-
Alumiinioksidin PVD-eristysrengas fysikaalisiin höyrypinnoitusjärjestelmiin
St.Ceran PVD-eristysrengas on valmistettu 99,8-prosenttisesti erittäin puhtaasta alumiinioksidista (Al₂O₃), ja sitä käytetään fysikaalisissa höyrypinnoitusjärjestelmissä (PVD). Rengas tarjoaa sähköisen eristyksen kammion komponenttien välille, estäen valokaaren ja varmistaen vakaan plasmatoiminnan. Tärkeimpiä ominaisuuksia ovat korkea dielektrinen lujuus (15 × 10⁶ V/m), ominaisvastus >10¹⁴ Ω·mm²/m ja terminen stabiilius jopa 1600 °C:een asti. Tarkkuuskoneistuksen avulla saavutamme jopa 600 mm:n ulkohalkaisijan, 0,2 mm:n sisähalkaisijan, 0,003 mm:n tasaisuuden ja Ra0,1-pinnanlaadun. Renkaan nollahuokoisuus ja kemiallinen inerttiys takaavat pitkäaikaisen luotettavuuden aggressiivisissa sputterointiympäristöissä.
-
Alumiinioksidikeraamiset osat E-Gun-höyrystysjärjestelmiin
St.Cera valmistaa erittäin puhtaita 99,8 % alumiinioksidikeraamisia komponentteja, jotka on erityisesti suunniteltu elektronisuihkuhöyrystysjärjestelmiin (E-tykki). Näihin osiin kuuluvat upokkaan vuoraukset, säteenohjainsuojat, eristeet ja kiinnitystarvikkeet. Materiaalilla on korkea dielektrinen lujuus (15 × 10⁶ V/m), lämmönkestävyys jopa 1600 °C:seen asti ja erinomainen kestävyys höyrystettyjen materiaalien lämpöshokeille ja kemiallisille vaikutuksille. Tarkkuuskoneistuskykymme mahdollistavat monimutkaiset geometriat, joiden vähimmäisprofiilikoko on 0,2 mm, tasomaisuus 0,003 mm ja pinnanlaatu Ra0,1. Jokainen osa tarkastetaan 100 %:sti CMM:llä mittatarkkuuden varmistamiseksi.
-
Suurikokoinen alumiinioksidikeraaminen levy puolijohde- ja teollisuuskalusteisiin
St.Cera valmistaa suurikokoisia keraamisia levyjä 99,8 %:n puhtaudesta valmistetusta alumiinioksidista (Al₂O₃). Levyjen enimmäismitat ovat pituudeltaan jopa 1500 mm ja leveydeltään 600 mm. Tarkkuushiontakykymme saavuttaa 0,003 mm:n tasaisuuden 100 mm:n matkalla ja 0,002 mm:n yhdensuuntaisuuden, mikä varmistaa tasaisen pinnanlaadun laajoissa sovelluksissa. Paksuus jopa 100 mm, pinnanlaatu jopa Ra0.1:een asti. Näitä levyjä käytetään alipaineistukoiden pohjina, lämmityslevyinä, sähköeristyspaneeleina ja prosessikammioiden pohjina puolijohde-, näyttö- ja aurinkosähköteollisuudessa. Saatavilla läpireikiä, upotuksia ja reunaprofilointia.
-
Tarkkuusalumiinioksidikeraaminen rengas tiivistykseen, eristykseen ja kiinnitykseen
St.Ceran keraaminen rengas on tarkkuuskoneistettu 99,8 %:n erittäin puhtaasta alumiinioksidista (Al₂O₃) sovelluksiin, jotka vaativat suurta kulutuskestävyyttä, sähköeristystä ja lämmönkestävyyttä jopa 1600 °C:seen asti. Valmistuskykymme tukee jopa 600 mm:n ulkohalkaisijoita, jopa 100 mm:n paksuuksia ja jopa 0,2 mm:n sisähalkaisijoita, joiden tasaisuus on 0,003 mm, yhdensuuntaisuus 0,002 mm ja samankeskisyys 0,01 mm. Saatavilla tiivisterenkaina, välirenkaina, pidätinrenkaina tai räätälöityinä profiileina. Materiaalin huokoisuus ja kemiallinen inerttiys tekevät siitä sopivan aggressiivisiin kemiallisiin ja plasmaympäristöihin.
-
Korkean puhtauden alumiinioksidikeraaminen putki korkeisiin lämpötiloihin ja syövyttäviin ympäristöihin
St.Ceran keraaminen putki on valmistettu 99,8-prosenttisesti erittäin puhtaasta alumiinioksidista (Al₂O₃), ja se tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden jopa 1600 °C:seen asti, korkean dielektrisen lujuuden (15 × 10⁶ V/m) ja erinomaisen kemikaalienkestävyyden. Tarkkuuskoneistuskykymme mahdollistavat jopa 0,2 mm:n sisähalkaisijan, jopa 600 mm:n ulkohalkaisijan ja jopa 1500 mm:n pituuden. Suoruus on 0,005 mm, samankeskisyys 0,01 mm ja pinnanlaatu Ra0,1. Putken nollahuokoisuus (0 % veden imeytyminen) estää kaasun poistumisen tyhjiöympäristöissä, joten se sopii erinomaisesti puolijohdediffuusiouuneihin, termoelementtien suojaukseen ja kemialliseen prosessointiin. Saatavilla on myös räätälöityjä seinämänpaksuuksia ja päätykokoonpanoja (litteä, kartiomainen, laipallinen).
-
Mukautetut alumiinioksidikeraamiset osat puolijohde- ja teollisuuslaitteille
St.Cera valmistaa mittatilaustyönä keraamisia osia 99,8 %:n puhtaasta alumiinioksidista (Al₂O₃) asiakkaiden piirustusten mukaan. Laitoksellamme on tarkkuushiomakoneet ja CNC-työstökeskukset, jotka mahdollistavat monimutkaisten keraamisten komponenttien valmistuksen suurella tarkkuudella. Tyypillisiä osia ovat eristeet, laakerikuulat, tiivisterenkaat, holkit, mittatilaustyönä tehdyt kiinnikkeet ja monimutkaiset geometriat. Valmistuskykymme tukee
-
Alumiinioksidikeraaminen suutin korkean lämpötilan kaasun/nesteen injektointiin
St.Ceran keraaminen suutin on tarkkuuskoneistettu 99,8 %:n puhtaasta alumiinioksidista (Al₂O₃), ja se tarjoaa korkean kulutuskestävyyden (Vickers 16 GPa), kemiallisen inertin rakenteen ja lämmönkestävyyden jopa 1600 °C:seen asti. Tarkkuuskoneistuskykymme ansiosta sisähalkaisija on jopa 0,2 mm, suoruus 0,005 mm ja samankeskisyys 0,01 mm, mikä varmistaa tasaisen virtauksen ja tarkan neste-/kaasujakauman. Suuttimessa on sileä sisäreikä, jonka pinnanlaatu on Ra0.1, mikä minimoi virtausvastuksen ja vähentää tukkeutumista. Aukon halkaisijat 0,2 mm - 5,0 mm, ja räätälöityjä geometrioita, kuten suoria, kartiomaisia tai moniaukkoisia ulostuloja. Jokainen suutin tarkastetaan mitoiltaan ja virtauksen tasaisuuden varmistamiseksi.
-
Korkean puhtauden alumiinioksidikeraaminen hiomalevy tarkkuushiontaan
St.Ceran keraaminen hiomalevy on valmistettu 99,8 %:sti erittäin puhtaasta alumiinioksidista (Al₂O₃) tarkkuushiontaa ja -läppäystä varten. Tarkkuushiontakykymme saavuttaa 0,003 mm:n tasaisuuden, 0,002 mm:n yhdensuuntaisuuden ja Ra0,1-pinnanlaadun, mikä varmistaa tasaisen materiaalinpoiston koko levyn pinnalta. Levyllä on erinomainen kulutuskestävyys (Vickers 16 GPa), korkea taivutuslujuus (361 MPa) ja lämmönkestävyys jopa 800 °C:een asti. Saatavilla pyöreinä levyinä, joiden halkaisija on enintään 600 mm, ja suorakaiteen muotoisina levyinä, joiden pituus on enintään 1500 mm. Saatavilla on uritettuja pintoja (uran leveys 0,5–2,0 mm) lietteen jakautumista varten hiontaprosesseissa. Jokainen levy tarkastetaan laserinterferometrillä ja toimitetaan tarkkuusmittausraportin kanssa.
-
Erittäin puhdasta alumiinioksidikeraamista päätyefektoria kiekkojen käsittelyroboteille
St.Ceran alumiinioksidikeraaminen efektori on tarkkuuskoneistettu 99,8 %:n puhtaudesta Al₂O₃:sta edistyneillä 5-akselisilla CNC-hiomakoneilla. Valmistuskykymme kattaa tarkkuushiomakoneet ja CNC-työstökeskukset, jotka mahdollistavat monimutkaisten geometrioiden valmistuksen suurella tarkkuudella. Efektorissa on ohut profiili (jopa 1,5 mm) ja kapeneva etureuna kiekkojen sujuvaa asettamista varten. Materiaali on erittäin jäykkä (Youngin moduuli 380 GPa), ja sillä on erinomainen kulutuskestävyys ja lämmönkestävyys jopa 800 °C:seen asti. Jokainen yksikkö on tarkkuushiottu 0,003 mm:n tasaisuuden, 0,002 mm:n yhdensuuntaisuuden ja Ra0,1-pinnanlaadun saavuttamiseksi, mikä varmistaa tasaisen kiekkokosketuksen ja hiukkasettoman toiminnan puolijohde-FAB-ympäristöissä. Saatavilla pituuksina 150 mm - 450 mm, räätälöidyillä kärkigeometrioilla (reunatartunta, Bernoulli, tasainen) ja kiinnityslaipoilla OEM-robottien tarpeisiin. Pintakäsittelyvaihtoehtoja ovat limitetty, kiillotettu tai ESD-poistopinnoite (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
Alumiinioksidin tyhjiöistukka tarkkuushiontaan ja -kuutiointiin
St.Ceran alumiinioksidista valmistettu tyhjiöistukka on valmistettu 99,8 %:n puhtaudesta Al₂O₃:sta, ja siinä on tarkkuuskoneistetut tyhjiöurat. Tarkkuushiontakykymme saavuttaa 0,003 mm:n tasaisuuden ja 0,002 mm:n yhdensuuntaisuuden, mikä varmistaa kiekkojen vääntymättömän kiinnityksen hiomisen, takapuolen hiomisen ja tarkastuksen aikana. Materiaalilla on korkea taivutuslujuus (361 MPa), kovuus (16 GPa) ja lämmönkestävyys jopa 800 °C:seen asti. Saatavilla pyöreinä muotoina, joiden ulkohalkaisija on enintään 600 mm, ja suorakaiteen muotoisina, joiden pituus on enintään 1500 mm. Tyhjiöurat suunnitellaan mittatilaustyönä (samankeskisinä, säteittäisinä tai ruudukkokuvioisina) vastaamaan tiettyjä prosessivaatimuksia. Jokainen istukka tarkastetaan laserinterferometrillä ja toimitetaan tasaisuuden tarkastusraportin kera.
-
Metallitaustainen huokoinen piikarbidi (SiC) tyhjiöistukka vääntyneiden ja ohuiden kiekkojen käsittelyyn
St.Ceran metallipohjainen keraaminen tyhjiöistukka yhdistää huokoisen piikarbidi (SiC) -keraamisen kerroksen tarkkuuskoneistettuun metallipohjaan (alumiini tai ruostumaton teräs). Huokoinen piikarbidimateriaali (sinimusta, huokoisuus 35–40 %, huokoskoko 20–30 μm, läpäisevyys 60 ml/cm²·min) tarjoaa tasaisen ja hellävaraisen tyhjiön jakautumisen koko kiekon pinnalle, mikä estää reunojen merkintöjä ja mahdollistaa kosketuksettoman tuen ohuille (≤100 μm) tai vääntyneille kiekoille. Piikarbidikerros tarjoaa pienen lämpölaajenemisen (3,5 × 10⁻⁶/℃), lämpöstabiilisuuden jopa 1000 °C:een asti ja kohtuullisen taivutuslujuuden (32–35 MPa). Metallipohja lisää rakenteellista jäykkyyttä, helpottaa asennusta kierrereikien kautta ja suojaa haurasmurtumia vastaan. Tämä istukka sopii erinomaisesti takapuolen hiontaan, kuutiointiin ja korkean lämpötilan kiekkojen käsittelyyn, joissa tasainen tyhjiö ja lämpöyhteensopivuus ovat kriittisiä.
-
Erittäin puhdas alumiinioksidikeraaminen levy – eristykseen ja korkean lämpötilan valaisimiin
St.Ceran keraaminen levy on valmistettu 99,8-prosenttisesti erittäin puhtaasta alumiinioksidista (Al₂O₃), ja sillä on korkea dielektrinen lujuus (15 × 10⁶ V/m), jopa 1600 °C:n lämpöstabiilisuus ja erinomainen kulutuskestävyys. Levyt on tarkkuusläppätty, jotta tasaisuus on ≤5 μm 100 mm:n matkalla ja pinnan karheus Ra ≤0,4 μm. Saatavilla vakiopaksuuksina 1 mm - 20 mm, räätälöityinä kokoina jopa 500 × 500 mm:iin asti. Käytetään sähköeristeinä, lämmittimien alustoina, kammioiden vuorauksina ja tyhjiöistukoiden alustoina.
