-
PVD izolacijski prsten od aluminijevog oksida za sisteme fizičkog taloženja iz pare
St.Cera PVD izolacijski prsten proizveden je od 99,8% visokočistog aluminijevog oksida (Al₂O₃) za upotrebu u sistemima fizičkog taloženja iz pare (PVD). Prsten pruža električnu izolaciju između komponenti komore, sprječavajući iskrenje i osiguravajući stabilan rad plazme. Ključna svojstva uključuju visoku dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m), specifični otpor >10¹⁴ Ω·mm²/m i termičku stabilnost do 1600°C. Naše mogućnosti precizne obrade postižu vanjske promjere do 600 mm, unutarnje promjere do 0,2 mm, ravnost od 0,003 mm i površinsku obradu Ra0.1. Nulta poroznost i hemijska inertnost prstena osiguravaju dugoročnu pouzdanost u agresivnim okruženjima za raspršivanje.
-
Keramički dijelovi od aluminijevog oksida za sisteme isparavanja E-Gun
St.Cera proizvodi keramičke komponente od visokočistog 99,8% aluminijevog oksida, posebno dizajnirane za sisteme isparavanja elektronskim snopom (E-gun). Ovi dijelovi uključuju obloge lončića, štitove za deflektore snopa, izolatore i montažne elemente. Materijal nudi visoku dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m), termičku stabilnost do 1600°C i odličnu otpornost na termalni udar i hemijski napad isparanih materijala. Naše precizne mašinske mogućnosti postižu složene geometrije sa minimalnom veličinom elementa od 0,2 mm, ravnošću od 0,003 mm i završnom obradom površine Ra0,1. Svaki dio je 100% CMM pregledan na dimenzijsku tačnost.
-
Keramička ploča od aluminijevog oksida velikog formata za poluprovodničke i industrijske uređaje
St.Cera proizvodi keramičke ploče velikog formata od 99,8% visokočistog aluminijevog oksida (Al₂O₃) s maksimalnim dimenzijama do 1500 mm dužine i 600 mm širine. Naše mogućnosti preciznog brušenja postižu ravnost od 0,003 mm na 100 mm i paralelnost od 0,002 mm, osiguravajući konzistentan kvalitet površine za primjene na velikim površinama. Debljina do 100 mm, završna obrada površine do Ra0.1. Ove ploče služe kao podloge za vakuumske stezne glave, ploče za grijanje, ploče za električnu izolaciju i podovi procesnih komora u proizvodnji poluprovodnika, displeja i fotonaponskih sistema. Dostupni su prolazni otvori, udubljenja i profiliranje ivica.
-
Precizni keramički prsten od aluminijevog oksida za zaptivanje, izolaciju i pričvršćivanje
Keramički prsten kompanije St.Cera je precizno obrađen od 99,8% visokočistog aluminijumskog oksida (Al₂O₃) za primjene koje zahtijevaju visoku otpornost na habanje, električnu izolaciju i termičku stabilnost do 1600°C. Naše proizvodne mogućnosti podržavaju vanjske promjere do 600 mm, debljine do 100 mm i unutarnje promjere do 0,2 mm, s ravnošću od 0,003 mm, paralelnošću od 0,002 mm i koncentričnošću od 0,01 mm. Dostupan je kao zaptivni prstenovi, odstojni prstenovi, prstenovi za zadržavanje ili prilagođeni profili. Nulti porozitet i hemijska inertnost materijala čine ga pogodnim za agresivna hemijska i plazma okruženja.
-
Keramička cijev od aluminijevog oksida visoke čistoće za visoke temperature i korozivna okruženja
Keramička cijev kompanije St.Cera proizvedena je od 99,8% visokočistog aluminijevog oksida (Al₂O₃), nudeći odličnu termičku stabilnost do 1600°C, visoku dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m) i vrhunsku hemijsku otpornost. Naše mogućnosti precizne mašinske obrade omogućavaju unutrašnje prečnike od samo 0,2 mm, vanjske prečnike do 600 mm i dužine do 1500 mm, sa pravolinijom od 0,005 mm, koncentričnošću od 0,01 mm i površinskom završnom obradom Ra0,1. Nulta poroznost cijevi (0% apsorpcije vode) sprječava ispuštanje gasova u vakuumskim okruženjima, što je čini idealnom za difuzijske peći za poluprovodnike, zaštitu termoparova i hemijsku obradu. Dostupne su prilagođene debljine stijenki i konfiguracije krajeva (ravni, konusni, prirubnički).
-
Prilagođeni keramički dijelovi od aluminijevog oksida za poluprovodničku i industrijsku opremu
St.Cera proizvodi keramičke dijelove po narudžbi od 99,8% visokočistog aluminijevog oksida (Al₂O₃) prema crtežima kupaca. Naš pogon je opremljen preciznim brusilicama i CNC obradnim centrima, što omogućava proizvodnju složenih keramičkih komponenti s visokom preciznošću. Tipični dijelovi uključuju izolatore, kuglice ležajeva, zaptivne prstenove, čahure, prilagođene priključke i složene geometrije. Naši proizvodni kapaciteti podržavaju
-
Keramička mlaznica od aluminijevog oksida za ubrizgavanje plina/tečnosti visoke temperature
Keramička mlaznica St.Cera je precizno obrađena od 99,8% aluminijevog oksida visoke čistoće (Al₂O₃), nudeći visoku otpornost na habanje (Vickers 16 GPa), hemijsku inertnost i termičku stabilnost do 1600°C. Naše mogućnosti precizne obrade postižu unutrašnji prečnik od samo 0,2 mm, sa pravolinijom od 0,005 mm i koncentričnošću od 0,01 mm, osiguravajući konzistentan protok i preciznu distribuciju tečnosti/gasa. Mlaznica ima glatki unutrašnji otvor sa završnom obradom površine Ra0.1, što minimizira otpor protoku i smanjuje začepljenje. Prečnici otvora od 0,2 mm do 5,0 mm, sa prilagođenim geometrijama, uključujući ravne, konusne ili izlaze sa više otvora. Svaka mlaznica se dimenzionalno pregleda i provjerava na ujednačenost protoka.
-
Brusna ploča od visokočistog aluminijumskog oksida za precizno poliranje
St.Cera keramička brusna ploča proizvedena je od 99,8% visokočistog aluminijevog oksida (Al₂O₃) za precizno brušenje i lapovanje. Naša precizna brusna sposobnost postiže ravnost od 0,003 mm, paralelnost od 0,002 mm i površinsku obradu Ra0,1, osiguravajući ravnomjerno uklanjanje materijala po cijeloj površini ploče. Ploča nudi odličnu otpornost na habanje (Vickers 16 GPa), visoku čvrstoću na savijanje (361 MPa) i termičku stabilnost do 800°C. Dostupna je u okruglim formatima do 600 mm u prečniku i pravougaonim pločama do 1500 mm dužine. Žljebljene površine (širina žljeba 0,5–2,0 mm) dostupne su za distribuciju suspenzije u procesima lapovanja. Svaka ploča se pregleda laserskim interferometrom i isporučuje se sa izvještajem o preciznom mjerenju.
-
Krajnji efektor od visokočistog aluminijumskog keramičkog oksida za robote za rukovanje pločicama
St.Cera-in krajnji efektor od aluminijumske keramike precizno je obrađen od 99,8% Al₂O₃ visoke čistoće korištenjem napredne 5-osne CNC brusilice. Naši proizvodni kapaciteti uključuju precizne brusilice i CNC obradne centre, što omogućava složene geometrije s visokom preciznošću. Krajnji efektor ima tanak profil (tanak samo 1,5 mm) sa suženom vodećom ivicom za glatko umetanje pločice. Materijal pruža visoku krutost (Youngov modul 380 GPa), odličnu otpornost na habanje i termičku stabilnost do 800°C. Svaka jedinica je precizno brušena kako bi se postigla ravnost od 0,003 mm, paralelnost od 0,002 mm i završna obrada površine od Ra0.1, osiguravajući konzistentan kontakt pločice i rad bez čestica u FAB okruženjima poluprovodnika. Dostupan je u dužinama od 150 mm do 450 mm, s prilagođenim geometrijama vrha (hvatanje ruba, Bernoulli, ravno) i montažnim prirubnicama koje odgovaraju OEM robotima. Opcije površinske završne obrade uključuju preklapanje, poliranje ili ESD disipativni premaz (10⁶–10⁹ Ω/kvadratni).
-
Vakuumska stezna glava od aluminija za precizno sjeckanje i mljevenje
St.Cera vakuumska stezna glava od aluminijevog oksida proizvedena je od 99,8% Al₂O₃ visoke čistoće s precizno obrađenim vakuumskim žljebovima. Naša precizna sposobnost brušenja postiže ravnost od 0,003 mm i paralelnost od 0,002 mm, osiguravajući fiksaciju pločice bez savijanja tokom rezanja, brušenja stražnje strane i inspekcije. Materijal nudi visoku čvrstoću na savijanje (361 MPa), tvrdoću (16 GPa) i termičku stabilnost do 800°C. Dostupna je u okruglim formatima vanjskog promjera (OD) do 600 mm i pravokutnim oblicima do 1500 mm dužine. Vakuumski žljebovi su posebno dizajnirani (koncentrični, radijalni ili mrežasti uzorci) kako bi odgovarali specifičnim zahtjevima procesa. Svaka stezna glava se pregleda laserskim interferometrom i isporučuje se s izvještajem o provjeri ravnosti.
-
Vakuumska stezna glava od poroznog SiC-a s metalnom podlogom za rukovanje deformiranim i tankim pločicama
St.Cera keramička vakuumska stezna glava na bazi metala kombinuje porozni keramički sloj silicijum karbida (SiC) sa precizno obrađenom metalnom bazom (aluminijum ili nehrđajući čelik). Porozni SiC materijal (plavo-crna, poroznost 35–40%, veličina pora 20–30 μm, propusnost 60 ml/cm²·min) omogućava ujednačenu, nježnu raspodjelu vakuuma po cijeloj površini pločice, eliminišući označavanje rubova i omogućavajući beskontaktnu podršku za tanke (≤100 μm) ili iskrivljene pločice. Sloj SiC nudi nisko termičko širenje (3,5×10⁻⁶/℃), termičku stabilnost do 1000°C i umjerenu čvrstoću na savijanje (32–35 MPa). Metalna baza dodaje strukturnu krutost, jednostavnu montažu putem navojnih otvora i zaštitu od krhkog loma. Ova stezna glava je idealna za brušenje zadnje strane, sjeckanje i obradu pločica na visokim temperaturama gdje su ujednačen vakuum i termička kompatibilnost ključni.
-
Keramička ploča od visokočistog aluminijumskog oksida – za izolaciju i visokotemperaturne elemente
Keramička ploča St.Cera proizvedena je od 99,8% visokočistog aluminijevog oksida (Al₂O₃), što joj pruža visoku dielektričnu čvrstoću (15×10⁶ V/m), termičku stabilnost do 1600°C i odličnu otpornost na habanje. Ploče se precizno lepaju kako bi se postigla ravnost ≤5 μm na 100 mm i hrapavost površine Ra ≤0,4 μm. Dostupne su u standardnim debljinama od 1 mm do 20 mm, a prilagođene veličine su do 500×500 mm. Koriste se kao električni izolatori, podloge za grijač, obloge komora i podloge za vakuumske stezne glave.
