-
ભૌતિક વરાળ ડિપોઝિશન સિસ્ટમ્સ માટે એલ્યુમિના પીવીડી ઇન્સ્યુલેશન રિંગ
સેન્ટ સેરાની PVD ઇન્સ્યુલેશન રિંગ 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના (Al₂O₃) માંથી બનાવવામાં આવે છે જે ભૌતિક વરાળ નિક્ષેપણ (PVD) સિસ્ટમોમાં ઉપયોગ માટે બનાવવામાં આવે છે. આ રિંગ ચેમ્બર ઘટકો વચ્ચે વિદ્યુત અલગતા પ્રદાન કરે છે, આર્કિંગ અટકાવે છે અને સ્થિર પ્લાઝ્મા કામગીરી સુનિશ્ચિત કરે છે. મુખ્ય ગુણધર્મોમાં ઉચ્ચ ડાઇલેક્ટ્રિક શક્તિ (15×10⁶ V/m), ચોક્કસ પ્રતિકાર >10¹⁴ Ω·mm²/m, અને 1600°C સુધી થર્મલ સ્થિરતા શામેલ છે. અમારી ચોકસાઇ મશીનિંગ ક્ષમતાઓ 600mm સુધી બાહ્ય વ્યાસ, 0.2mm સુધી આંતરિક વ્યાસ, 0.003mm ની સપાટતા અને સપાટી પૂર્ણાહુતિ Ra0.1 પ્રાપ્ત કરે છે. રિંગની શૂન્ય છિદ્રાળુતા અને રાસાયણિક જડતા આક્રમક સ્પટરિંગ વાતાવરણમાં લાંબા ગાળાની વિશ્વસનીયતા સુનિશ્ચિત કરે છે.
-
ઇ-ગન બાષ્પીભવન પ્રણાલીઓ માટે એલ્યુમિના સિરામિક ભાગો
સેન્ટ.સેરા ઉચ્ચ શુદ્ધતા 99.8% એલ્યુમિના સિરામિક ઘટકોનું ઉત્પાદન કરે છે જે ખાસ કરીને ઇલેક્ટ્રોન બીમ (ઇ-ગન) બાષ્પીભવન પ્રણાલીઓ માટે રચાયેલ છે. આ ભાગોમાં ક્રુસિબલ લાઇનર્સ, બીમ ડિફ્લેક્ટર શિલ્ડ, ઇન્સ્યુલેટર અને માઉન્ટિંગ ફિક્સરનો સમાવેશ થાય છે. આ સામગ્રી ઉચ્ચ ડાઇલેક્ટ્રિક શક્તિ (15×10⁶ V/m), 1600°C સુધી થર્મલ સ્થિરતા અને બાષ્પીભવન થયેલ સામગ્રીમાંથી થર્મલ આંચકા અને રાસાયણિક હુમલા માટે ઉત્તમ પ્રતિકાર પ્રદાન કરે છે. અમારી ચોકસાઇ મશીનિંગ ક્ષમતાઓ ન્યૂનતમ ફીચર કદ 0.2mm, સપાટતા 0.003mm અને સપાટી પૂર્ણાહુતિ Ra0.1 સાથે જટિલ ભૂમિતિ પ્રાપ્ત કરે છે. દરેક ભાગ પરિમાણીય ચોકસાઈ માટે 100% CMM દ્વારા તપાસવામાં આવે છે.
-
સેમિકન્ડક્ટર અને ઔદ્યોગિક ફિક્સ્ચર માટે મોટા ફોર્મેટ એલ્યુમિના સિરામિક પ્લેટ
સેન્ટ.સેરા 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના (Al₂O₃) માંથી મોટા-ફોર્મેટ સિરામિક પ્લેટોનું ઉત્પાદન કરે છે જેમાં મહત્તમ પરિમાણો 1500mm લંબાઈ અને 600mm પહોળાઈ સુધી હોય છે. અમારી ચોકસાઇ ગ્રાઇન્ડીંગ ક્ષમતાઓ 100mm ઉપર 0.003mm ની સપાટતા અને 0.002mm ની સમાંતરતા પ્રાપ્ત કરે છે, જે મોટા-ક્ષેત્રના કાર્યક્રમો માટે સુસંગત સપાટી ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરે છે. 100mm સુધી જાડાઈ, સપાટી પૂર્ણાહુતિ Ra0.1 સુધી. આ પ્લેટો સેમિકન્ડક્ટર, ડિસ્પ્લે અને ફોટોવોલ્ટેઇક ઉત્પાદનમાં વેક્યુમ ચક બેઝ, હીટર પ્લેટન્સ, ઇલેક્ટ્રિકલ ઇન્સ્યુલેશન પેનલ્સ અને પ્રોસેસ ચેમ્બર ફ્લોર તરીકે સેવા આપે છે. થ્રુ-હોલ્સ, કાઉન્ટરબોર્સ અને એજ પ્રોફાઇલિંગ ઉપલબ્ધ છે.
-
સીલિંગ, ઇન્સ્યુલેશન અને ફિક્સ્ચરિંગ માટે પ્રિસિઝન એલ્યુમિના સિરામિક રિંગ
સેન્ટ.સેરાની સિરામિક રિંગ 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના (Al₂O₃) થી ચોકસાઇથી મશિન કરવામાં આવે છે જેમાં ઉચ્ચ વસ્ત્રો પ્રતિકાર, વિદ્યુત ઇન્સ્યુલેશન અને 1600°C સુધી થર્મલ સ્થિરતાની જરૂર હોય તેવા એપ્લિકેશનો માટે ઉપયોગ થાય છે. અમારી ઉત્પાદન ક્ષમતાઓ 600mm સુધીના બાહ્ય વ્યાસ, 100mm સુધીની જાડાઈ અને 0.2mm જેટલા નાના આંતરિક વ્યાસ, 0.003mm ની સપાટતા, 0.002mm ની સમાંતરતા અને 0.01mm ની સાંદ્રતા સાથે સપોર્ટ કરે છે. સીલ રિંગ્સ, સ્પેસર રિંગ્સ, રિટેનિંગ રિંગ્સ અથવા કસ્ટમ પ્રોફાઇલ્સ તરીકે ઉપલબ્ધ છે. સામગ્રીની શૂન્ય છિદ્રાળુતા અને રાસાયણિક જડતા તેને આક્રમક રાસાયણિક અને પ્લાઝ્મા વાતાવરણ માટે યોગ્ય બનાવે છે.
-
ઉચ્ચ-તાપમાન અને કાટ લાગતા વાતાવરણ માટે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના સિરામિક ટ્યુબ
સેન્ટ.સેરાની સિરામિક ટ્યુબ 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના (Al₂O₃) માંથી બનાવવામાં આવે છે, જે 1600°C સુધી ઉત્તમ થર્મલ સ્થિરતા, ઉચ્ચ ડાઇલેક્ટ્રિક શક્તિ (15×10⁶ V/m), અને શ્રેષ્ઠ રાસાયણિક પ્રતિકાર પ્રદાન કરે છે. અમારી ચોકસાઇ મશીનિંગ ક્ષમતાઓ 0.2mm જેટલા નાના આંતરિક વ્યાસ, 600mm સુધી બાહ્ય વ્યાસ અને 1500mm સુધી લંબાઈ, 0.005mm ની સીધીતા, 0.01mm ની એકાગ્રતા અને Ra0.1 ની સપાટી પૂર્ણાહુતિ સાથે સક્ષમ બનાવે છે. ટ્યુબની શૂન્ય છિદ્રાળુતા (0% પાણી શોષણ) વેક્યુમ વાતાવરણમાં આઉટગેસિંગ અટકાવે છે, જે તેને સેમિકન્ડક્ટર ડિફ્યુઝન ફર્નેસ, થર્મોકપલ પ્રોટેક્શન અને રાસાયણિક પ્રક્રિયા માટે આદર્શ બનાવે છે. કસ્ટમ દિવાલ જાડાઈ અને અંતિમ રૂપરેખાંકનો (ફ્લેટ, ટેપર્ડ, ફ્લેંજ્ડ) ઉપલબ્ધ છે.
-
સેમિકન્ડક્ટર અને ઔદ્યોગિક સાધનો માટે કસ્ટમ એલ્યુમિના સિરામિક ભાગો
સેન્ટ.સેરા ગ્રાહકના ડ્રોઇંગ અનુસાર 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના (Al₂O₃) માંથી કસ્ટમ સિરામિક ભાગોનું ઉત્પાદન કરે છે. અમારી સુવિધા ચોકસાઇ ગ્રાઇન્ડીંગ મશીનો અને CNC મશીનિંગ કેન્દ્રોથી સજ્જ છે, જે ઉચ્ચ ચોકસાઇ સાથે જટિલ સિરામિક ઘટકોનું ઉત્પાદન સક્ષમ બનાવે છે. લાક્ષણિક ભાગોમાં ઇન્સ્યુલેટર, બેરિંગ બોલ, સીલ રિંગ્સ, બુશિંગ્સ, કસ્ટમ ફિક્સર અને જટિલ ભૂમિતિનો સમાવેશ થાય છે. અમારી ઉત્પાદન ક્ષમતાઓ સપોર્ટ કરે છે
-
ઉચ્ચ-તાપમાન ગેસ/પ્રવાહી ઇન્જેક્શન માટે એલ્યુમિના સિરામિક નોઝલ
સેન્ટ.સેરાની સિરામિક નોઝલ 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના (Al₂O₃) થી ચોકસાઇથી મશિન કરવામાં આવે છે, જે ઉચ્ચ વસ્ત્રો પ્રતિકાર (વિકર્સ 16 GPa), રાસાયણિક જડતા અને 1600°C સુધી થર્મલ સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે. અમારી ચોકસાઇ મશીનિંગ ક્ષમતાઓ 0.2mm જેટલો નાનો આંતરિક વ્યાસ, 0.005mm ની સીધીતા અને 0.01mm ની સાંદ્રતા પ્રાપ્ત કરે છે, જે સુસંગત પ્રવાહ અને ચોક્કસ પ્રવાહી/ગેસ વિતરણ સુનિશ્ચિત કરે છે. નોઝલમાં સપાટી પૂર્ણાહુતિ Ra0.1 સાથે સરળ આંતરિક બોર છે, જે પ્રવાહ પ્રતિકાર ઘટાડે છે અને અવરોધ ઘટાડે છે. ઓરિફિસ વ્યાસ 0.2mm થી 5.0mm સુધી છે, જેમાં સીધા, ટેપર્ડ અથવા મલ્ટી-ઓરિફિસ આઉટલેટ્સ સહિત કસ્ટમ ભૂમિતિઓ છે. દરેક નોઝલનું પરિમાણીય રીતે નિરીક્ષણ કરવામાં આવે છે અને પ્રવાહ એકરૂપતા માટે તપાસ કરવામાં આવે છે.
-
ચોકસાઇ લેપિંગ માટે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના સિરામિક ગ્રાઇન્ડીંગ પ્લેટ
સેન્ટ.સેરાની સિરામિક ગ્રાઇન્ડીંગ પ્લેટ 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના (Al₂O₃) માંથી ચોકસાઇ લેપિંગ અને ગ્રાઇન્ડીંગ એપ્લિકેશન્સ માટે બનાવવામાં આવે છે. અમારી ચોકસાઇ ગ્રાઇન્ડીંગ ક્ષમતા 0.003mm ની સપાટતા, 0.002mm ની સમાંતરતા અને Ra0.1 ની સપાટી પૂર્ણાહુતિ પ્રાપ્ત કરે છે, જે સમગ્ર પ્લેટ સપાટી પર એકસમાન સામગ્રી દૂર કરવાની ખાતરી આપે છે. પ્લેટ ઉત્તમ વસ્ત્રો પ્રતિકાર (વિકર્સ 16 GPa), ઉચ્ચ ફ્લેક્સરલ તાકાત (361 MPa), અને 800°C સુધી થર્મલ સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે. 600mm વ્યાસ સુધીના ગોળાકાર ફોર્મેટમાં અને 1500mm લંબાઈ સુધીના લંબચોરસ પ્લેટોમાં ઉપલબ્ધ છે. લેપિંગ પ્રક્રિયાઓમાં સ્લરી વિતરણ માટે ગ્રુવ્ડ સપાટીઓ (ગ્રુવ પહોળાઈ 0.5–2.0mm) ઉપલબ્ધ છે. દરેક પ્લેટનું લેસર ઇન્ટરફેરોમીટરથી નિરીક્ષણ કરવામાં આવે છે અને ચોકસાઇ માપન રિપોર્ટ પૂરો પાડવામાં આવે છે.
-
વેફર હેન્ડલિંગ રોબોટ્સ માટે ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર
સેન્ટ.સેરાનું એલ્યુમિના સિરામિક એન્ડ ઇફેક્ટર એ 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા Al₂O₃ થી અદ્યતન 5-અક્ષ CNC ગ્રાઇન્ડીંગ સાધનોનો ઉપયોગ કરીને ચોકસાઇથી મશિન કરવામાં આવે છે. અમારી ઉત્પાદન ક્ષમતાઓમાં ચોકસાઇ ગ્રાઇન્ડીંગ મશીનો અને CNC મશીનિંગ કેન્દ્રોનો સમાવેશ થાય છે, જે ઉચ્ચ ચોકસાઇ સાથે જટિલ ભૂમિતિઓને સક્ષમ કરે છે. એન્ડ ઇફેક્ટરમાં સરળ વેફર ઇન્સર્શન માટે ટેપર્ડ લીડિંગ એજ સાથે પાતળી પ્રોફાઇલ (1.5 મીમી જેટલી પાતળી) છે. આ સામગ્રી ઉચ્ચ કઠિનતા (યંગ્સ મોડ્યુલસ 380 GPa), ઉત્તમ વસ્ત્રો પ્રતિકાર અને 800°C સુધી થર્મલ સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે. દરેક યુનિટ 0.003mm ની સપાટતા, 0.002mm ની સમાંતરતા અને Ra0.1 ની સપાટી પૂર્ણાહુતિ પ્રાપ્ત કરવા માટે ચોકસાઇ ગ્રાઉન્ડ છે, જે સેમિકન્ડક્ટર FAB વાતાવરણમાં સુસંગત વેફર સંપર્ક અને કણ-મુક્ત કામગીરી સુનિશ્ચિત કરે છે. કસ્ટમ ટિપ ભૂમિતિ (એજ ગ્રિપ, બર્નૌલી, ફ્લેટ) અને OEM રોબોટ્સને ફિટ કરવા માટે માઉન્ટિંગ ફ્લેંજ્સ સાથે 150 મીમીથી 450 મીમી સુધીની લંબાઈમાં ઉપલબ્ધ છે. સપાટી પૂર્ણાહુતિના વિકલ્પોમાં લેપ્ડ, પોલિશ્ડ અથવા ESD ડિસીપેટિવ કોટિંગ (10⁶–10⁹ Ω/ચો.મી.)નો સમાવેશ થાય છે.
-
પ્રિસિઝન ડાઇસિંગ અને ગ્રાઇન્ડીંગ માટે એલ્યુમિના વેક્યુમ ચક
સેન્ટ.સેરાનું એલ્યુમિના વેક્યુમ ચક 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતાવાળા Al₂O₃ થી ચોકસાઇ-મશીનવાળા વેક્યુમ ગ્રુવ્સ સાથે બનાવવામાં આવે છે. અમારી ચોકસાઇ ગ્રાઇન્ડીંગ ક્ષમતા 0.003mm ની સપાટતા અને 0.002mm ની સમાંતરતા પ્રાપ્ત કરે છે, જે ડાયસિંગ, બેકસાઇડ ગ્રાઇન્ડીંગ અને નિરીક્ષણ દરમિયાન વાર્પ-મુક્ત વેફર ફિક્સેશન સુનિશ્ચિત કરે છે. આ સામગ્રી ઉચ્ચ ફ્લેક્સરલ તાકાત (361 MPa), કઠિનતા (16 GPa) અને 800°C સુધી થર્મલ સ્થિરતા પ્રદાન કરે છે. 600mm બાહ્ય વ્યાસ (OD) સુધીના ગોળાકાર ફોર્મેટમાં અને 1500mm લંબાઈ સુધીના લંબચોરસ આકારમાં ઉપલબ્ધ છે. ચોક્કસ પ્રક્રિયા આવશ્યકતાઓને અનુરૂપ વેક્યુમ ગ્રુવ્સ કસ્ટમ-ડિઝાઇન (કેન્દ્રિત, રેડિયલ અથવા ગ્રીડ પેટર્ન) છે. દરેક ચકનું લેસર ઇન્ટરફેરોમીટરથી નિરીક્ષણ કરવામાં આવે છે અને ફ્લેટનેસ ચકાસણી રિપોર્ટ આપવામાં આવે છે.
-
વાર્પ્ડ અને પાતળા વેફર હેન્ડલિંગ માટે મેટલ-બેક્ડ પોરસ SiC વેક્યુમ ચક
સેન્ટ.સેરાનું મેટલ આધારિત સિરામિક વેક્યુમ ચક છિદ્રાળુ સિલિકોન કાર્બાઇડ (SiC) સિરામિક સ્તરને ચોકસાઇ-મશીન મેટલ બેઝ (એલ્યુમિનિયમ અથવા સ્ટેનલેસ સ્ટીલ) સાથે જોડે છે. છિદ્રાળુ SiC સામગ્રી (વાદળી-કાળી, છિદ્રાળુતા 35-40%, છિદ્ર કદ 20-30 μm, અભેદ્યતા 60 ml/cm²·મિનિટ) સમગ્ર વેફર સપાટી પર એકસમાન, સૌમ્ય વેક્યુમ વિતરણ પૂરું પાડે છે, ધાર ચિહ્નિત થવાને દૂર કરે છે અને પાતળા (≤100 μm) અથવા વિકૃત વેફર્સ માટે બિન-સંપર્ક સપોર્ટને સક્ષમ કરે છે. SiC સ્તર નીચા થર્મલ વિસ્તરણ (3.5×10⁻⁶/℃), 1000°C સુધી થર્મલ સ્થિરતા અને મધ્યમ ફ્લેક્સરલ તાકાત (32-35 MPa) પ્રદાન કરે છે. મેટલ બેઝ માળખાકીય કઠોરતા, થ્રેડેડ છિદ્રો દ્વારા સરળ માઉન્ટિંગ અને બરડ ફ્રેક્ચર સામે રક્ષણ ઉમેરે છે. આ ચક બેકસાઇડ ગ્રાઇન્ડીંગ, ડાઇસિંગ અને ઉચ્ચ-તાપમાન વેફર પ્રોસેસિંગ માટે આદર્શ છે જ્યાં સમાન વેક્યુમ અને થર્મલ સુસંગતતા મહત્વપૂર્ણ છે.
-
ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના સિરામિક પ્લેટ - ઇન્સ્યુલેશન અને ઉચ્ચ-તાપમાન ફિક્સ્ચર માટે
સેન્ટ.સેરાની સિરામિક પ્લેટ 99.8% ઉચ્ચ-શુદ્ધતા એલ્યુમિના (Al₂O₃) માંથી બનાવવામાં આવે છે, જે ઉચ્ચ ડાઇલેક્ટ્રિક શક્તિ (15×10⁶ V/m), 1600°C સુધી થર્મલ સ્થિરતા અને ઉત્તમ વસ્ત્રો પ્રતિકાર પ્રદાન કરે છે. પ્લેટોને 100 મીમી ઉપર ≤5 μm સપાટતા અને સપાટીની ખરબચડી Ra ≤0.4 μm પ્રાપ્ત કરવા માટે ચોકસાઇથી લેપ કરવામાં આવે છે. 1 મીમી થી 20 મીમી સુધીની પ્રમાણભૂત જાડાઈ, 500×500 મીમી સુધીના કસ્ટમ કદમાં ઉપલબ્ધ છે. ઇલેક્ટ્રિકલ ઇન્સ્યુલેટર, હીટર બેઝ, ચેમ્બર લાઇનર્સ અને વેક્યુમ ચક સબસ્ટ્રેટ તરીકે ઉપયોગમાં લેવાય છે.
