-
Alumina PVD-isolasjonsring for fysiske dampavsetningssystemer
St.Ceras PVD-isolasjonsring er produsert av 99,8 % høyrens aluminiumoksyd (Al₂O₃) for bruk i fysiske dampavsetningssystemer (PVD). Ringen gir elektrisk isolasjon mellom kammerkomponenter, forhindrer lysbuedannelse og sikrer stabil plasmadrift. Viktige egenskaper inkluderer høy dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m), spesifikk motstand >10¹⁴ Ω·mm²/m og termisk stabilitet opptil 1600 °C. Våre presisjonsbearbeidingsmuligheter oppnår ytre diametre opptil 600 mm, indre diametre ned til 0,2 mm, flathet på 0,003 mm og overflatefinish Ra0,1. Ringens null porøsitet og kjemiske inertitet sikrer langsiktig pålitelighet i aggressive sputtermiljøer.
-
Alumina keramiske deler for E-Gun fordampningssystemer
St.Cera produserer keramiske komponenter med høy renhet av 99,8 % alumina, spesielt utviklet for elektronstrålefordampningssystemer (E-gun). Disse delene inkluderer digelforinger, stråleavbøyningsskjold, isolatorer og monteringsarmaturer. Materialet tilbyr høy dielektrisk styrke (15 × 10⁶ V/m), termisk stabilitet opptil 1600 °C og utmerket motstand mot termisk sjokk og kjemisk angrep fra fordampede materialer. Våre presisjonsmaskineringsmuligheter oppnår komplekse geometrier med minimumsstørrelse på 0,2 mm, flathet 0,003 mm og overflatefinish Ra0,1. Hver del er 100 % CMM-inspisert for dimensjonsnøyaktighet.
-
Storformat aluminiumoksid keramisk plate for halvleder- og industrielle armaturer
St.Cera produserer keramiske plater i storformat av 99,8 % høyrens aluminiumoksyd (Al₂O₃) med maksimale dimensjoner opptil 1500 mm i lengde og 600 mm i bredde. Våre presisjonsslipeegenskaper oppnår en flathet på 0,003 mm over 100 mm og en parallellitet på 0,002 mm, noe som sikrer jevn overflatekvalitet for store applikasjoner. Tykkelse opptil 100 mm, overflatefinish ned til Ra0,1. Disse platene fungerer som vakuumchuckbaser, varmeplater, elektriske isolasjonspaneler og prosesskammergulv i halvleder-, display- og solcelleproduksjon. Gjennomgående hull, forsenkninger og kantprofilering er tilgjengelig.
-
Presisjonsalumina keramisk ring for tetting, isolasjon og feste
St.Ceras keramiske ring er presisjonsmaskinert fra 99,8 % høyrens aluminiumoksyd (Al₂O₃) for applikasjoner som krever høy slitestyrke, elektrisk isolasjon og termisk stabilitet opptil 1600 °C. Våre produksjonsmuligheter støtter ytre diametre opptil 600 mm, tykkelse opptil 100 mm og indre diametre så små som 0,2 mm, med en flathet på 0,003 mm, en parallellitet på 0,002 mm og en konsentrisitet på 0,01 mm. Tilgjengelig som tetningsringer, avstandsringer, låseringer eller tilpassede profiler. Materialets null porøsitet og kjemiske inertitet gjør det egnet for aggressive kjemiske og plasmamiljøer.
-
Høyrent keramisk rør av alumina for høytemperatur- og korrosive miljøer
St.Ceras keramiske rør er produsert av 99,8 % høyrens aluminiumoksyd (Al₂O₃), og tilbyr utmerket termisk stabilitet opptil 1600 °C, høy dielektrisk styrke (15 × 10⁶ V/m) og overlegen kjemisk motstand. Våre presisjonsbearbeidingsmuligheter muliggjør indre diametre så små som 0,2 mm, ytre diametre opptil 600 mm og lengder opptil 1500 mm, med en retthet på 0,005 mm, en konsentrisitet på 0,01 mm og en overflatefinish på Ra0,1. Rørets null porøsitet (0 % vannabsorpsjon) forhindrer utgassing i vakuummiljøer, noe som gjør det ideelt for halvlederdiffusjonsovner, termoelementbeskyttelse og kjemisk prosessering. Tilpassede veggtykkelser og endekonfigurasjoner (flat, konisk, flenset) er tilgjengelige.
-
Tilpassede keramiske deler av alumina for halvledere og industrielt utstyr
St.Cera produserer spesialtilpassede keramiske deler av 99,8 % høyrens alumina (Al₂O₃) i henhold til kundens tegninger. Anlegget vårt er utstyrt med presisjonsslipemaskiner og CNC-maskineringssentre, noe som muliggjør produksjon av komplekse keramiske komponenter med høy presisjon. Typiske deler inkluderer isolatorer, lagerkuler, tetningsringer, foringer, spesialtilpassede beslag og komplekse geometrier. Våre produksjonsmuligheter støtter
-
Alumina keramisk dyse for høytemperatur gass-/væskeinjeksjon
St.Ceras keramiske dyse er presisjonsmaskinert av 99,8 % høyrens alumina (Al₂O₃), og tilbyr høy slitestyrke (Vickers 16 GPa), kjemisk inertitet og termisk stabilitet opptil 1600 °C. Våre presisjonsmaskineringsegenskaper oppnår en indre diameter så liten som 0,2 mm, med en retthet på 0,005 mm og en konsentrisitet på 0,01 mm, noe som sikrer jevn strømning og presis væske-/gassfordeling. Dysen har en glatt indre boring med overflatefinish Ra0.1, noe som minimerer strømningsmotstand og reduserer tilstopping. Dysediametre fra 0,2 mm til 5,0 mm, med tilpassede geometrier, inkludert rette, koniske eller flerdysede utløp. Hver dyse inspiseres dimensjonalt og kontrolleres for strømningsjevnhet.
-
Høyrenhets keramisk slipeplate av aluminiumoksid for presisjonslapping
St.Ceras keramiske slipeplate er produsert av 99,8 % høyrens aluminiumoksyd (Al₂O₃) for presisjonssliping og sliping. Vår presisjonsslipekapasitet oppnår en flathet på 0,003 mm, en parallellitet på 0,002 mm og en overflatefinish på Ra0,1, noe som sikrer jevn materialfjerning over hele plateoverflaten. Platen tilbyr utmerket slitestyrke (Vickers 16 GPa), høy bøyestyrke (361 MPa) og termisk stabilitet opptil 800 °C. Tilgjengelig i runde formater opptil 600 mm diameter og rektangulære plater opptil 1500 mm lengde. Rillede overflater (rillebredde 0,5–2,0 mm) er tilgjengelige for slamfordeling i lappeprosesser. Hver plate inspiseres med laserinterferometer og leveres med en presisjonsmålerapport.
-
Keramisk endeeffektor av høyrent aluminiumoksid for waferhåndteringsroboter
St.Ceras endeeffektor av alumina-keramikk er presisjonsmaskinert fra 99,8 % høyrenhets Al₂O₃ ved hjelp av avansert 5-akset CNC-slipeutstyr. Våre produksjonsmuligheter inkluderer presisjonsslipemaskiner og CNC-maskineringssentre, noe som muliggjør komplekse geometrier med høy presisjon. Endeeffektoren har en tynn profil (så tynn som 1,5 mm) med en konisk forkant for jevn waferinnsetting. Materialet gir høy stivhet (Youngs modulus 380 GPa), utmerket slitestyrke og termisk stabilitet opptil 800 °C. Hver enhet er presisjonsslipt for å oppnå en flathet på 0,003 mm, en parallellitet på 0,002 mm og en overflatefinish på Ra0,1, noe som sikrer jevn waferkontakt og partikkelfri drift i halvleder-FAB-miljøer. Tilgjengelig i lengder fra 150 mm til 450 mm, med tilpassede spissgeometrier (kantgrep, Bernoulli, flat) og monteringsflenser for å passe OEM-roboter. Overflatebehandlingsalternativene inkluderer overlappende, polert eller ESD-avledende belegg (10⁶–10⁹ Ω/kvadrat).
-
Alumina vakuumchuck for presisjonsskjæring og sliping
St.Ceras vakuumchuck av alumina er produsert av 99,8 % høyrens Al₂O₃ med presisjonsmaskinerte vakuumriller. Vår presisjonsslipekapasitet oppnår en flathet på 0,003 mm og en parallellitet på 0,002 mm, noe som sikrer vridningsfri waferfiksering under terning, baksidesliping og inspeksjon. Materialet har høy bøyestyrke (361 MPa), hardhet (16 GPa) og termisk stabilitet opptil 800 °C. Tilgjengelig i runde formater opptil 600 mm ytre diameter (OD) og rektangulære former opptil 1500 mm lengde. Vakuumriller er spesialdesignet (konsentriske, radiale eller rutemønstre) for å passe spesifikke prosesskrav. Hver chuck inspiseres med laserinterferometer og leveres med en flathetsverifiseringsrapport.
-
Metallbakket porøs SiC-vakuumchuck for håndtering av skjeve og tynne skiver
St.Ceras metallbaserte keramiske vakuumchuck kombinerer et porøst silisiumkarbid (SiC) keramisk lag med en presisjonsmaskinert metallbase (aluminium eller rustfritt stål). Det porøse SiC-materialet (blåsvart, porøsitet 35–40 %, porestørrelse 20–30 μm, permeabilitet 60 ml/cm²·min) gir jevn og skånsom vakuumfordeling over hele waferoverflaten, eliminerer kantmerking og muliggjør berøringsfri støtte for tynne (≤100 μm) eller skjeve wafere. SiC-laget gir lav termisk ekspansjon (3,5 × 10⁻⁶/℃), termisk stabilitet opptil 1000 °C og moderat bøyestyrke (32–35 MPa). Metallbasen gir strukturell stivhet, enkel montering via gjengede hull og beskyttelse mot sprøbrudd. Denne chucken er ideell for baksidesliping, terningbehandling og høytemperatur-waferbehandling der jevn vakuum- og termisk kompatibilitet er avgjørende.
-
Høyrenhets keramisk aluminiumoksidplate – for isolasjon og høytemperaturarmaturer
St.Ceras keramiske plate er produsert av 99,8 % høyrens aluminiumoksyd (Al₂O₃), som gir høy dielektrisk styrke (15×10⁶ V/m), termisk stabilitet opptil 1600 °C og utmerket slitestyrke. Platene er presisjonssleppet for å oppnå en flathet ≤5 μm over 100 mm og en overflateruhet Ra ≤0,4 μm. Tilgjengelig i standardtykkelser fra 1 mm til 20 mm, tilpassede størrelser opptil 500×500 mm. Brukes som elektriske isolatorer, varmebaser, kammerforinger og vakuumchucksubstrater.
