-
Izolačný krúžok z oxidu hlinitého PVD pre systémy fyzikálneho nanášania pár
Izolačný krúžok PVD od spoločnosti St.Cera je vyrobený z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) na použitie v systémoch fyzikálneho nanášania z pár (PVD). Krúžok poskytuje elektrickú izoláciu medzi komponentmi komory, čím zabraňuje vzniku oblúka a zaisťuje stabilnú prevádzku plazmy. Medzi kľúčové vlastnosti patrí vysoká dielektrická pevnosť (15×10⁶ V/m), špecifický odpor >10¹⁴ Ω·mm²/m a tepelná stabilita až do 1600 °C. Naše možnosti presného obrábania dosahujú vonkajšie priemery až 600 mm, vnútorné priemery až do 0,2 mm, rovinnosť 0,003 mm a povrchovú úpravu Ra0,1. Nulová pórovitosť a chemická inertnosť krúžku zabezpečujú dlhodobú spoľahlivosť v agresívnom prostredí naprašovania.
-
Keramické diely z oxidu hlinitého pre odparovacie systémy E-Gun
Spoločnosť St.Cera vyrába keramické komponenty z vysoko čistého oxidu hlinitého s obsahom 99,8 %, ktoré sú špeciálne navrhnuté pre odparovacie systémy s elektrónovým lúčom (E-gun). Medzi tieto diely patria vložky téglikov, štíty deflektorov lúča, izolátory a montážne prvky. Materiál ponúka vysokú dielektrickú pevnosť (15×10⁶ V/m), tepelnú stabilitu až do 1600 °C a vynikajúcu odolnosť voči tepelným šokom a chemickému pôsobeniu odparovaných materiálov. Naše možnosti presného obrábania dosahujú zložité geometrie s minimálnou veľkosťou prvku 0,2 mm, rovinnosťou 0,003 mm a povrchovou úpravou Ra0,1. Každý diel je 100 % kontrolovaný na súradnicovom meracom stroji (CMM) z hľadiska rozmerovej presnosti.
-
Veľkoformátová keramická doska z oxidu hlinitého pre polovodičové a priemyselné svietidlá
Spoločnosť St.Cera vyrába veľkoformátové keramické dosky z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) s maximálnymi rozmermi až do dĺžky 1500 mm a šírky 600 mm. Naše možnosti presného brúsenia dosahujú rovinnosť 0,003 mm na 100 mm a rovnobežnosť 0,002 mm, čo zabezpečuje konzistentnú kvalitu povrchu pre aplikácie s veľkými plochami. Hrúbka do 100 mm, povrchová úprava až do Ra0,1. Tieto dosky slúžia ako základne vákuových upínačov, vykurovacie dosky, elektrické izolačné panely a dna procesných komôr pri výrobe polovodičov, displejov a fotovoltaiky. K dispozícii sú priechodné otvory, zahlbenia a profilovanie hrán.
-
Presný keramický krúžok z oxidu hlinitého na tesnenie, izoláciu a upevňovanie
Keramický krúžok od spoločnosti St.Cera je presne opracovaný z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) pre aplikácie vyžadujúce vysokú odolnosť proti opotrebovaniu, elektrickú izoláciu a tepelnú stabilitu až do 1600 °C. Naše výrobné kapacity podporujú vonkajšie priemery do 600 mm, hrúbky do 100 mm a vnútorné priemery už od 0,2 mm, s rovinnosťou 0,003 mm, rovnobežnosťou 0,002 mm a sústredenosťou 0,01 mm. K dispozícii ako tesniace krúžky, dištančné krúžky, poistné krúžky alebo vlastné profily. Nulová pórovitosť a chemická inertnosť materiálu ho robia vhodným pre agresívne chemické a plazmové prostredie.
-
Vysoko čistá keramická trubica z oxidu hlinitého pre prostredie s vysokou teplotou a korozívnym prostredím
Keramická trubica od spoločnosti St.Cera je vyrobená z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃), ktorý ponúka vynikajúcu tepelnú stabilitu až do 1600 °C, vysokú dielektrickú pevnosť (15 × 10⁶ V/m) a vynikajúcu chemickú odolnosť. Naše možnosti presného obrábania umožňujú vnútorné priemery už od 0,2 mm, vonkajšie priemery až do 600 mm a dĺžky až do 1500 mm s priamosťou 0,005 mm, sústredenosťou 0,01 mm a povrchovou úpravou Ra0,1. Nulová pórovitosť trubice (0 % nasiakavosť) zabraňuje uvoľňovaniu plynov vo vákuovom prostredí, vďaka čomu je ideálna pre difúzne pece pre polovodiče, ochranu termočlánkov a chemické spracovanie. K dispozícii sú vlastné hrúbky stien a konfigurácie koncov (ploché, zúžené, prírubové).
-
Vlastné hliníkové keramické diely pre polovodičové a priemyselné zariadenia
Spoločnosť St.Cera vyrába keramické diely na mieru z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) podľa výkresov zákazníka. Naše zariadenie je vybavené presnými brúskami a CNC obrábacími centrami, čo umožňuje výrobu zložitých keramických komponentov s vysokou presnosťou. Medzi typické diely patria izolátory, guľôčky ložísk, tesniace krúžky, puzdrá, upínacie prípravky na mieru a zložité geometrie. Naše výrobné kapacity podporujú
-
Keramická tryska z oxidu hlinitého na vstrekovanie plynu/kvapalín pri vysokých teplotách
Keramická tryska St.Cera je presne opracovaná z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃), ktorý ponúka vysokú odolnosť proti opotrebovaniu (Vickers 16 GPa), chemickú inertnosť a tepelnú stabilitu až do 1600 °C. Naše možnosti presného obrábania dosahujú vnútorný priemer už od 0,2 mm s priamosťou 0,005 mm a sústredenosťou 0,01 mm, čo zabezpečuje konzistentný prietok a presné rozloženie kvapaliny/plynu. Tryska sa vyznačuje hladkým vnútorným otvorom s povrchovou úpravou Ra0,1, čo minimalizuje odpor prúdenia a znižuje upchávanie. Priemery otvorov od 0,2 mm do 5,0 mm s vlastnými geometriami vrátane rovných, zužujúcich sa alebo viacnásobných otvorov. Každá tryska je rozmerovo kontrolovaná a kontrolovaná na rovnomernosť prietoku.
-
Vysoko čistá keramická brúsna doska z oxidu hlinitého pre presné lapovanie
Keramická brúsna doska St.Cera je vyrobená z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃) pre presné lapovanie a brúsenie. Naša schopnosť presného brúsenia dosahuje rovinnosť 0,003 mm, rovnobežnosť 0,002 mm a povrchovú úpravu Ra0,1, čo zabezpečuje rovnomerné odoberanie materiálu po celom povrchu dosky. Doska ponúka vynikajúcu odolnosť proti opotrebovaniu (Vickers 16 GPa), vysokú pevnosť v ohybe (361 MPa) a tepelnú stabilitu až do 800 °C. K dispozícii je v okrúhlych formátoch s priemerom do 600 mm a obdĺžnikových doskách s dĺžkou do 1500 mm. Drážkované povrchy (šírka drážky 0,5 – 2,0 mm) sú k dispozícii na rozdeľovanie suspenzie v lapovacích procesoch. Každá doska je kontrolovaná laserovým interferometrom a dodáva sa s presnou správou o meraní.
-
Koncový efektor z vysoko čistého oxidu hlinitého s keramikou pre roboty na manipuláciu s doštičkami
Koncový efektor z oxidu hlinitého a keramiky od spoločnosti St.Cera je presne opracovaný z vysoko čistého Al₂O₃ s obsahom 99,8 % pomocou pokročilého 5-osového CNC brúsneho zariadenia. Naše výrobné kapacity zahŕňajú presné brúsky a CNC obrábacie centrá, ktoré umožňujú zložité geometrie s vysokou presnosťou. Koncový efektor sa vyznačuje tenkým profilom (tenkým až 1,5 mm) so zúženou nábežnou hranou pre plynulé vkladanie doštičiek. Materiál poskytuje vysokú tuhosť (Youngov modul 380 GPa), vynikajúcu odolnosť proti opotrebovaniu a tepelnú stabilitu až do 800 °C. Každá jednotka je presne brúsená, aby sa dosiahla rovinnosť 0,003 mm, rovnobežnosť 0,002 mm a povrchová úprava Ra0,1, čo zabezpečuje konzistentný kontakt s doštičkami a prevádzku bez častíc v prostrediach FAB pre polovodiče. K dispozícii v dĺžkach od 150 mm do 450 mm, s vlastnými geometriami hrotov (uchopenie hrany, Bernoulliho, ploché) a montážnymi prírubami, ktoré sa hodia k OEM robotom. Možnosti povrchovej úpravy zahŕňajú lapovanie, leštenie alebo ESD disipatívny náter (10⁶–10⁹ Ω/sq.).
-
Vákuové skľučovadlo z oxidu hlinitého na presné krájanie a mletie
Vákuové upínače z oxidu hlinitého od spoločnosti St.Cera sú vyrobené z vysoko čistého Al₂O₃ s precízne opracovanými vákuovými drážkami. Naša schopnosť presného brúsenia dosahuje rovinnosť 0,003 mm a rovnobežnosť 0,002 mm, čo zaisťuje bezdeformačnú fixáciu doštičiek počas rezania, brúsenia zadnej strany a kontroly. Materiál ponúka vysokú pevnosť v ohybe (361 MPa), tvrdosť (16 GPa) a tepelnú stabilitu až do 800 °C. K dispozícii sú v okrúhlych formátoch s vonkajším priemerom (OD) až do 600 mm a obdĺžnikových tvaroch s dĺžkou až do 1500 mm. Vákuové drážky sú navrhnuté na mieru (sústredné, radiálne alebo mriežkové vzory) tak, aby vyhovovali špecifickým požiadavkám procesu. Každé upínače sú kontrolované laserovým interferometrom a dodáva sa so správou o overení rovinnosti.
-
Vákuové upínače z porézneho SiC s kovovou podložkou na manipuláciu s deformovanými a tenkými doštičkami
Keramický vákuový upínač od spoločnosti St.Cera na báze kovu kombinuje poréznu keramickú vrstvu z karbidu kremíka (SiC) s precízne opracovaným kovovým základom (hliník alebo nehrdzavejúca oceľ). Pórovitý materiál SiC (modro-čierny, pórovitosť 35 – 40 %, veľkosť pórov 20 – 30 μm, priepustnosť 60 ml/cm²·min) zaisťuje rovnomerné a jemné rozloženie vákua po celom povrchu doštičky, čím eliminuje označovanie hrán a umožňuje bezkontaktnú podporu tenkých (≤ 100 μm) alebo deformovaných doštičiek. Vrstva SiC ponúka nízku tepelnú rozťažnosť (3,5 × 10⁻⁶/℃), tepelnú stabilitu až do 1000 °C a strednú pevnosť v ohybe (32 – 35 MPa). Kovový základ dodáva štrukturálnu tuhosť, jednoduchú montáž pomocou závitových otvorov a ochranu pred krehkým lomom. Tento upínač je ideálny na brúsenie zadnej strany, rezanie na kocky a spracovanie doštičiek pri vysokých teplotách, kde je kritické rovnomerné vákuum a tepelná kompatibilita.
-
Vysoko čistá keramická doska z oxidu hlinitého – na izoláciu a vysokoteplotné svietidlá
Keramická doska St.Cera je vyrobená z 99,8 % vysoko čistého oxidu hlinitého (Al₂O₃), ktorý ponúka vysokú dielektrickú pevnosť (15 × 10⁶ V/m), tepelnú stabilitu až do 1600 °C a vynikajúcu odolnosť proti opotrebeniu. Dosky sú presne lapované, aby sa dosiahla rovinnosť ≤ 5 μm na 100 mm a drsnosť povrchu Ra ≤ 0,4 μm. Dostupné v štandardných hrúbkach od 1 mm do 20 mm, zákazkové veľkosti až do 500 × 500 mm. Používa sa ako elektrické izolátory, základne ohrievačov, vložky komôr a substráty vákuových upínačov.
