-
Aluminium PVD-isoleringsring til fysiske dampaflejringssystemer
St.Ceras PVD-isoleringsring er fremstillet af 99,8% aluminiumoxid med høj renhed (Al₂O₃) til brug i fysiske dampaflejringssystemer (PVD). Ringen giver elektrisk isolering mellem kammerkomponenter, forhindrer lysbuedannelse og sikrer stabil plasmadrift. Nøgleegenskaber inkluderer høj dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m), specifik modstand >10¹⁴ Ω·mm²/m og termisk stabilitet op til 1600°C. Vores præcisionsbearbejdningskapaciteter opnår ydre diametre på op til 600 mm, indre diametre ned til 0,2 mm, en planhed på 0,003 mm og en overfladefinish Ra0,1. Ringens nul porøsitet og kemiske inertitet sikrer langvarig pålidelighed i aggressive sputtermiljøer.
-
Alumina keramiske dele til E-Gun fordampningssystemer
St.Cera fremstiller keramiske komponenter med høj renhed af 99,8% aluminiumoxid, der er specielt designet til elektronstrålefordampningssystemer (E-gun). Disse dele omfatter digelforinger, stråleafbøjningsskærme, isolatorer og monteringsbeslag. Materialet tilbyder høj dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m), termisk stabilitet op til 1600°C og fremragende modstandsdygtighed over for termisk chok og kemiske angreb fra fordampede materialer. Vores præcisionsbearbejdningskapaciteter opnår komplekse geometrier med en minimumsstørrelse på 0,2 mm, en planhed på 0,003 mm og en overfladefinish på Ra0,1. Hver del er 100% CMM-inspiceret for dimensionsnøjagtighed.
-
Storformat aluminiumoxid keramisk plade til halvleder- og industrielle armaturer
St.Cera fremstiller keramiske plader i storformat af 99,8% aluminiumoxid med høj renhed (Al₂O₃) med maksimale dimensioner på op til 1500 mm i længden og 600 mm i bredden. Vores præcisionsslibningskapaciteter opnår en planhed på 0,003 mm over 100 mm og en parallelitet på 0,002 mm, hvilket sikrer ensartet overfladekvalitet til store applikationer. Tykkelse op til 100 mm, overfladefinish ned til Ra0.1. Disse plader fungerer som vakuumpatronbaser, varmeplader, elektriske isoleringspaneler og proceskammergulve i halvleder-, display- og solcelleproduktion. Gennemgående huller, forsænkninger og kantprofilering er tilgængelige.
-
Præcisions aluminiumoxid keramisk ring til tætning, isolering og fastgørelse
St.Ceras keramiske ring er præcisionsbearbejdet af 99,8% aluminiumoxid med høj renhed (Al₂O₃) til applikationer, der kræver høj slidstyrke, elektrisk isolering og termisk stabilitet op til 1600°C. Vores produktionskapacitet understøtter ydre diametre på op til 600 mm, tykkelser på op til 100 mm og indre diametre så små som 0,2 mm, med en fladhed på 0,003 mm, en parallelitet på 0,002 mm og en koncentricitet på 0,01 mm. Fås som tætningsringe, afstandsringe, fastholdelsesringe eller brugerdefinerede profiler. Materialets nul porøsitet og kemiske inertitet gør det velegnet til aggressive kemiske og plasmamiljøer.
-
Keramikrør af høj renhedsalumina til miljøer med høj temperatur og ætsende egenskaber
St.Ceras keramiske rør er fremstillet af 99,8% aluminiumoxid (Al₂O₃) med høj renhed, hvilket giver fremragende termisk stabilitet op til 1600°C, høj dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m) og overlegen kemisk resistens. Vores præcisionsbearbejdningskapaciteter muliggør indvendige diametre så små som 0,2 mm, udvendige diametre op til 600 mm og længder op til 1500 mm, med en retlinjethed på 0,005 mm, en koncentricitet på 0,01 mm og en overfladefinish på Ra0,1. Rørets nul porøsitet (0% vandabsorption) forhindrer udgasning i vakuummiljøer, hvilket gør det ideelt til halvlederdiffusionsovne, termoelementbeskyttelse og kemisk forarbejdning. Brugerdefinerede vægtykkelser og endekonfigurationer (flade, koniske, flangede) er tilgængelige.
-
Specialfremstillede aluminiumoxidkeramiske dele til halvleder- og industriudstyr
St.Cera fremstiller specialfremstillede keramiske dele af 99,8% højrent aluminiumoxid (Al₂O₃) i henhold til kundens tegninger. Vores anlæg er udstyret med præcisionsslibemaskiner og CNC-bearbejdningscentre, der muliggør produktion af komplekse keramiske komponenter med høj præcision. Typiske dele omfatter isolatorer, lejekugler, tætningsringe, bøsninger, specialfremstillede beslag og komplekse geometrier. Vores produktionskapacitet understøtter
-
Alumina keramisk dyse til højtemperatur gas-/væskeinjektion
St.Ceras keramiske dyse er præcisionsbearbejdet af 99,8% aluminiumoxid med høj renhed (Al₂O₃), hvilket giver høj slidstyrke (Vickers 16 GPa), kemisk inertitet og termisk stabilitet op til 1600°C. Vores præcisionsbearbejdningskapaciteter opnår en indvendig diameter så lille som 0,2 mm, med en retlinjethed på 0,005 mm og en koncentricitet på 0,01 mm, hvilket sikrer ensartet flow og præcis væske-/gasfordeling. Dysen har en glat indvendig boring med overfladefinish Ra0.1, hvilket minimerer flowmodstand og reducerer tilstopning. Dysediametre fra 0,2 mm til 5,0 mm, med brugerdefinerede geometrier, herunder lige, koniske eller flerdyseudløb. Hver dyse inspiceres dimensionelt og kontrolleres for flowensartethed.
-
Keramisk slibeplade af høj renhedsalumina til præcisionsslibearbejde
St.Ceras keramiske slibeplade er fremstillet af 99,8% aluminiumoxid med høj renhed (Al₂O₃) til præcisionsslibe- og slibeopgaver. Vores præcisionsslibekapacitet opnår en planhed på 0,003 mm, en parallelitet på 0,002 mm og en overfladefinish på Ra0,1, hvilket sikrer ensartet materialefjernelse på tværs af hele pladeoverfladen. Pladen tilbyder fremragende slidstyrke (Vickers 16 GPa), høj bøjningsstyrke (361 MPa) og termisk stabilitet op til 800°C. Fås i runde formater op til 600 mm i diameter og rektangulære plader op til 1500 mm i længden. Rillede overflader (rillebredde 0,5-2,0 mm) er tilgængelige til slamfordeling i slibeprocesser. Hver plade inspiceres med laserinterferometer og leveres med en præcisionsmålerapport.
-
Keramisk endeeffektor af høj renhedsalumina til waferhåndteringsrobotter
St.Ceras alumina keramiske endeeffektor er præcisionsbearbejdet af 99,8% højrent Al₂O₃ ved hjælp af avanceret 5-akset CNC-slibeudstyr. Vores produktionskapaciteter omfatter præcisionsslibemaskiner og CNC-bearbejdningscentre, hvilket muliggør komplekse geometrier med høj præcision. Endeeffektoren har en tynd profil (så tynd som 1,5 mm) med en konisk forkant for jævn waferindsættelse. Materialet giver høj stivhed (Young's modul 380 GPa), fremragende slidstyrke og termisk stabilitet op til 800°C. Hver enhed er præcisionsslebet for at opnå en planhed på 0,003 mm, en parallelitet på 0,002 mm og en overfladefinish på Ra0.1, hvilket sikrer ensartet waferkontakt og partikelfri drift i halvleder-FAB-miljøer. Fås i længder fra 150 mm til 450 mm, med brugerdefinerede spidsgeometrier (kantgreb, Bernoulli, flad) og monteringsflanger, der passer til OEM-robotter. Overfladefinishmulighederne omfatter slebet, poleret eller ESD-afledende belægning (10⁶–10⁹ Ω/kvadrat).
-
Alumina vakuumpatron til præcisionsskæring og slibning
St.Ceras vakuumpatron til aluminiumoxid er fremstillet af 99,8% højrent Al₂O₃ med præcisionsbearbejdede vakuumriller. Vores præcisionsslibekapacitet opnår en planhed på 0,003 mm og en parallelitet på 0,002 mm, hvilket sikrer vridningsfri waferfiksering under udskæring, bagsideslibning og inspektion. Materialet tilbyder høj bøjningsstyrke (361 MPa), hårdhed (16 GPa) og termisk stabilitet op til 800°C. Fås i runde formater op til 600 mm ydre diameter (OD) og rektangulære former op til 1500 mm længde. Vakuumriller er specialdesignet (koncentriske, radiale eller gittermønstre) for at imødekomme specifikke proceskrav. Hver patron inspiceres med laserinterferometer og leveres med en planhedsverifikationsrapport.
-
Metalbagbeskyttet porøs SiC-vakuumpatron til håndtering af skæve og tynde wafere
St.Ceras metalbaserede keramiske vakuumpatron kombinerer et porøst siliciumcarbid (SiC) keramisk lag med en præcisionsbearbejdet metalbase (aluminium eller rustfrit stål). Det porøse SiC-materiale (blåsort, porøsitet 35-40%, porestørrelse 20-30 μm, permeabilitet 60 ml/cm²·min) giver ensartet, skånsom vakuumfordeling over hele waferoverfladen, hvilket eliminerer kantmærkning og muliggør berøringsfri støtte til tynde (≤100 μm) eller skæve wafere. SiC-laget tilbyder lav termisk udvidelse (3,5×10⁻⁶/℃), termisk stabilitet op til 1000°C og moderat bøjningsstyrke (32-35 MPa). Metalbasen tilføjer strukturel stivhed, nem montering via gevindhuller og beskyttelse mod sprødbrud. Denne patron er ideel til bagsideslibning, terningskæring og højtemperatur-waferbehandling, hvor ensartet vakuum- og termisk kompatibilitet er afgørende.
-
Keramikplade af aluminiumoxid med høj renhed – til isolering og højtemperaturarmaturer
St.Ceras keramiske plade er fremstillet af 99,8% aluminiumoxid (Al₂O₃) med høj renhed, hvilket giver høj dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m), termisk stabilitet op til 1600°C og fremragende slidstyrke. Pladerne er præcisionsslebet for at opnå en planhed ≤5 μm over 100 mm og en overfladeruhed Ra ≤0,4 μm. Fås i standardtykkelser fra 1 mm til 20 mm, brugerdefinerede størrelser op til 500×500 mm. Anvendes som elektriske isolatorer, varmelegemebaser, kammerforinger og vakuumpatronsubstrater.
