-
ଭୌତିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ପ୍ରଣାଳୀ ପାଇଁ ଆଲୁମିନା PVD ଇନସୁଲେସନ ରିଙ୍ଗ
ସେଣ୍ଟସେରାର PVD ଇନସୁଲେସନ ରିଙ୍ଗ ଭୌତିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (PVD) ସିଷ୍ଟମରେ ବ୍ୟବହାର ପାଇଁ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ନିର୍ମିତ। ଏହି ରିଙ୍ଗ ଚାମ୍ବର ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ପୃଥକୀକରଣ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଆର୍ସିଂକୁ ରୋକିଥାଏ ଏବଂ ସ୍ଥିର ପ୍ଲାଜମା କାର୍ଯ୍ୟକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିଥାଏ। ମୁଖ୍ୟ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଉଚ୍ଚ ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି (15×10⁶ V/m), ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ରତିରୋଧ >10¹⁴ Ω·mm²/m, ଏବଂ 1600°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଆମର ସଠିକତା ମେସିନିଂ କ୍ଷମତା 600mm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବାହ୍ୟ ବ୍ୟାସ, 0.2mm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଭିତର ବ୍ୟାସ, 0.003mm ସମତଳତା ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra0.1 ହାସଲ କରେ। ରିଙ୍ଗର ଶୂନ୍ୟ ପୋରୋସିଟି ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତା ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ସ୍ପଟରିଂ ପରିବେଶରେ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
-
ଇ-ଗନ୍ ବାଷ୍ପୀଭବନ ପ୍ରଣାଳୀ ପାଇଁ ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ଅଂଶ
St.Cera ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନ୍ ବିମ୍ (E-gun) ବାଷ୍ପୀଭବନ ପ୍ରଣାଳୀ ପାଇଁ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ଭାବରେ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଥିବା ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା 99.8% ଆଲୁମିନା ସିରାମିକ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ଉତ୍ପାଦନ କରେ। ଏହି ଅଂଶଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ କ୍ରୁସିବଲ୍ ଲାଇନର୍, ବିମ୍ ଡିଫ୍ଲେକ୍ଟର୍ ସିଲ୍ଡ, ଇନସୁଲେଟର ଏବଂ ମାଉଣ୍ଟିଂ ଫିକ୍ସଚର ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଏହି ସାମଗ୍ରୀ ଉଚ୍ଚ ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି (15×10⁶ V/m), 1600°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ବାଷ୍ପୀଭବନ ସାମଗ୍ରୀରୁ ତାପଜ ଆଘାତ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଆକ୍ରମଣ ପ୍ରତି ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦାନ କରେ। ଆମର ସଠିକ୍ ମେସିନିଂ କ୍ଷମତା ସର୍ବନିମ୍ନ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଆକାର 0.2mm, ସମତଳତା 0.003mm, ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra0.1 ସହିତ ଜଟିଳ ଜ୍ୟାମିତି ହାସଲ କରେ। ପ୍ରତ୍ୟେକ ଅଂଶ ଡାଇମେନ୍ସନ୍ଲ ସଠିକତା ପାଇଁ 100% CMM ଯାଞ୍ଚ କରାଯାଇଛି।
-
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଏବଂ ଶିଳ୍ପ ଫିକ୍ସଚର ପାଇଁ ବଡ଼ ଫର୍ମାଟ୍ ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ପ୍ଲେଟ୍
St.Cera 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ବୃହତ-ଫର୍ମ ସିରାମିକ୍ ପ୍ଲେଟ୍ ତିଆରି କରେ ଯାହାର ସର୍ବାଧିକ ପରିମାପ 1500mm ଲମ୍ବ ଏବଂ 600mm ପ୍ରସ୍ଥ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ। ଆମର ସଠିକ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ କ୍ଷମତା 100mm ଉପରେ 0.003mm ସମତଳତା ଏବଂ 0.002mm ସମାନ୍ତରାଳତା ହାସଲ କରେ, ଯାହା ବଡ଼-କ୍ଷେତ୍ର ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ସ୍ଥିର ପୃଷ୍ଠ ଗୁଣବତ୍ତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। 100mm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ମୋଟେଇ, Ra0.1 ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍। ଏହି ପ୍ଲେଟ୍ଗୁଡ଼ିକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ ବେସ୍, ହିଟର୍ ପ୍ଲାଟେନ୍, ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଇନସୁଲେସନ୍ ପ୍ୟାନେଲ୍ ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର, ପ୍ରଦର୍ଶନ ଏବଂ ଫଟୋଭୋଲ୍ଟିକ୍ ଉତ୍ପାଦନରେ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ଫ୍ଲୋର୍ ଭାବରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ। ହୋଲ୍ ମାଧ୍ୟମରେ, କାଉଣ୍ଟରବୋର ଏବଂ ଧାର ପ୍ରୋଫାଇଲିଂ ଉପଲବ୍ଧ।
-
ସିଲିଂ, ଇନସୁଲେସନ ଏବଂ ଫିକ୍ସଚରିଂ ପାଇଁ ପ୍ରିସିସନ୍ ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ରିଙ୍ଗ
ସେଣ୍ଟସେରାର ସିରାମିକ୍ ରିଙ୍ଗକୁ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ କରାଯାଇଛି ଯାହା ଉଚ୍ଚ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ, ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଇନସୁଲେସନ ଏବଂ 1600°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇଛି। ଆମର ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷମତା 600mm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବାହ୍ୟ ବ୍ୟାସ, 100mm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ମୋଟେଇ ଏବଂ 0.2mm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଛୋଟ ଭିତର ବ୍ୟାସକୁ ସମର୍ଥନ କରେ, 0.003mm ସମତଳତା, 0.002mm ସମାନ୍ତରାଳତା ଏବଂ 0.01mm ସମକେନ୍ଦ୍ରୀକରଣ ସହିତ। ସିଲ୍ ରିଙ୍ଗ, ସ୍ପେସର୍ ରିଙ୍ଗ, ରିଟେନିଙ୍ଗ୍ ରିଙ୍ଗ କିମ୍ବା କଷ୍ଟମ୍ ପ୍ରୋଫାଇଲ୍ ଭାବରେ ଉପଲବ୍ଧ। ସାମଗ୍ରୀର ଶୂନ୍ୟ ପୋରୋସିଟି ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତା ଏହାକୁ ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ରାସାୟନିକ ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ପରିବେଶ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ।
-
ଉଚ୍ଚ-ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ କ୍ଷୟକାରୀ ପରିବେଶ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ଟ୍ୟୁବ୍
ସେଣ୍ଟସେରାର ସିରାମିକ୍ ଟ୍ୟୁବ୍ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ନିର୍ମିତ, ଏହା 1600°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା, ଉଚ୍ଚ ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି (15×10⁶ V/m), ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦାନ କରେ। ଆମର ସଠିକତା ମେସିନିଂ କ୍ଷମତା 0.2mm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଛୋଟ ଭିତର ବ୍ୟାସ, 600mm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବାହ୍ୟ ବ୍ୟାସ ଏବଂ 1500mm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଲମ୍ବକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ, 0.005mm ସିଧା, 0.01mm ସମକେନ୍ଦ୍ରୀକରଣ ଏବଂ Ra0.1 ର ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ ସହିତ। ଟ୍ୟୁବର ଶୂନ୍ୟ ପୋରୋସିଟି (0% ଜଳ ଅବଶୋଷଣ) ଭାକ୍ୟୁମ୍ ପରିବେଶରେ ଗ୍ୟାସିଂକୁ ରୋକିଥାଏ, ଏହାକୁ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ପ୍ରସାରଣ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍, ଥର୍ମୋକପଲ୍ ସୁରକ୍ଷା ଏବଂ ରାସାୟନିକ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ। କଷ୍ଟମ୍ କାନ୍ଥ ଘନତା ଏବଂ ଶେଷ ବିନ୍ୟାସ (ସମତଳ, ଟେପର୍ଡ୍, ଫ୍ଲାଞ୍ଜଡ୍) ଉପଲବ୍ଧ।
-
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଏବଂ ଶିଳ୍ପ ଉପକରଣ ପାଇଁ କଷ୍ଟମ୍ ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ପାର୍ଟସ୍
St.Cera ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଚିତ୍ର ଅନୁଯାୟୀ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ କଷ୍ଟମ୍ ସିରାମିକ୍ ଅଂଶ ତିଆରି କରେ। ଆମର ସୁବିଧା ସଠିକ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ମେସିନ୍ ଏବଂ CNC ମେସିନିଂ କେନ୍ଦ୍ର ସହିତ ସଜ୍ଜିତ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ ସଠିକ୍ତା ସହିତ ଜଟିଳ ସିରାମିକ୍ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକର ଉତ୍ପାଦନକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ। ସାଧାରଣ ଅଂଶଗୁଡ଼ିକରେ ଇନସୁଲେଟର, ବେରିଂ ବଲ୍, ସିଲ୍ ରିଙ୍ଗ, ବୁଶିଂ, କଷ୍ଟମ୍ ଫିକ୍ସଚର୍ ଏବଂ ଜଟିଳ ଜ୍ୟାମିତି ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଆମର ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷମତା ସମର୍ଥନ କରେ
-
ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଗ୍ୟାସ୍/ତରଳ ଇଞ୍ଜେକ୍ସନ ପାଇଁ ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ନୋଜଲ୍
ସେଣ୍ଟସେରାର ସିରାମିକ୍ ନୋଜଲ୍ ହେଉଛି 99.8% ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍, ଯାହା ଉଚ୍ଚ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ (ଭିକର୍ 16 GPa), ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତା ଏବଂ 1600°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ। ଆମର ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ କ୍ଷମତା 0.2mm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଛୋଟ ଭିତର ବ୍ୟାସ, 0.005mm ସରଳତା ଏବଂ 0.01mm ସମକେନ୍ଦ୍ରୀକରଣ ହାସଲ କରେ, ଯାହା ସ୍ଥିର ପ୍ରବାହ ଏବଂ ସଠିକ୍ ତରଳ/ଗ୍ୟାସ୍ ବଣ୍ଟନ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ନୋଜଲ୍ରେ ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ Ra0.1 ସହିତ ଏକ ମସୃଣ ଭିତର ବୋର୍ ରହିଛି, ଯାହା ପ୍ରବାହ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ହ୍ରାସ କରେ ଏବଂ କ୍ଲଗ୍ଗିଂ ହ୍ରାସ କରେ। 0.2mm ରୁ 5.0mm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଓରିଫିସ୍ ବ୍ୟାସ, ସିଧା, ଟେପର୍ଡ, କିମ୍ବା ମଲ୍ଟି-ଓରିଫିସ୍ ଆଉଟଲେଟ୍ ସମେତ କଷ୍ଟମ୍ ଜ୍ୟାମିତି ସହିତ। ପ୍ରତ୍ୟେକ ନୋଜଲ୍ ଡାଇମେନ୍ସନାଲ୍ ଭାବରେ ଯାଞ୍ଚ କରାଯାଏ ଏବଂ ପ୍ରବାହ ସମାନତା ପାଇଁ ଯାଞ୍ଚ କରାଯାଏ।
-
ପ୍ରିସିସନ୍ ଲାପିଂ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ଲେଟ୍
ସେଣ୍ଟସେରାର ସିରାମିକ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ଲେଟ୍ ସଠିକ୍ ଲାପିଂ ଏବଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ନିର୍ମିତ। ଆମର ସଠିକ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ କ୍ଷମତା 0.003mm ସମତଳତା, 0.002mm ସମାନ୍ତରାଳତା ଏବଂ Ra0.1 ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ ହାସଲ କରେ, ଯାହା ସମଗ୍ର ପ୍ଲେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ସମାନ ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ପ୍ଲେଟ୍ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ (ଭିକର୍ସ 16 GPa), ଉଚ୍ଚ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (361 MPa), ଏବଂ 800°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ। 600mm ବ୍ୟାସ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଗୋଲାକାର ଫର୍ମାଟ୍ ଏବଂ 1500mm ଲମ୍ବ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଆୟତାକାର ପ୍ଲେଟ୍ରେ ଉପଲବ୍ଧ। ଲାପିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସ୍ଲରି ବଣ୍ଟନ ପାଇଁ ଗ୍ରୁଭ୍ ହୋଇଥିବା ପୃଷ୍ଠ (ଗ୍ରୁଭ୍ ପ୍ରସ୍ଥ 0.5-2.0mm) ଉପଲବ୍ଧ। ପ୍ରତ୍ୟେକ ପ୍ଲେଟ୍ ଲେଜର ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟର ସହିତ ଯାଞ୍ଚ କରାଯାଏ ଏବଂ ଏକ ସଠିକ୍ ମାପ ରିପୋର୍ଟ ସହିତ ଯୋଗାଇ ଦିଆଯାଏ।
-
ୱେଫର ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂ ରୋବୋଟ୍ ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍
ସେଣ୍ଟସେରାର ଆଲୁମିନା ସିରାମିକ୍ ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ ଉନ୍ନତ 5-ଅକ୍ଷ CNC ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଉପକରଣ ବ୍ୟବହାର କରି 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା Al₂O₃ ରୁ ସଠିକ୍ ମେସିନ୍ କରାଯାଇଛି। ଆମର ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷମତାରେ ସଠିକ୍ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ମେସିନ୍ ଏବଂ CNC ମେସିନିଂ କେନ୍ଦ୍ର ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ ସଠିକ୍ତା ସହିତ ଜଟିଳ ଜ୍ୟାମିତିକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ। ଏଣ୍ଡ ଇଫେକ୍ଟର୍ ଏକ ପତଳା ପ୍ରୋଫାଇଲ୍ (1.5 ମିମି ପରି ପତଳା) ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ କରେ ଯାହା ମସୃଣ ୱେଫର ଇନସର୍ସନ୍ ପାଇଁ ଏକ ଟେପର୍ଡ ଲିଡିଂ ଏଜ୍ ସହିତ। ଏହି ସାମଗ୍ରୀ ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା (ୟଙ୍ଗ୍ସ ମଡ୍ୟୁଲ୍ସ 380 GPa), ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ଏବଂ 800°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ। ପ୍ରତ୍ୟେକ ୟୁନିଟ୍ 0.003mm ସମତଳତା, 0.002mm ସମାନ୍ତରାଳତା ଏବଂ Ra0.1 ର ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ସଠିକ୍ ଭୂମି, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ FAB ପରିବେଶରେ ସ୍ଥିର ୱେଫର ସମ୍ପର୍କ ଏବଂ କଣିକା-ମୁକ୍ତ କାର୍ଯ୍ୟ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। 150 ମିମି ରୁ 450 ମିମି ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଲମ୍ବରେ ଉପଲବ୍ଧ, କଷ୍ଟମ୍ ଟିପ୍ ଜ୍ୟାମିତି (ଏଜ୍ ଗ୍ରିପ୍, ବର୍ଣ୍ଣୋଲି, ଫ୍ଲାଟ୍) ଏବଂ OEM ରୋବୋଟ୍ ଫିଟ୍ କରିବା ପାଇଁ ମାଉଣ୍ଟିଂ ଫ୍ଲାଞ୍ଜ ସହିତ। ପୃଷ୍ଠ ଫିନିସ୍ ବିକଳ୍ପଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଲାପ୍ଡ୍, ପଲିସ୍ଡ୍, କିମ୍ବା ESD ଡିସିପେଟିଭ୍ ଆବରଣ (10⁶–10⁹ Ω/ବର୍ଗ ବର୍ଗ) ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
-
ପ୍ରିସିସନ୍ ଡାଇସିଂ ଏବଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ପାଇଁ ଆଲୁମିନା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍
ସେଣ୍ଟସେରାର ଆଲୁମିନା ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା Al₂O₃ ରୁ ସଠିକତା-ଯନ୍ତ୍ରଯୁକ୍ତ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଗ୍ରୁଭ୍ ସହିତ ନିର୍ମିତ। ଆମର ସଠିକତା ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ କ୍ଷମତା 0.003mm ସମତଳତା ଏବଂ 0.002mm ସମାନ୍ତରାଳତା ହାସଲ କରେ, ଡାଇସିଂ, ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଏବଂ ଯାଞ୍ଚ ସମୟରେ ୱାର୍ପ୍-ଫ୍ରି ୱାଫର ସ୍ଥିରୀକରଣ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ଏହି ସାମଗ୍ରୀ ଉଚ୍ଚ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (361 MPa), କଠୋରତା (16 GPa), ଏବଂ 800°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ପ୍ରଦାନ କରେ। 600mm ବାହ୍ୟ ବ୍ୟାସ (OD) ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଗୋଲ ଫର୍ମାଟ୍ ଏବଂ 1500mm ଲମ୍ବ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଆୟତାକାର ଆକାରରେ ଉପଲବ୍ଧ। ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁଯାୟୀ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଗ୍ରୁଭ୍ କଷ୍ଟମ୍-ଡିଜାଇନ୍ (କେନ୍ଦ୍ରିକ, ରେଡିଆଲ୍, କିମ୍ବା ଗ୍ରୀଡ୍ ପ୍ୟାଟର୍ନ) କରାଯାଏ। ପ୍ରତ୍ୟେକ ଚକ୍ ଲେଜର ଇଣ୍ଟରଫେରୋମିଟର ସହିତ ଯାଞ୍ଚ କରାଯାଏ ଏବଂ ଏକ ସମତଳତା ଯାଞ୍ଚ ରିପୋର୍ଟ ସହିତ ଯୋଗାଇ ଦିଆଯାଏ।
-
ୱାର୍ପ୍ଡ୍ ଏବଂ ପତଳା ୱେଫର ହ୍ୟାଣ୍ଡଲିଂ ପାଇଁ ଧାତୁ-ପୃଷ୍ଠାଯୁକ୍ତ ପୋରସ୍ SiC ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍
ସେଣ୍ଟସେରାର ଧାତୁ ଆଧାରିତ ସିରାମିକ୍ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ ଏକ ପୋରସ୍ ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC) ସିରାମିକ୍ ସ୍ତରକୁ ଏକ ସଠିକ୍-ଯନ୍ତ୍ରଯୁକ୍ତ ଧାତୁ ଆଧାର (ଆଲୁମିନିୟମ୍ କିମ୍ବା ଷ୍ଟେନଲେସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍) ସହିତ ମିଶ୍ରଣ କରେ। ପୋରସ୍ SiC ସାମଗ୍ରୀ (ନୀଳ-କଳା, ପୋରୋସିଟି 35-40%, ପୋରସ୍ ଆକାର 20-30 μm, ପାରଗମ୍ୟତା 60 ml/cm²·ମିନିଟ୍) ସମଗ୍ର ୱେଫର ପୃଷ୍ଠରେ ସମାନ, ମୃଦୁ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବଣ୍ଟନ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଧାର ଚିହ୍ନକୁ ଦୂର କରେ ଏବଂ ପତଳା (≤100 μm) କିମ୍ବା ବିକୃତ ୱେଫର ପାଇଁ ଅଣ-ସଂଯୋଗ ସମର୍ଥନ ସକ୍ଷମ କରେ। SiC ସ୍ତର କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ (3.5×10⁻⁶/℃), 1000°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ମଧ୍ୟମ ନମନୀୟ ଶକ୍ତି (32-35 MPa) ପ୍ରଦାନ କରେ। ଧାତୁ ଆଧାର ଗଠନାତ୍ମକ କଠୋରତା, ଥ୍ରେଡେଡ୍ ହୋଲ୍ ମାଧ୍ୟମରେ ସହଜ ସ୍ଥାପନ ଏବଂ ଭଙ୍ଗୁର ଭ୍ୟାକ୍ଚର ବିରୁଦ୍ଧରେ ସୁରକ୍ଷା ଯୋଗ କରେ। ଏହି ଚକ୍ ପଛପାର୍ଶ୍ୱ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ, ଡାଇସିଂ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ଆଦର୍ଶ ଯେଉଁଠାରେ ସମାନ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଏବଂ ତାପଜ ସୁସଙ୍ଗତତା ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।
-
ଉଚ୍ଚ-ପବିତ୍ରତା ଆଲୁମିନା ସେରାମିକ୍ ପ୍ଲେଟ୍ - ଇନସୁଲେସନ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଫିକ୍ସଚର ପାଇଁ
ସେଣ୍ଟସେରାର ସିରାମିକ୍ ପ୍ଲେଟ୍ 99.8% ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଆଲୁମିନା (Al₂O₃) ରୁ ନିର୍ମିତ, ଏହା ଉଚ୍ଚ ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଶକ୍ତି (15×10⁶ V/m), 1600°C ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ପ୍ରଦାନ କରେ। ପ୍ଲେଟଗୁଡ଼ିକୁ 100 mm ଉପରେ ≤5 μm ସମତଳତା ଏବଂ ପୃଷ୍ଠର ରୁକ୍ଷତା Ra ≤0.4 μm ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ସଠିକତା ସହିତ ଲାପ୍ କରାଯାଇଛି। 1 mm ରୁ 20 mm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ମାନକ ଘନତା, 500×500 mm ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ କଷ୍ଟମ୍ ଆକାରରେ ଉପଲବ୍ଧ। ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଇନସୁଲେଟର, ହିଟର୍ ବେସ୍, ଚାମ୍ବର ଲାଇନର୍ ଏବଂ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚକ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
