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Anello isolante in allumina PVD per sistemi di deposizione fisica da fase vapore
L'anello isolante PVD di St.Cera è realizzato in allumina (Al₂O₃) ad elevata purezza (99,8%) per l'utilizzo in sistemi di deposizione fisica da fase vapore (PVD). L'anello fornisce isolamento elettrico tra i componenti della camera, prevenendo la formazione di archi elettrici e garantendo un funzionamento stabile del plasma. Le proprietà principali includono un'elevata rigidità dielettrica (15×10⁶ V/m), una resistenza specifica >10¹⁴ Ω·mm²/m e una stabilità termica fino a 1600 °C. Le nostre capacità di lavorazione di precisione consentono di ottenere diametri esterni fino a 600 mm, diametri interni fino a 0,2 mm, una planarità di 0,003 mm e una finitura superficiale Ra0,1. L'assenza di porosità e l'inerzia chimica dell'anello garantiscono un'affidabilità a lungo termine in ambienti di sputtering aggressivi.
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Componenti in ceramica di allumina per sistemi di evaporazione per pistole elettroniche
St.Cera produce componenti ceramici in allumina ad alta purezza (99,8%) specificamente progettati per sistemi di evaporazione a fascio di elettroni (E-gun). Questi componenti includono rivestimenti per crogioli, schermi deflettori per il fascio, isolanti e dispositivi di montaggio. Il materiale offre un'elevata rigidità dielettrica (15×10⁶ V/m), stabilità termica fino a 1600 °C ed eccellente resistenza agli shock termici e all'attacco chimico da parte dei materiali evaporati. Le nostre capacità di lavorazione di precisione consentono di realizzare geometrie complesse con dimensioni minime dei dettagli di 0,2 mm, planarità di 0,003 mm e finitura superficiale Ra0,1. Ogni componente viene ispezionato al 100% con una macchina di misura a coordinate (CMM) per verificarne l'accuratezza dimensionale.
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Lastra in ceramica di allumina di grande formato per dispositivi per semiconduttori e applicazioni industriali.
St.Cera produce lastre ceramiche di grande formato in allumina (Al₂O₃) ad elevata purezza (99,8%) con dimensioni massime fino a 1500 mm di lunghezza e 600 mm di larghezza. Le nostre capacità di rettifica di precisione consentono di ottenere una planarità di 0,003 mm su 100 mm e un parallelismo di 0,002 mm, garantendo una qualità superficiale costante per applicazioni su larga scala. Spessore fino a 100 mm, finitura superficiale fino a Ra0,1. Queste lastre vengono utilizzate come basi per mandrini a vuoto, piastre riscaldanti, pannelli di isolamento elettrico e pavimenti per camere di processo nella produzione di semiconduttori, display e fotovoltaico. Disponibili fori passanti, svasature e profilatura dei bordi.
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Anello di precisione in ceramica di allumina per sigillatura, isolamento e fissaggio
L'anello ceramico di St.Cera è lavorato con precisione da allumina (Al₂O₃) ad alta purezza (99,8%) per applicazioni che richiedono elevata resistenza all'usura, isolamento elettrico e stabilità termica fino a 1600 °C. Le nostre capacità produttive supportano diametri esterni fino a 600 mm, spessori fino a 100 mm e diametri interni fino a 0,2 mm, con planarità di 0,003 mm, parallelismo di 0,002 mm e concentricità di 0,01 mm. Disponibile come anelli di tenuta, anelli distanziatori, anelli di ritegno o profili personalizzati. La porosità nulla e l'inerzia chimica del materiale lo rendono adatto ad ambienti chimici aggressivi e al plasma.
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Tubo in ceramica di allumina ad elevata purezza per ambienti ad alta temperatura e corrosivi.
Il tubo ceramico di St.Cera è realizzato in allumina (Al₂O₃) ad elevata purezza (99,8%), offrendo un'eccellente stabilità termica fino a 1600 °C, un'elevata rigidità dielettrica (15 × 10⁶ V/m) e una resistenza chimica superiore. Le nostre capacità di lavorazione di precisione consentono di ottenere diametri interni fino a 0,2 mm, diametri esterni fino a 600 mm e lunghezze fino a 1500 mm, con rettilineità di 0,005 mm, concentricità di 0,01 mm e finitura superficiale Ra0,1. La porosità nulla del tubo (0% di assorbimento d'acqua) impedisce il degassamento in ambienti sottovuoto, rendendolo ideale per forni a diffusione per semiconduttori, protezione di termocoppie e processi chimici. Sono disponibili spessori di parete e configurazioni terminali personalizzate (piatte, coniche, flangiate).
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Componenti in ceramica di allumina personalizzati per apparecchiature a semiconduttore e industriali
St.Cera produce componenti ceramici personalizzati in allumina (Al₂O₃) ad alta purezza (99,8%) secondo i disegni del cliente. Il nostro stabilimento è dotato di rettificatrici di precisione e centri di lavoro CNC, che consentono la produzione di componenti ceramici complessi con elevata precisione. I componenti tipici includono isolatori, sfere per cuscinetti, anelli di tenuta, boccole, dispositivi di fissaggio personalizzati e geometrie complesse. Le nostre capacità produttive supportano
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Ugello in ceramica di allumina per iniezione di gas/fluidi ad alta temperatura
L'ugello in ceramica di St.Cera è lavorato con precisione da allumina (Al₂O₃) ad alta purezza (99,8%), offrendo elevata resistenza all'usura (Vickers 16 GPa), inerzia chimica e stabilità termica fino a 1600 °C. Le nostre capacità di lavorazione di precisione consentono di ottenere diametri interni fino a 0,2 mm, con rettilineità di 0,005 mm e concentricità di 0,01 mm, garantendo un flusso costante e una distribuzione precisa del fluido/gas. L'ugello presenta un foro interno liscio con finitura superficiale Ra0,1, che minimizza la resistenza al flusso e riduce il rischio di intasamento. Sono disponibili diametri degli orifizi da 0,2 mm a 5,0 mm, con geometrie personalizzate, tra cui uscite dritte, coniche o a orifizi multipli. Ogni ugello viene ispezionato dimensionalmente e controllato per l'uniformità del flusso.
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Piastra abrasiva in ceramica di allumina ad alta purezza per lappatura di precisione
La piastra di rettifica in ceramica di St.Cera è realizzata in allumina (Al₂O₃) ad elevata purezza (99,8%) per applicazioni di lappatura e rettifica di precisione. La nostra capacità di rettifica di precisione raggiunge una planarità di 0,003 mm, un parallelismo di 0,002 mm e una finitura superficiale Ra0,1, garantendo una rimozione uniforme del materiale su tutta la superficie della piastra. La piastra offre un'eccellente resistenza all'usura (Vickers 16 GPa), un'elevata resistenza alla flessione (361 MPa) e stabilità termica fino a 800 °C. Disponibile in formati rotondi fino a 600 mm di diametro e piastre rettangolari fino a 1500 mm di lunghezza. Sono disponibili superfici scanalate (larghezza scanalatura 0,5–2,0 mm) per la distribuzione della pasta abrasiva nei processi di lappatura. Ogni piastra viene ispezionata con un interferometro laser e fornita con un rapporto di misurazione di precisione.
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Effettore terminale in ceramica di allumina ad alta purezza per robot di movimentazione wafer
L'effettore finale in ceramica di allumina di St.Cera è lavorato con precisione da Al₂O₃ ad alta purezza (99,8%) utilizzando attrezzature di rettifica CNC a 5 assi avanzate. Le nostre capacità produttive includono rettificatrici di precisione e centri di lavoro CNC, che consentono di realizzare geometrie complesse con elevata precisione. L'effettore finale presenta un profilo sottile (fino a 1,5 mm) con un bordo anteriore rastremato per un inserimento fluido del wafer. Il materiale offre elevata rigidità (modulo di Young 380 GPa), eccellente resistenza all'usura e stabilità termica fino a 800 °C. Ogni unità è rettificata con precisione per ottenere una planarità di 0,003 mm, un parallelismo di 0,002 mm e una finitura superficiale Ra0,1, garantendo un contatto costante con il wafer e un funzionamento privo di particelle negli ambienti FAB dei semiconduttori. Disponibile in lunghezze da 150 mm a 450 mm, con geometrie della punta personalizzate (edge grip, Bernoulli, piatta) e flange di montaggio per adattarsi ai robot OEM. Le opzioni di finitura superficiale includono lappatura, lucidatura o rivestimento dissipativo ESD (10⁶–10⁹ Ω/quadrato).
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Mandrino a vuoto in allumina per taglio e rettifica di precisione
Il mandrino a vuoto in allumina di St.Cera è realizzato in Al₂O₃ ad elevata purezza (99,8%) con scanalature per il vuoto lavorate con precisione. La nostra capacità di rettifica di precisione consente di ottenere una planarità di 0,003 mm e un parallelismo di 0,002 mm, garantendo un fissaggio del wafer senza deformazioni durante il taglio, la rettifica del lato posteriore e l'ispezione. Il materiale offre elevata resistenza alla flessione (361 MPa), durezza (16 GPa) e stabilità termica fino a 800 °C. Disponibile in formati rotondi fino a 600 mm di diametro esterno (OD) e rettangolari fino a 1500 mm di lunghezza. Le scanalature per il vuoto sono progettate su misura (concentriche, radiali o a griglia) per soddisfare le specifiche esigenze di processo. Ogni mandrino viene ispezionato con un interferometro laser e fornito con un rapporto di verifica della planarità.
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Mandrino a vuoto in SiC poroso con supporto metallico per la movimentazione di wafer sottili e deformati
Il mandrino a vuoto in ceramica con base metallica di St.Cera combina uno strato ceramico poroso di carburo di silicio (SiC) con una base metallica di precisione (alluminio o acciaio inossidabile). Il materiale poroso SiC (blu-nero, porosità 35-40%, dimensione dei pori 20-30 μm, permeabilità 60 ml/cm²·min) garantisce una distribuzione uniforme e delicata del vuoto su tutta la superficie del wafer, eliminando la formazione di segni sui bordi e consentendo un supporto senza contatto per wafer sottili (≤100 μm) o deformati. Lo strato di SiC offre una bassa dilatazione termica (3,5×10⁻⁶/℃), stabilità termica fino a 1000 °C e una moderata resistenza alla flessione (32-35 MPa). La base metallica aggiunge rigidità strutturale, facilita il montaggio tramite fori filettati e protegge dalla frattura fragile. Questo mandrino è ideale per la rettifica del lato posteriore, il taglio e la lavorazione di wafer ad alta temperatura, dove il vuoto uniforme e la compatibilità termica sono fondamentali.
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Lastra in ceramica di allumina ad elevata purezza – per isolamento e apparecchiature ad alta temperatura
Le piastre ceramiche di St.Cera sono realizzate in allumina (Al₂O₃) ad elevata purezza (99,8%), offrendo un'elevata rigidità dielettrica (15×10⁶ V/m), stabilità termica fino a 1600 °C ed eccellente resistenza all'usura. Le piastre sono lappate con precisione per ottenere una planarità ≤5 μm su 100 mm e una rugosità superficiale Ra ≤0,4 μm. Disponibili in spessori standard da 1 mm a 20 mm e in formati personalizzati fino a 500×500 mm. Utilizzate come isolanti elettrici, basi per riscaldatori, rivestimenti per camere e substrati per mandrini a vuoto.
