်းမွန်စွာခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ တိကျသောစက်ပိုင်းဆိုင်ရာစွမ်းရည်များသည် အနည်းဆုံးအင်္ဂါရပ်အရွယ်အစား 0.2mm၊ ပြားချပ်မှု 0.003mm နှင့် မျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှု Ra0.1 ရှိသော ရှုပ်ထွေးသော geometries များကို ရရှိစေသည်။ အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုစီကို အတိုင်းအတာတိကျမှုအတွက် 100% CMM စစ်ဆေးသည်။
-
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံးပစ္စည်းများအတွက် အရွယ်အစားကြီးမားသော အလူမီနာကြွေပြား
St.Cera သည် ၉၉.၈% မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော အလူမီနာ (Al₂O₃) ဖြင့် အရွယ်အစားကြီးမားသော ကြွေပြားများကို ထုတ်လုပ်ပြီး အရှည် ၁၅၀၀ မီလီမီတာနှင့် အနံ ၆၀၀ မီလီမီတာအထိ အများဆုံးအတိုင်းအတာရှိသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ တိကျသော ကြိတ်ခွဲနိုင်စွမ်းသည် ၁၀၀ မီလီမီတာတွင် ၀.၀၀၃ မီလီမီတာ ပြားချပ်မှုနှင့် အပြိုင် ၀.၀၀၂ မီလီမီတာတို့ကို ရရှိစေပြီး ဧရိယာကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့် အသုံးချမှုများအတွက် မျက်နှာပြင်အရည်အသွေး တသမတ်တည်းရှိစေပါသည်။ အထူ ၁၀၀ မီလီမီတာအထိ၊ မျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှု Ra0.1 အထိ ရှိသည်။ ဤပြားများသည် semiconductor၊ display နှင့် photovoltaic ထုတ်လုပ်ရာတွင် vacuum chuck bases၊ heater platens၊ electrical insulation panels နှင့် process chamber floors အဖြစ် ဆောင်ရွက်သည်။ Through-holes၊ counterbores နှင့် edge profiling တို့ကို ရရှိနိုင်ပါသည်။
-
တံဆိပ်ခတ်ခြင်း၊ အပူလျှပ်ကာခြင်းနှင့် တပ်ဆင်ခြင်းအတွက် တိကျသော အလူမီနာ ကြွေလက်စွပ်
St.Cera ရဲ့ ကြွေထည်လက်စွပ်ကို ၉၉.၈% မြင့်မားတဲ့သန့်စင်တဲ့ အလူမီနာ (Al₂O₃) နဲ့ တိကျစွာပြုလုပ်ထားပြီး ၁၆၀၀°C အထိ မြင့်မားတဲ့ ဟောင်းနွမ်းမှုဒဏ်ခံနိုင်ရည်၊ လျှပ်စစ်လျှပ်ကာမှုနဲ့ အပူတည်ငြိမ်မှု လိုအပ်တဲ့ အသုံးချမှုတွေအတွက် အသုံးပြုနိုင်ပါတယ်။ ကျွန်ုပ်တို့ရဲ့ ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းရည်တွေက အပြင်ဘက်အချင်း ၆၀၀ မီလီမီတာအထိ၊ အထူ ၁၀၀ မီလီမီတာအထိ၊ အတွင်းအချင်း ၀.၂ မီလီမီတာအထိ၊ ပြားချပ်မှု ၀.၀၀၃ မီလီမီတာ၊ အပြိုင်အဆိုင် ၀.၀၀၂ မီလီမီတာနဲ့ ဗဟိုချက် ၀.၀၁ မီလီမီတာအထိ ပံ့ပိုးပေးပါတယ်။ တံဆိပ်ခတ်လက်စွပ်၊ spacer လက်စွပ်၊ ထိန်းသိမ်းလက်စွပ် ဒါမှမဟုတ် စိတ်ကြိုက်ပရိုဖိုင်တွေအနေနဲ့ ရရှိနိုင်ပါတယ်။ ပစ္စည်းရဲ့ သုည porosity နဲ့ ဓာတု inertness က ပြင်းထန်တဲ့ ဓာတုဗေဒနဲ့ plasma ပတ်ဝန်းကျင်တွေအတွက် သင့်တော်ပါတယ်။
-
အပူချိန်မြင့်မားပြီး ချေးတက်လွယ်သောပတ်ဝန်းကျင်အတွက် သန့်စင်သော အလူမီနာကြွေပြွန်
St.Cera ရဲ့ ကြွေပြွန်ကို ၉၉.၈% မြင့်မားတဲ့သန့်စင်မှုရှိတဲ့ အလူမီနာ (Al₂O₃) မှ ထုတ်လုပ်ထားပြီး ၁၆၀၀°C အထိ အပူတည်ငြိမ်မှု အထူးကောင်းမွန်ခြင်း၊ မြင့်မားတဲ့ dielectric strength (15×10⁶ V/m) နဲ့ ဓာတုဗေဒဒဏ်ခံနိုင်မှု အထူးကောင်းမွန်ပါတယ်။ ကျွန်ုပ်တို့ရဲ့ တိကျတဲ့ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာစွမ်းရည်တွေက အတွင်းအချင်း ၀.၂ မီလီမီတာအထိ၊ အပြင်အချင်း ၆၀၀ မီလီမီတာအထိ၊ အရှည် ၁၅၀၀ မီလီမီတာအထိ၊ ဖြောင့်တန်းမှု ၀.၀၀၅ မီလီမီတာ၊ ဗဟိုပြုမှု ၀.၀၁ မီလီမီတာနဲ့ မျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှု Ra0.1 တို့ကို ပြုလုပ်နိုင်စေပါတယ်။ ပြွန်ရဲ့ သုည porosity (ရေစုပ်ယူမှု ၀%) က လေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်မှာ ဓာတ်ငွေ့ထွက်ခြင်းကို ကာကွယ်ပေးပြီး semiconductor diffusion furnaces၊ thermocouple protection နဲ့ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ processing တွေအတွက် အသင့်တော်ဆုံးဖြစ်ပါတယ်။ စိတ်ကြိုက်နံရံအထူနဲ့ အဆုံးပုံစံများ (ပြားချပ်ချပ်၊ စောင်း၊ အနားကွပ်) ရရှိနိုင်ပါတယ်။
-
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် စက်မှုလုပ်ငန်းသုံး ပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် စိတ်ကြိုက် အလူမီနာ ကြွေထည် အစိတ်အပိုင်းများ
St.Cera သည် ဖောက်သည်ပုံများအရ ၉၉.၈% မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော အလူမီနာ (Al₂O₃) မှ စိတ်ကြိုက်ကြွေအစိတ်အပိုင်းများကို ထုတ်လုပ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏စက်ရုံတွင် တိကျသောကြိတ်ခွဲစက်များနှင့် CNC စက်ပိုင်းဆိုင်ရာစင်တာများ တပ်ဆင်ထားပြီး ရှုပ်ထွေးသောကြွေအစိတ်အပိုင်းများကို တိကျမှုမြင့်မားစွာ ထုတ်လုပ်နိုင်စေပါသည်။ ပုံမှန်အစိတ်အပိုင်းများတွင် insulator၊ bearing ball၊ seal ring၊ bushing၊ custom fixtures နှင့် ရှုပ်ထွေးသော geometries များ ပါဝင်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းရည်များသည် ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
-
အပူချိန်မြင့် ဓာတ်ငွေ့/အရည် ထိုးသွင်းရန်အတွက် အလူမီနာ ကြွေထည် နော်ဇယ်
St.Cera ရဲ့ ကြွေထည်နော်ဇယ်ကို ၉၉.၈% မြင့်မားတဲ့သန့်စင်မှုရှိတဲ့ အလူမီနာ (Al₂O₃) မှ တိကျစွာစက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားပြီး၊ မြင့်မားတဲ့ပွန်းစားမှုခံနိုင်ရည် (Vickers 16 GPa)၊ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ မတည်မငြိမ်ဖြစ်မှုနှင့် ၁၆၀၀°C အထိ အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုကို ပေးစွမ်းပါတယ်။ ကျွန်ုပ်တို့ရဲ့ တိကျတဲ့စက်ယန္တရားစွမ်းရည်တွေက အတွင်းပိုင်းအချင်း ၀.၂ မီလီမီတာအထိ၊ ဖြောင့်တန်းမှု ၀.၀၀၅ မီလီမီတာနဲ့ ဗဟိုချက် ၀.၀၁ မီလီမီတာအထိ ရရှိစေပြီး တသမတ်တည်းစီးဆင်းမှုနဲ့ တိကျတဲ့အရည်/ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုကို သေချာစေပါတယ်။ နော်ဇယ်မှာ မျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှု Ra0.1 ရှိတဲ့ ချောမွေ့တဲ့အတွင်းပိုင်းပေါက်ပါရှိပြီး စီးဆင်းမှုခံနိုင်ရည်ကို အနည်းဆုံးဖြစ်စေပြီး ပိတ်ဆို့ခြင်းကို လျှော့ချပေးပါတယ်။ အပေါက်အချင်း ၀.၂ မီလီမီတာကနေ ၅.၀ မီလီမီတာအထိရှိပြီး ဖြောင့်တန်း၊ ချွန်ထက်တဲ့ သို့မဟုတ် အပေါက်များစွာပါဝင်တဲ့ စိတ်ကြိုက်ဂျီသြမေတြီတွေနဲ့ ပြုလုပ်ထားပါတယ်။ နော်ဇယ်တစ်ခုစီကို အတိုင်းအတာအလိုက် စစ်ဆေးပြီး စီးဆင်းမှုတပြေးညီဖြစ်မှုကို စစ်ဆေးပါတယ်။
-
တိကျစွာ ಲೇಪခြင်းအတွက် မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော အလူမီနာ ကြွေပြား
St.Cera ရဲ့ ကြွေပြားကို တိကျစွာ လှီးဖြတ်ခြင်းနှင့် ကြိတ်ခွဲခြင်း အသုံးချမှုများအတွက် ၉၉.၈% မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုရှိသော အလူမီနာ (Al₂O₃) ဖြင့် ထုတ်လုပ်ထားပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ တိကျစွာ လှီးဖြတ်နိုင်စွမ်းသည် ပြားချပ်မှု ၀.၀၀၃ မီလီမီတာ၊ အပြိုင်အဆိုင် ၀.၀၀၂ မီလီမီတာ နှင့် မျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှု Ra0.1 ရရှိစေပြီး ပြားမျက်နှာပြင်တစ်ခုလုံးတွင် ပစ္စည်းဖယ်ရှားမှုကို တစ်ပြေးညီဖြစ်စေပါသည်။ ပြားသည် အလွန်ကောင်းမွန်သော ဟောင်းနွမ်းမှုခံနိုင်ရည် (Vickers 16 GPa)၊ မြင့်မားသော ကွေးညွှတ်အား (361 MPa) နှင့် 800°C အထိ အပူချိန်တည်ငြိမ်မှုကို ပေးစွမ်းသည်။ အချင်း ၆၀၀ မီလီမီတာအထိ အဝိုင်းပုံစံများနှင့် အရှည် ၁၅၀၀ မီလီမီတာအထိ ထောင့်မှန်စတုဂံပုံစံများဖြင့် ရရှိနိုင်ပါသည်။ ခြစ်ရာမျက်နှာပြင်များ (ခြစ်ရာအကျယ် ၀.၅-၂.၀ မီလီမီတာ) ကို လှီးဖြတ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အရည်များဖြန့်ဖြူးရန်အတွက် ရရှိနိုင်ပါသည်။ ပြားတစ်ခုစီကို လေဆာ အင်တာဖီရိုမီတာဖြင့် စစ်ဆေးပြီး တိကျသော တိုင်းတာမှုအစီရင်ခံစာ ပါရှိပါသည်။
-
ဝေဖာကိုင်တွယ်သည့် ရိုဘော့များအတွက် မြင့်မားသောသန့်စင်သော အလူမီနာကြွေထည်အဆုံးအကျိုးသက်ရောက်မှု
St.Cera ရဲ့ alumina ceramic end effector ကို အဆင့်မြင့် 5-axis CNC grinding စက်ကိရိယာများကို အသုံးပြု၍ 99.8% မြင့်မားသောသန့်စင်မှု Al₂O₃ မှ တိကျစွာ စက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းရည်များတွင် တိကျသော grinding စက်များနှင့် CNC machining centers များပါဝင်ပြီး မြင့်မားသောတိကျမှုဖြင့် ရှုပ်ထွေးသော geometries များကို ပြုလုပ်နိုင်စေပါသည်။ end effector တွင် ချောမွေ့သော wafer ထည့်သွင်းရန်အတွက် tapered leading edge ပါရှိသော ပါးလွှာသောပရိုဖိုင် (1.5 mm အထိပါးလွှာသည်) ပါရှိသည်။ ဤပစ္စည်းသည် မြင့်မားသောတောင့်တင်းမှု (Young's modulus 380 GPa)၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော wear resistance နှင့် 800°C အထိ thermal stability ကို ပေးစွမ်းသည်။ ယူနစ်တစ်ခုစီကို 0.003mm ပြားချပ်ချပ်၊ 0.002mm parallelism နှင့် Ra0.1 မျက်နှာပြင်ပြီးစီးမှုရရှိရန် တိကျစွာကြိတ်ခွဲထားပြီး semiconductor FAB ပတ်ဝန်းကျင်များတွင် wafer ထိတွေ့မှုနှင့် အမှုန်အမွှားကင်းစင်သောလည်ပတ်မှုကို သေချာစေသည်။ 150 mm မှ 450 mm အထိ အရှည်များဖြင့် ရရှိနိုင်ပြီး OEM robots များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် custom tip geometries (edge grip, Bernoulli, flat) နှင့် mounting flanges များပါရှိသည်။ မျက်နှာပြင်အပြီးသတ်ရွေးချယ်မှုများတွင် ඔප දැමීම သို့မဟုတ် ESD ပျံ့နှံ့စေသော အပေါ်ယံလွှာ (10⁶–10⁹ Ω/sq) ပါဝင်သည်။
-
တိကျသော အတုံးလေးများ လှီးဖြတ်ခြင်းနှင့် ကြိတ်ခွဲခြင်းအတွက် အလူမီနာ ဖုန်စုပ်ချက်
St.Cera ရဲ့ အလူမီနာ ဖုန်စုပ်ချပ်ကို ၉၉.၈% မြင့်မားတဲ့ သန့်ရှင်းမှု Al₂O₃ နဲ့ တိကျစွာ စက်နဲ့ ပြုလုပ်ထားတဲ့ ဖုန်စုပ် grooves တွေနဲ့ ထုတ်လုပ်ထားပါတယ်။ ကျွန်ုပ်တို့ရဲ့ တိကျတဲ့ ကြိတ်ခွဲနိုင်စွမ်းက ပြားချပ်မှု ၀.၀၀၃ မီလီမီတာနဲ့ parallelism ၀.၀၀၂ မီလီမီတာ ရရှိစေပြီး 깍둑썰기 လုပ်ခြင်း၊ နောက်ဘက် ကြိတ်ခွဲခြင်းနဲ့ စစ်ဆေးခြင်းတွေအတွင်း warp ကင်းတဲ့ wafer fixation ကို သေချာစေပါတယ်။ ဒီပစ္စည်းက 800°C အထိ မြင့်မားတဲ့ flexural strength (361 MPa)၊ hardness (16 GPa) နဲ့ thermal stability ကို ပေးစွမ်းပါတယ်။ အပြင်ဘက်အချင်း (OD) ၆၀၀ မီလီမီတာအထိရှိတဲ့ အဝိုင်းပုံစံတွေနဲ့ အရှည် ၁၅၀၀ မီလီမီတာအထိရှိတဲ့ ထောင့်မှန်စတုဂံပုံစံတွေနဲ့ ရရှိနိုင်ပါတယ်။ ဖုန်စုပ်ချပ်တွေကို သီးခြားလုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်တွေနဲ့ ကိုက်ညီအောင် စိတ်ကြိုက်ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါတယ် (concentric, radial, ဒါမှမဟုတ် grid patterns)။ chuck တစ်ခုစီကို laser interferometer နဲ့ စစ်ဆေးပြီး flatness verification report ပါရှိပါတယ်။
-
ကောက်ကွေးပြီး ပါးလွှာသော ဝေဖာကို ကိုင်တွယ်ရန်အတွက် သတ္တုကျောထောက်နောက်ခံပြုထားသော အပေါက်များပါသည့် SiC ဖုန်စုပ်ချပ်
St.Cera ရဲ့ သတ္တုအခြေခံ ကြွေထည်ဖုန်စုပ်ချပ်ဟာ porous silicon carbide (SiC) ကြွေထည်အလွှာကို တိကျစွာစက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားတဲ့ သတ္တုအခြေခံ (အလူမီနီယမ် သို့မဟုတ် သံမဏိ) နဲ့ ပေါင်းစပ်ထားပါတယ်။ porous SiC ပစ္စည်း (အပြာ-အနက်၊ porosity 35–40%၊ pore size 20–30 μm၊ permeability 60 ml/cm²·min) က wafer မျက်နှာပြင်တစ်ခုလုံးမှာ ညီညာပြီး ညင်သာစွာ ဖုန်စုပ်ဖြန့်ဖြူးပေးတာကြောင့် အနားသတ်တွေကို ဖယ်ရှားပေးပြီး ပါးလွှာတဲ့ (≤100 μm) သို့မဟုတ် ကောက်ကွေးနေတဲ့ wafer တွေအတွက် ထိတွေ့မှုမရှိတဲ့ အထောက်အပံ့ကို ပေးစွမ်းပါတယ်။ SiC အလွှာက အပူချဲ့ထွင်မှုနည်းခြင်း (3.5×10⁻⁶/℃)၊ 1000°C အထိ အပူတည်ငြိမ်မှုနဲ့ အသင့်အတင့်ကွေးညွှတ်နိုင်စွမ်း (32–35 MPa) ကို ပေးစွမ်းပါတယ်။ သတ္တုအခြေခံက ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ မာကျောမှု၊ ချည်မျှင်အပေါက်များမှတစ်ဆင့် အလွယ်တကူတပ်ဆင်နိုင်မှုနှင့် ကြွပ်ဆတ်သောကျိုးပဲ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးပါတယ်။ ဒီချပ်ဟာ backside grinding၊ dicing နဲ့ အပူချိန်မြင့် wafer processing တွေအတွက် အသင့်တော်ဆုံးဖြစ်ပြီး ဖုန်စုပ်စက်နဲ့ အပူလိုက်ဖက်ညီမှုက အရေးကြီးတယ်လို့ ဆိုပါတယ်။
-
အပူလျှပ်ကာနှင့် အပူချိန်မြင့်ပစ္စည်းများအတွက် သန့်စင်မှုမြင့် အလူမီနာ ကြွေပြား
St.Cera ရဲ့ ကြွေပြားကို ၉၉.၈% မြင့်မားတဲ့သန့်စင်မှုရှိတဲ့ အလူမီနာ (Al₂O₃) မှ ထုတ်လုပ်ထားပြီး မြင့်မားတဲ့ dielectric strength (15×10⁶ V/m)၊ 1600°C အထိ အပူတည်ငြိမ်မှုနဲ့ အလွန်ကောင်းမွန်တဲ့ ယိုယွင်းပျက်စီးမှုဒဏ်ခံနိုင်ရည်ကို ပေးစွမ်းပါတယ်။ ပြားတွေကို တိကျစွာ ပွတ်တိုက်ပြီး ၁၀၀ မီလီမီတာမှာ ပြားချပ်မှု ≤5 μm နဲ့ မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှု Ra ≤0.4 μm ရရှိအောင် ပြုလုပ်ထားပါတယ်။ စံအထူ ၁ မီလီမီတာကနေ ၂၀ မီလီမီတာအထိ၊ စိတ်ကြိုက်အရွယ်အစား ၅၀၀×၅၀၀ မီလီမီတာအထိ ရရှိနိုင်ပါတယ်။ လျှပ်စစ်လျှပ်ကာ၊ အပူပေးစက်အောက်ခံ၊ အခန်းအတွင်းခံနဲ့ vacuum chuck အောက်ခံအဖြစ် အသုံးပြုပါတယ်။
