-
Vòng cách điện PVD alumina cho hệ thống lắng đọng hơi vật lý (Physical VOD).
Vòng cách điện PVD của St.Cera được sản xuất từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8% để sử dụng trong các hệ thống lắng đọng hơi vật lý (PVD). Vòng này cung cấp sự cách điện giữa các thành phần trong buồng, ngăn ngừa hiện tượng phóng điện hồ quang và đảm bảo hoạt động ổn định của plasma. Các đặc tính chính bao gồm độ bền điện môi cao (15×10⁶ V/m), điện trở suất >10¹⁴ Ω·mm²/m và độ ổn định nhiệt lên đến 1600°C. Khả năng gia công chính xác của chúng tôi cho phép đạt được đường kính ngoài lên đến 600mm, đường kính trong xuống đến 0,2mm, độ phẳng 0,003mm và độ hoàn thiện bề mặt Ra0.1. Độ xốp bằng không và tính trơ hóa học của vòng đảm bảo độ tin cậy lâu dài trong môi trường phún xạ khắc nghiệt.
-
Các bộ phận gốm alumina cho hệ thống bay hơi bằng súng điện tử
St.Cera sản xuất các linh kiện gốm alumina có độ tinh khiết cao 99,8% được thiết kế đặc biệt cho hệ thống bay hơi chùm electron (súng điện tử). Các bộ phận này bao gồm lớp lót nồi nung, tấm chắn làm lệch hướng chùm tia, chất cách điện và các phụ kiện lắp đặt. Vật liệu này có độ bền điện môi cao (15×10⁶ V/m), độ ổn định nhiệt lên đến 1600°C và khả năng chống sốc nhiệt và ăn mòn hóa học từ các vật liệu bay hơi rất tốt. Khả năng gia công chính xác của chúng tôi cho phép tạo ra các hình dạng phức tạp với kích thước chi tiết tối thiểu 0,2mm, độ phẳng 0,003mm và độ hoàn thiện bề mặt Ra0,1. Mỗi bộ phận đều được kiểm tra 100% bằng máy đo tọa độ (CMM) để đảm bảo độ chính xác về kích thước.
-
Tấm gốm alumina khổ lớn dùng cho ngành công nghiệp bán dẫn và các thiết bị công nghiệp.
St.Cera sản xuất các tấm gốm khổ lớn từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8% với kích thước tối đa lên đến 1500mm chiều dài và 600mm chiều rộng. Khả năng mài chính xác của chúng tôi đạt được độ phẳng 0,003mm trên 100mm và độ song song 0,002mm, đảm bảo chất lượng bề mặt nhất quán cho các ứng dụng diện tích lớn. Độ dày lên đến 100mm, độ hoàn thiện bề mặt xuống đến Ra0.1. Các tấm này được sử dụng làm đế mâm cặp chân không, tấm gia nhiệt, tấm cách điện và sàn buồng xử lý trong sản xuất chất bán dẫn, màn hình và quang điện. Có sẵn các tùy chọn lỗ xuyên, khoét lỗ và tạo hình cạnh.
-
Vòng gốm alumina chính xác dùng để làm kín, cách nhiệt và cố định.
Vòng gốm của St.Cera được gia công chính xác từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8%, dành cho các ứng dụng yêu cầu khả năng chống mài mòn cao, cách điện và ổn định nhiệt lên đến 1600°C. Khả năng sản xuất của chúng tôi hỗ trợ đường kính ngoài lên đến 600mm, độ dày lên đến 100mm và đường kính trong nhỏ đến 0,2mm, với độ phẳng 0,003mm, độ song song 0,002mm và độ đồng tâm 0,01mm. Có sẵn dưới dạng vòng đệm kín, vòng đệm định vị, vòng giữ hoặc các hình dạng tùy chỉnh. Độ xốp bằng không và tính trơ hóa học của vật liệu làm cho nó phù hợp với môi trường hóa chất và plasma khắc nghiệt.
-
Ống gốm alumina độ tinh khiết cao dùng cho môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn.
Ống gốm St.Cera được sản xuất từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8%, mang lại độ ổn định nhiệt tuyệt vời lên đến 1600°C, độ bền điện môi cao (15×10⁶ V/m) và khả năng kháng hóa chất vượt trội. Khả năng gia công chính xác của chúng tôi cho phép đường kính trong nhỏ đến 0,2mm, đường kính ngoài lên đến 600mm và chiều dài lên đến 1500mm, với độ thẳng 0,005mm, độ đồng tâm 0,01mm và độ nhẵn bề mặt Ra0.1. Độ xốp bằng không (hấp thụ nước 0%) của ống ngăn ngừa sự thoát khí trong môi trường chân không, lý tưởng cho lò khuếch tán bán dẫn, bảo vệ cặp nhiệt điện và xử lý hóa học. Có thể đặt hàng độ dày thành ống và cấu hình đầu ống tùy chỉnh (phẳng, côn, có mặt bích).
-
Các linh kiện gốm alumina tùy chỉnh cho thiết bị bán dẫn và công nghiệp.
St.Cera sản xuất các bộ phận gốm sứ theo yêu cầu từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8% theo bản vẽ của khách hàng. Nhà máy của chúng tôi được trang bị máy mài chính xác và trung tâm gia công CNC, cho phép sản xuất các linh kiện gốm sứ phức tạp với độ chính xác cao. Các bộ phận điển hình bao gồm sứ cách điện, bi ổ trục, vòng đệm kín, bạc lót, đồ gá tùy chỉnh và các hình dạng phức tạp. Khả năng sản xuất của chúng tôi hỗ trợ...
-
Vòi phun gốm alumina dùng để phun khí/chất lỏng ở nhiệt độ cao.
Vòi phun gốm của St.Cera được gia công chính xác từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8%, mang lại khả năng chống mài mòn cao (Vickers 16 GPa), tính trơ hóa học và độ ổn định nhiệt lên đến 1600°C. Khả năng gia công chính xác của chúng tôi cho phép đạt được đường kính trong nhỏ đến 0,2mm, với độ thẳng 0,005mm và độ đồng tâm 0,01mm, đảm bảo dòng chảy ổn định và phân phối chất lỏng/khí chính xác. Vòi phun có lỗ bên trong nhẵn với độ hoàn thiện bề mặt Ra0.1, giảm thiểu sức cản dòng chảy và giảm tắc nghẽn. Đường kính lỗ từ 0,2mm đến 5,0mm, với các hình dạng tùy chỉnh bao gồm đầu ra thẳng, hình nón hoặc nhiều lỗ. Mỗi vòi phun đều được kiểm tra kích thước và độ đồng nhất dòng chảy.
-
Tấm mài gốm alumina độ tinh khiết cao dùng cho việc mài chính xác.
Tấm mài gốm St.Cera được sản xuất từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8% dành cho các ứng dụng mài và đánh bóng chính xác. Khả năng mài chính xác của chúng tôi đạt được độ phẳng 0,003mm, độ song song 0,002mm và độ nhám bề mặt Ra0,1, đảm bảo loại bỏ vật liệu đồng đều trên toàn bộ bề mặt tấm. Tấm mài có khả năng chống mài mòn tuyệt vời (Vickers 16 GPa), độ bền uốn cao (361 MPa) và độ ổn định nhiệt lên đến 800°C. Có sẵn các dạng tròn với đường kính lên đến 600mm và dạng chữ nhật với chiều dài lên đến 1500mm. Bề mặt có rãnh (chiều rộng rãnh 0,5–2,0mm) có sẵn để phân phối dung dịch mài trong quá trình đánh bóng. Mỗi tấm được kiểm tra bằng máy đo giao thoa laser và được cung cấp kèm theo báo cáo đo lường chính xác.
-
Đầu kẹp bằng gốm alumina độ tinh khiết cao dành cho robot xử lý wafer.
Đầu kẹp bằng gốm alumina của St.Cera được gia công chính xác từ Al₂O₃ có độ tinh khiết cao 99,8% bằng thiết bị mài CNC 5 trục tiên tiến. Khả năng sản xuất của chúng tôi bao gồm các máy mài chính xác và trung tâm gia công CNC, cho phép tạo ra các hình dạng phức tạp với độ chính xác cao. Đầu kẹp có cấu hình mỏng (mỏng đến 1,5 mm) với cạnh dẫn hướng được vát để dễ dàng đưa wafer vào. Vật liệu này có độ cứng cao (modulus Young 380 GPa), khả năng chống mài mòn tuyệt vời và độ ổn định nhiệt lên đến 800°C. Mỗi đơn vị được mài chính xác để đạt độ phẳng 0,003 mm, độ song song 0,002 mm và độ nhám bề mặt Ra0,1, đảm bảo tiếp xúc wafer nhất quán và hoạt động không có hạt bụi trong môi trường nhà máy sản xuất bán dẫn. Có sẵn các chiều dài từ 150 mm đến 450 mm, với hình dạng đầu kẹp tùy chỉnh (kẹp cạnh, Bernoulli, phẳng) và mặt bích lắp đặt phù hợp với robot của nhà sản xuất thiết bị gốc (OEM). Các tùy chọn hoàn thiện bề mặt bao gồm mài nhẵn, đánh bóng hoặc phủ lớp chống tĩnh điện (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
Mâm cặp chân không bằng alumina dùng cho cắt và mài chính xác.
Mâm cặp chân không alumina của St.Cera được sản xuất từ Al₂O₃ có độ tinh khiết cao 99,8% với các rãnh chân không được gia công chính xác. Khả năng mài chính xác của chúng tôi đạt được độ phẳng 0,003mm và độ song song 0,002mm, đảm bảo cố định wafer không bị cong vênh trong quá trình cắt, mài mặt sau và kiểm tra. Vật liệu này có độ bền uốn cao (361 MPa), độ cứng (16 GPa) và độ ổn định nhiệt lên đến 800°C. Có sẵn các dạng tròn với đường kính ngoài (OD) lên đến 600mm và hình chữ nhật với chiều dài lên đến 1500mm. Các rãnh chân không được thiết kế tùy chỉnh (đồng tâm, xuyên tâm hoặc dạng lưới) để phù hợp với các yêu cầu quy trình cụ thể. Mỗi mâm cặp được kiểm tra bằng máy đo giao thoa laser và được cung cấp kèm theo báo cáo xác minh độ phẳng.
-
Mâm cặp chân không SiC xốp có lớp lót kim loại dùng để xử lý các tấm wafer mỏng và bị cong vênh.
Mâm cặp chân không gốm nền kim loại của St.Cera kết hợp lớp gốm silicon carbide (SiC) xốp với đế kim loại được gia công chính xác (nhôm hoặc thép không gỉ). Vật liệu SiC xốp (màu xanh đen, độ xốp 35–40%, kích thước lỗ 20–30 μm, độ thấm 60 ml/cm²·min) cung cấp sự phân bố chân không đồng đều và nhẹ nhàng trên toàn bộ bề mặt wafer, loại bỏ hiện tượng hằn cạnh và cho phép hỗ trợ không tiếp xúc đối với các wafer mỏng (≤100 μm) hoặc bị cong vênh. Lớp SiC có độ giãn nở nhiệt thấp (3,5×10⁻⁶/℃), độ ổn định nhiệt lên đến 1000°C và độ bền uốn vừa phải (32–35 MPa). Đế kim loại tăng thêm độ cứng cấu trúc, dễ dàng lắp đặt thông qua các lỗ ren và bảo vệ chống lại sự gãy vỡ giòn. Mâm cặp này lý tưởng cho việc mài mặt sau, cắt lát và xử lý wafer ở nhiệt độ cao, nơi chân không đồng đều và khả năng tương thích nhiệt là rất quan trọng.
-
Tấm gốm alumina tinh khiết cao – dùng để cách nhiệt và lắp đặt các thiết bị chịu nhiệt độ cao.
Tấm gốm St.Cera được sản xuất từ alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao 99,8%, mang lại độ bền điện môi cao (15×10⁶ V/m), độ ổn định nhiệt lên đến 1600°C và khả năng chống mài mòn tuyệt vời. Các tấm được mài chính xác để đạt độ phẳng ≤5 μm trên 100 mm và độ nhám bề mặt Ra ≤0,4 μm. Có sẵn các độ dày tiêu chuẩn từ 1 mm đến 20 mm, kích thước tùy chỉnh lên đến 500×500 mm. Được sử dụng làm chất cách điện, đế gia nhiệt, lớp lót buồng và chất nền cho mâm cặp chân không.
