-
ఫిజికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ సిస్టమ్స్ కోసం అల్యూమినా PVD ఇన్సులేషన్ రింగ్
సెయింట్ సెరా యొక్క PVD ఇన్సులేషన్ రింగ్, ఫిజికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ (PVD) సిస్టమ్స్‌లో ఉపయోగం కోసం 99.8% అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃) నుండి తయారు చేయబడింది. ఈ రింగ్ ఛాంబర్ భాగాల మధ్య విద్యుత్ ఐసోలేషన్‌ను అందిస్తుంది, ఆర్కింగ్‌ను నివారిస్తుంది మరియు స్థిరమైన ప్లాస్మా ఆపరేషన్‌ను నిర్ధారిస్తుంది. దీని ముఖ్య లక్షణాలలో అధిక డైఎలెక్ట్రిక్ స్ట్రెంగ్త్ (15×10⁶ V/m), నిర్దిష్ట నిరోధకత >10¹⁴ Ω·mm²/m, మరియు 1600°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వం ఉన్నాయి. మా ప్రెసిషన్ మెషీనింగ్ సామర్థ్యాలు 600mm వరకు బయటి వ్యాసాలను, 0.2mm వరకు లోపలి వ్యాసాలను, 0.003mm ఫ్లాట్‌నెస్‌ను మరియు Ra0.1 సర్ఫేస్ ఫినిష్‌ను సాధిస్తాయి. ఈ రింగ్ యొక్క జీరో పోరోసిటీ మరియు రసాయన జడత్వం, తీవ్రమైన స్పుటరింగ్ వాతావరణాలలో దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తాయి.
-
ఇ-గన్ బాష్పీభవన వ్యవస్థల కోసం అల్యూమినా సిరామిక్ భాగాలు
సెయింట్ సెరా, ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ (E-గన్) ఎవాపరేషన్ సిస్టమ్‌ల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించిన అధిక స్వచ్ఛత గల 99.8% అల్యూమినా సిరామిక్ భాగాలను తయారు చేస్తుంది. ఈ భాగాలలో క్రూసిబుల్ లైనర్లు, బీమ్ డిఫ్లెక్టర్ షీల్డ్‌లు, ఇన్సులేటర్లు మరియు మౌంటింగ్ ఫిక్చర్‌లు ఉన్నాయి. ఈ మెటీరియల్ అధిక డైఎలెక్ట్రిక్ స్ట్రెంగ్త్ (15×10⁶ V/m), 1600°C వరకు థర్మల్ స్టెబిలిటీ, మరియు ఆవిరైన పదార్థాల నుండి వచ్చే థర్మల్ షాక్ మరియు రసాయన దాడికి అద్భుతమైన నిరోధకతను అందిస్తుంది. మా ప్రెసిషన్ మెషీనింగ్ సామర్థ్యాలు, కనిష్ట ఫీచర్ సైజు 0.2mm, ఫ్లాట్‌నెస్ 0.003mm, మరియు సర్ఫేస్ ఫినిష్ Ra0.1తో సంక్లిష్టమైన జామెట్రీలను సాధిస్తాయి. ప్రతి భాగం డైమెన్షనల్ కచ్చితత్వం కోసం 100% CMM ద్వారా తనిఖీ చేయబడుతుంది.
-
సెమీకండక్టర్ & పారిశ్రామిక ఫిక్చర్‌ల కోసం పెద్ద-ఫార్మాట్ అల్యూమినా సిరామిక్ ప్లేట్
సెయింట్ సెరా 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃) నుండి, గరిష్టంగా 1500mm పొడవు మరియు 600mm వెడల్పు వరకు ఉండే పెద్ద-ఫార్మాట్ సిరామిక్ ప్లేట్లను తయారు చేస్తుంది. మా ఖచ్చితమైన గ్రైండింగ్ సామర్థ్యాలు 100mm పొడవున 0.003mm సమతలాన్ని మరియు 0.002mm సమాంతరతను సాధిస్తాయి, తద్వారా పెద్ద-ప్రాంత అనువర్తనాల కోసం స్థిరమైన ఉపరితల నాణ్యతను నిర్ధారిస్తాయి. 100mm వరకు మందం, Ra0.1 వరకు ఉపరితల ఫినిషింగ్. ఈ ప్లేట్లు సెమీకండక్టర్, డిస్‌ప్లే మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్ తయారీలో వాక్యూమ్ చక్ బేస్‌లు, హీటర్ ప్లేటెన్‌లు, ఎలక్ట్రికల్ ఇన్సులేషన్ ప్యానెల్‌లు మరియు ప్రాసెస్ ఛాంబర్ ఫ్లోర్‌లుగా ఉపయోగపడతాయి. త్రూ-హోల్స్, కౌంటర్‌బోర్‌లు మరియు ఎడ్జ్ ప్రొఫైలింగ్ అందుబాటులో ఉన్నాయి.
-
సీలింగ్, ఇన్సులేషన్ & ఫిక్చరింగ్ కోసం ప్రెసిషన్ అల్యూమినా సిరామిక్ రింగ్
సెయింట్ సెరా వారి సిరామిక్ రింగ్, అధిక అరుగుదల నిరోధకత, విద్యుత్ ఇన్సులేషన్, మరియు 1600°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వం అవసరమయ్యే అనువర్తనాల కోసం 99.8% అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃) నుండి ఖచ్చితత్వంతో యంత్రం ద్వారా తయారు చేయబడింది. మా తయారీ సామర్థ్యాలు 600mm వరకు బాహ్య వ్యాసాలు, 100mm వరకు మందం, మరియు 0.2mm అంత చిన్న అంతర్గత వ్యాసాలకు మద్దతు ఇస్తాయి. దీని ఫ్లాట్‌నెస్ 0.003mm, సమాంతరత 0.002mm, మరియు ఏకకేంద్రత 0.01mmగా ఉంటాయి. ఇవి సీల్ రింగులు, స్పేసర్ రింగులు, రిటైనింగ్ రింగులు, లేదా కస్టమ్ ప్రొఫైల్స్‌గా అందుబాటులో ఉన్నాయి. ఈ పదార్థం యొక్క శూన్య సచ్ఛిద్రత మరియు రసాయన జడత్వం దీనిని తీవ్రమైన రసాయన మరియు ప్లాస్మా వాతావరణాలకు అనువుగా చేస్తాయి.
-
అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు క్షయకారక వాతావరణాల కోసం అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా సిరామిక్ ట్యూబ్
సెయింట్ సెరా యొక్క సిరామిక్ ట్యూబ్ 99.8% అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃) నుండి తయారు చేయబడింది, ఇది 1600°C వరకు అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, అధిక డైఎలెక్ట్రిక్ బలం (15×10⁶ V/m), మరియు ఉన్నతమైన రసాయన నిరోధకతను అందిస్తుంది. మా ఖచ్చితమైన మెషీనింగ్ సామర్థ్యాల వల్ల 0.2mm అంత చిన్న లోపలి వ్యాసాలు, 600mm వరకు బయటి వ్యాసాలు, మరియు 1500mm వరకు పొడవులను, 0.005mm స్ట్రెయిట్‌నెస్, 0.01mm కాన్‌సెంట్రిసిటీ, మరియు Ra0.1 సర్ఫేస్ ఫినిష్‌తో తయారు చేయడం సాధ్యమవుతుంది. ఈ ట్యూబ్ యొక్క జీరో పోరోసిటీ (0% నీటి శోషణ) వాక్యూమ్ వాతావరణంలో అవుట్‌గాసింగ్‌ను నిరోధిస్తుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ డిఫ్యూజన్ ఫర్నేసులు, థర్మోకపుల్ రక్షణ, మరియు రసాయన ప్రాసెసింగ్‌కు ఆదర్శంగా నిలుస్తుంది. కస్టమ్ గోడ మందాలు మరియు ఎండ్ కాన్ఫిగరేషన్‌లు (ఫ్లాట్, టేపర్డ్, ఫ్లాంజ్డ్) అందుబాటులో ఉన్నాయి.
-
సెమీకండక్టర్ & పారిశ్రామిక పరికరాల కోసం కస్టమ్ అల్యూమినా సిరామిక్ భాగాలు
సెయింట్ సెరా, కస్టమర్ డ్రాయింగ్‌ల ప్రకారం 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃) నుండి కస్టమ్ సిరామిక్ భాగాలను తయారు చేస్తుంది. మా ఫెసిలిటీలో ప్రెసిషన్ గ్రైండింగ్ మెషీన్లు మరియు CNC మెషీనింగ్ సెంటర్లు ఉన్నాయి, ఇవి సంక్లిష్టమైన సిరామిక్ భాగాలను అధిక కచ్చితత్వంతో ఉత్పత్తి చేయడానికి వీలు కల్పిస్తాయి. సాధారణ భాగాలలో ఇన్సులేటర్లు, బేరింగ్ బాల్స్, సీల్ రింగ్‌లు, బుషింగ్‌లు, కస్టమ్ ఫిక్చర్‌లు మరియు సంక్లిష్టమైన జామెట్రీలు ఉంటాయి. మా తయారీ సామర్థ్యాలు మద్దతు ఇస్తాయి
-
అధిక-ఉష్ణోగ్రత గ్యాస్/ద్రవ ఇంజెక్షన్ కోసం అల్యూమినా సిరామిక్ నాజిల్
సెయింట్ సెరా యొక్క సిరామిక్ నాజిల్ 99.8% అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃) నుండి ఖచ్చితత్వంతో యంత్రం చేయబడింది, ఇది అధిక అరుగుదల నిరోధకత (వికర్స్ 16 GPa), రసాయన జడత్వం మరియు 1600°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. మా ఖచ్చితత్వ యంత్ర సామర్థ్యాలు 0.2mm అంత చిన్న లోపలి వ్యాసాన్ని, 0.005mm సరళతను మరియు 0.01mm ఏకకేంద్రతను సాధిస్తాయి, ఇది స్థిరమైన ప్రవాహాన్ని మరియు ఖచ్చితమైన ద్రవ/వాయు పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది. ఈ నాజిల్ Ra0.1 ఉపరితల ముగింపుతో నునుపైన లోపలి బోర్‌ను కలిగి ఉంటుంది, ఇది ప్రవాహ నిరోధకతను మరియు అడ్డంకులను తగ్గిస్తుంది. 0.2mm నుండి 5.0mm వరకు రంధ్రాల వ్యాసాలు, సరళమైన, టేపర్డ్ లేదా బహుళ-రంధ్రాల అవుట్‌లెట్‌లతో సహా అనుకూల జ్యామితులతో లభిస్తాయి. ప్రతి నాజిల్ కొలతల పరంగా తనిఖీ చేయబడుతుంది మరియు ప్రవాహ ఏకరూపత కోసం తనిఖీ చేయబడుతుంది.
-
ఖచ్చితమైన లాపింగ్ కోసం అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా సిరామిక్ గ్రైండింగ్ ప్లేట్
సెయింట్ సెరా వారి సిరామిక్ గ్రైండింగ్ ప్లేట్, ఖచ్చితమైన లాపింగ్ మరియు గ్రైండింగ్ అనువర్తనాల కోసం 99.8% అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃) నుండి తయారు చేయబడింది. మా ఖచ్చితమైన గ్రైండింగ్ సామర్థ్యం 0.003 మి.మీ. సమతలాన్ని, 0.002 మి.మీ. సమాంతరతను, మరియు Ra0.1 ఉపరితల ముగింపును సాధిస్తుంది, ఇది ప్లేట్ ఉపరితలం అంతటా ఏకరీతిగా పదార్థం తొలగింపును నిర్ధారిస్తుంది. ఈ ప్లేట్ అద్భుతమైన అరుగుదల నిరోధకతను (వికర్స్ 16 GPa), అధిక వంగుడు బలాన్ని (361 MPa), మరియు 800°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. 600 మి.మీ. వ్యాసం వరకు గుండ్రని ఆకారాలలో మరియు 1500 మి.మీ. పొడవు వరకు దీర్ఘచతురస్రాకార ప్లేట్లుగా అందుబాటులో ఉన్నాయి. లాపింగ్ ప్రక్రియలలో స్లర్రీ పంపిణీ కోసం గాడిగల ఉపరితలాలు (గాడి వెడల్పు 0.5–2.0 మి.మీ.) అందుబాటులో ఉన్నాయి. ప్రతి ప్లేట్ లేజర్ ఇంటర్‌ఫెరోమీటర్‌తో తనిఖీ చేయబడుతుంది మరియు ఖచ్చితమైన కొలత నివేదికతో సరఫరా చేయబడుతుంది.
-
వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ రోబోట్‌ల కోసం అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్
సెయింట్ సెరా వారి అల్యూమినా సిరామిక్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్, అధునాతన 5-యాక్సిస్ CNC గ్రైండింగ్ పరికరాలను ఉపయోగించి, 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల Al₂O₃ నుండి అత్యంత కచ్చితత్వంతో మెషిన్ చేయబడింది. మా తయారీ సామర్థ్యాలలో ప్రెసిషన్ గ్రైండింగ్ మెషీన్లు మరియు CNC మెషీనింగ్ సెంటర్లు ఉన్నాయి, ఇవి అధిక కచ్చితత్వంతో సంక్లిష్టమైన జ్యామితులను రూపొందించడానికి వీలు కల్పిస్తాయి. ఈ ఎండ్ ఎఫెక్టర్, వేఫర్‌ను సులభంగా చొప్పించడం కోసం, టేపర్డ్ లీడింగ్ ఎడ్జ్‌తో కూడిన పలుచని ప్రొఫైల్‌ను (1.5 మి.మీ. అంత పలుచగా) కలిగి ఉంటుంది. ఈ మెటీరియల్ అధిక దృఢత్వాన్ని (యంగ్స్ మాడ్యులస్ 380 GPa), అద్భుతమైన అరుగుదల నిరోధకతను మరియు 800°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. ప్రతి యూనిట్ 0.003 మి.మీ. ఫ్లాట్‌నెస్, 0.002 మి.మీ. పారలలిజం మరియు Ra0.1 సర్ఫేస్ ఫినిష్‌ను సాధించడానికి అత్యంత కచ్చితత్వంతో గ్రైండ్ చేయబడుతుంది. ఇది సెమీకండక్టర్ FAB వాతావరణాలలో స్థిరమైన వేఫర్ కాంటాక్ట్ మరియు కణ-రహిత ఆపరేషన్‌ను నిర్ధారిస్తుంది. ఇది 150 మి.మీ. నుండి 450 మి.మీ. పొడవులలో, కస్టమ్ టిప్ జ్యామితులు (ఎడ్జ్ గ్రిప్, బెర్నౌలీ, ఫ్లాట్) మరియు OEM రోబోట్‌లకు సరిపోయేలా మౌంటింగ్ ఫ్లాంజ్‌లతో అందుబాటులో ఉంది. ఉపరితల ముగింపు ఎంపికలలో లాప్డ్, పాలిష్డ్, లేదా ESD డిస్సిపేటివ్ కోటింగ్ (10⁶–10⁹ Ω/sq) ఉన్నాయి.
-
ఖచ్చితమైన ముక్కలుగా కోయడం & రుబ్బడం కోసం అల్యూమినా వాక్యూమ్ చక్
సెయింట్ సెరా యొక్క అల్యూమినా వాక్యూమ్ చక్, 99.8% అధిక స్వచ్ఛత గల Al₂O₃తో, ఖచ్చితత్వంతో మెషిన్ చేయబడిన వాక్యూమ్ గ్రూవ్‌లతో తయారు చేయబడింది. మా ఖచ్చితత్వ గ్రైండింగ్ సామర్థ్యం 0.003mm సమతలాన్ని మరియు 0.002mm సమాంతరతను సాధిస్తుంది, ఇది డైసింగ్, బ్యాక్‌సైడ్ గ్రైండింగ్ మరియు తనిఖీ సమయంలో వేఫర్ వంగిపోకుండా స్థిరంగా ఉండేలా నిర్ధారిస్తుంది. ఈ మెటీరియల్ అధిక వంగుడు బలాన్ని (361 MPa), కాఠిన్యాన్ని (16 GPa) మరియు 800°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. 600mm వెలుపలి వ్యాసం (OD) వరకు గుండ్రని ఆకారాలలో మరియు 1500mm పొడవు వరకు దీర్ఘచతురస్రాకార ఆకృతులలో ఇది అందుబాటులో ఉంది. నిర్దిష్ట ప్రక్రియ అవసరాలకు అనుగుణంగా వాక్యూమ్ గ్రూవ్‌లు కస్టమ్-డిజైన్ చేయబడతాయి (కేంద్రీయ, రేడియల్ లేదా గ్రిడ్ నమూనాలలో). ప్రతి చక్ లేజర్ ఇంటర్‌ఫెరోమీటర్‌తో తనిఖీ చేయబడుతుంది మరియు సమతలం ధృవీకరణ నివేదికతో సరఫరా చేయబడుతుంది.
-
వంగిన & పలుచని వేఫర్ నిర్వహణ కోసం మెటల్-బ్యాక్డ్ పోరస్ SiC వాక్యూమ్ చక్
సెయింట్ సెరా యొక్క మెటల్ ఆధారిత సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్, పోరస్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ పొరను, ఖచ్చితంగా మెషిన్ చేయబడిన మెటల్ బేస్ (అల్యూమినియం లేదా స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్)తో మిళితం చేస్తుంది. పోరస్ SiC మెటీరియల్ (నీలం-నలుపు, పోరోసిటీ 35–40%, పోర్ సైజు 20–30 μm, పర్మియబిలిటీ 60 ml/cm²·min) మొత్తం వేఫర్ ఉపరితలం అంతటా ఏకరీతిగా, సున్నితమైన వాక్యూమ్ పంపిణీని అందిస్తుంది. ఇది అంచులపై గుర్తులను తొలగిస్తుంది మరియు పలుచని (≤100 μm) లేదా వంగిన వేఫర్‌లకు నాన్-కాంటాక్ట్ సపోర్ట్‌ను అందిస్తుంది. SiC పొర తక్కువ ఉష్ణ వ్యాకోచం (3.5×10⁻⁶/℃), 1000°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు మధ్యస్థ ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంగ్త్ (32–35 MPa) అందిస్తుంది. మెటల్ బేస్ నిర్మాణ దృఢత్వాన్ని, థ్రెడ్ రంధ్రాల ద్వారా సులభమైన మౌంటింగ్‌ను మరియు పెళుసు పగుళ్ల నుండి రక్షణను అందిస్తుంది. ఏకరీతి వాక్యూమ్ మరియు ఉష్ణ అనుకూలత అత్యంత కీలకమైన బ్యాక్‌సైడ్ గ్రైండింగ్, డైసింగ్ మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ వంటి పనులకు ఈ చక్ చాలా అనువైనది.
-
అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా సిరామిక్ ప్లేట్ – ఇన్సులేషన్ మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఫిక్చర్‌ల కోసం
సెయింట్ సెరా యొక్క సిరామిక్ ప్లేట్ 99.8% అధిక-స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా (Al₂O₃) నుండి తయారు చేయబడింది, ఇది అధిక డైఎలెక్ట్రిక్ బలం (15×10⁶ V/m), 1600°C వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు అద్భుతమైన అరుగుదల నిరోధకతను అందిస్తుంది. 100 మిమీ పొడవున ≤5 μm సమతలం మరియు Ra ≤0.4 μm ఉపరితల గరుకుదనాన్ని సాధించడానికి ప్లేట్లు ఖచ్చితంగా లాప్ చేయబడతాయి. 1 మిమీ నుండి 20 మిమీ వరకు ప్రామాణిక మందాలలో, 500×500 మిమీ వరకు కస్టమ్ సైజులలో లభిస్తాయి. వీటిని ఎలక్ట్రికల్ ఇన్సులేటర్లు, హీటర్ బేస్‌లు, ఛాంబర్ లైనర్లు మరియు వాక్యూమ్ చక్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లుగా ఉపయోగిస్తారు.
