-
Aliuminio oksido PVD izoliacinis žiedas fizikinio garinimo nusodinimo sistemoms
„St.Cera“ PVD izoliacinis žiedas pagamintas iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), skirtas naudoti fizikinio garinimo (PVD) sistemose. Žiedas užtikrina elektrinę izoliaciją tarp kameros komponentų, apsaugo nuo kibirkščių susidarymo ir užtikrina stabilų plazmos veikimą. Pagrindinės savybės apima didelį dielektrinį stiprumą (15 × 10⁶ V/m), savitąją varžą >10¹⁴ Ω·mm²/m ir terminį stabilumą iki 1600 °C. Mūsų tikslaus apdirbimo galimybės leidžia pasiekti iki 600 mm išorinius skersmenis, iki 0,2 mm vidinius skersmenis, 0,003 mm plokštumą ir Ra0,1 paviršiaus apdailą. Žiedo nulinis poringumas ir cheminis inertiškumas užtikrina ilgalaikį patikimumą agresyvioje dulkinimo aplinkoje.
-
Aliuminio oksido keraminės dalys elektroninių pistoletų garinimo sistemoms
„St.Cera“ gamina didelio grynumo (99,8 % aliuminio oksido) keramikos komponentus, specialiai sukurtus elektronų pluošto (E-gun) garinimo sistemoms. Šios dalys apima tiglio įdėklus, pluošto deflektoriaus skydus, izoliatorius ir tvirtinimo detales. Medžiaga pasižymi dideliu dielektriniu stiprumu (15 × 10⁶ V/m), terminiu stabilumu iki 1600 °C ir puikiu atsparumu terminiam smūgiui bei cheminiam poveikiui, kurį sukelia garinamos medžiagos. Mūsų tikslaus apdirbimo galimybės leidžia pasiekti sudėtingas geometrijas, kurių minimalus detalių dydis yra 0,2 mm, plokštumas – 0,003 mm, o paviršiaus apdailos laipsnis – Ra0,1. Kiekviena detalė yra 100 % patikrinta KMM, siekiant nustatyti matmenų tikslumą.
-
Didelio formato aliuminio oksido keraminė plokštė puslaidininkiniams ir pramoniniams įrenginiams
„St.Cera“ gamina didelio formato keramines plokštes iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), kurių maksimalūs matmenys siekia iki 1500 mm ilgio ir 600 mm pločio. Mūsų tikslaus šlifavimo galimybės užtikrina 0,003 mm lygumą 100 mm atkarpoje ir 0,002 mm lygiagretumą, užtikrinant pastovią paviršiaus kokybę dideliems plotams apdirbti. Storis iki 100 mm, paviršiaus apdaila iki Ra0,1. Šios plokštės naudojamos kaip vakuuminių griebtuvų pagrindai, kaitinimo plokštės, elektros izoliacijos plokštės ir procesų kamerų grindys puslaidininkių, ekranų ir fotovoltinių elementų gamyboje. Galimos kiauryminės kiaurymės, išgręžtos angos ir briaunų profiliavimas.
-
Tikslus aliuminio oksido keraminis žiedas sandarinimui, izoliacijai ir tvirtinimui
„St.Cera“ keraminis žiedas yra tiksliai pagamintas iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), skirtas naudoti ten, kur reikalingas didelis atsparumas dilimui, elektros izoliacija ir terminis stabilumas iki 1600 °C. Mūsų gamybos pajėgumai palaiko iki 600 mm išorinius skersmenis, iki 100 mm storio ir iki 0,2 mm vidinius skersmenis, kurių plokštumas yra 0,003 mm, lygiagretumas – 0,002 mm, o koncentriškumas – 0,01 mm. Galima įsigyti sandarinimo žiedų, tarpiklių žiedų, tvirtinimo žiedų arba nestandartinių profilių pavidalu. Dėl medžiagos nulinio poringumo ir cheminio inertiškumo ji tinka agresyviai cheminei ir plazminei aplinkai.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keraminis vamzdelis, skirtas aukštai temperatūrai ir korozijai
„St.Cera“ keraminis vamzdelis pagamintas iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), pasižymi puikiu terminiu stabilumu iki 1600 °C, dideliu dielektriniu stiprumu (15 × 10⁶ V/m) ir išskirtiniu atsparumu cheminėms medžiagoms. Mūsų tikslaus apdirbimo galimybės leidžia pagaminti vidinius skersmenis iki 0,2 mm, išorinius skersmenis iki 600 mm ir ilgius iki 1500 mm, tiesumą – 0,005 mm, koncentriškumą – 0,01 mm, o paviršiaus apdailą – Ra0,1. Vamzdžio nulinis poringumas (0 % vandens absorbcijos) apsaugo nuo dujų išsiskyrimo vakuuminėje aplinkoje, todėl jis idealiai tinka puslaidininkių difuzinėms krosnims, termoelementų apsaugai ir cheminiam apdorojimui. Galimi individualūs sienelių storiai ir galų konfigūracijos (plokšti, kūginiai, flanšiniai).
-
Nestandartinės aliuminio oksido keramikos dalys puslaidininkiams ir pramoninei įrangai
„St.Cera“ gamina nestandartines keramines detales iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃) pagal klientų brėžinius. Mūsų gamykloje įrengtos tikslios šlifavimo staklės ir CNC apdirbimo centrai, leidžiantys gaminti sudėtingus keraminius komponentus dideliu tikslumu. Tipinės detalės yra izoliatoriai, guolių rutuliai, sandarinimo žiedai, įvorės, nestandartiniai tvirtinimo elementai ir sudėtingos geometrijos. Mūsų gamybos pajėgumai palaiko
-
Aliuminio oksido keraminis antgalis aukštos temperatūros dujų / skysčių įpurškimui
„St.Cera“ keraminis antgalis yra tiksliai apdirbtas iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), pasižymi dideliu atsparumu dilimui (Vickers 16 GPa), cheminiu inertiškumu ir terminiu stabilumu iki 1600 °C. Mūsų tikslaus apdirbimo galimybės leidžia pasiekti vos 0,2 mm vidinį skersmenį, 0,005 mm tiesumą ir 0,01 mm koncentriškumą, užtikrinant pastovų srautą ir tikslų skysčio/dujų paskirstymą. Antgalis turi lygią vidinę kiaurymę su paviršiaus apdaila Ra0.1, kuri sumažina srauto pasipriešinimą ir sumažina užsikimšimą. Angų skersmuo nuo 0,2 mm iki 5,0 mm, su nestandartine geometrija, įskaitant tiesias, kūgines arba daugiaanges išleidimo angas. Kiekvienas antgalis yra matmenimis patikrinamas ir tikrinamas dėl srauto vienodumo.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keraminė šlifavimo plokštė tiksliam šlifavimui
„St.Cera“ keraminė šlifavimo plokštė pagaminta iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), skirta tiksliam šlifavimui ir poliravimui. Mūsų tikslaus šlifavimo galimybės leidžia pasiekti 0,003 mm lygumą, 0,002 mm lygiagretumą ir Ra0,1 paviršiaus apdailą, užtikrinant tolygų medžiagos pašalinimą per visą plokštės paviršių. Plokštė pasižymi puikiu atsparumu dilimui (Vickers 16 GPa), dideliu lenkimo stiprumu (361 MPa) ir terminiu stabilumu iki 800 °C. Galima įsigyti apvalių, iki 600 mm skersmens, ir stačiakampių, iki 1500 mm ilgio plokščių. Poliravimo procesuose suspensijos paskirstymui galimi grioveliai (griovelio plotis 0,5–2,0 mm). Kiekviena plokštė tikrinama lazeriniu interferometru ir pateikiama tikslių matavimų ataskaita.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keraminis efektorius plokštelių apdorojimo robotams
„St.Cera“ aliuminio oksido keraminis galinis efektorius yra tiksliai apdirbtas iš 99,8 % grynumo Al₂O₃, naudojant pažangią 5 ašių CNC šlifavimo įrangą. Mūsų gamybos pajėgumai apima tikslaus šlifavimo stakles ir CNC apdirbimo centrus, leidžiančius pagaminti sudėtingas geometrijas dideliu tikslumu. Galinis efektorius pasižymi plonu profiliu (vos 1,5 mm) su smailėjančia priekine briauna, kad būtų galima sklandžiai įdėti plokštelę. Medžiaga pasižymi dideliu standumu (Youngo modulis 380 GPa), puikiu atsparumu dilimui ir terminiu stabilumu iki 800 °C. Kiekvienas vienetas yra tiksliai šlifuojamas, kad būtų pasiektas 0,003 mm plokštumas, 0,002 mm lygiagretumas ir Ra0,1 paviršiaus apdaila, užtikrinanti nuoseklų plokštelės kontaktą ir veikimą be dalelių puslaidininkių FAB aplinkoje. Galima įsigyti nuo 150 mm iki 450 mm ilgio, su pritaikyta antgalių geometrija (kraštų sukibimas, Bernoulli, plokščias) ir tvirtinimo flanšais, kad tiktų OEM robotams. Paviršiaus apdailos variantai: šlifuotas, poliruotas arba ESD išsklaidymo danga (10⁶–10⁹ Ω/kv.).
-
Aliuminio oksido vakuuminis griebtuvas tiksliam pjaustymui kubeliais ir šlifavimui
„St.Cera“ aliuminio oksido vakuuminis griebtuvas pagamintas iš 99,8 % grynumo Al₂O₃ su tiksliai apdirbtais vakuuminiais grioveliais. Mūsų tikslaus šlifavimo galimybės pasiekia 0,003 mm plokštumą ir 0,002 mm lygiagretumą, užtikrinant, kad plokštelės nesideformuotų pjaustymo, šlifavimo ir tikrinimo metu. Medžiaga pasižymi dideliu lenkimo stiprumu (361 MPa), kietumu (16 GPa) ir terminiu stabilumu iki 800 °C. Galima įsigyti apvalių formų, kurių išorinis skersmuo (OD) yra iki 600 mm, ir stačiakampių formų, kurių ilgis yra iki 1500 mm. Vakuuminiai grioveliai yra specialiai suprojektuoti (koncentriniai, radialiniai arba tinklelio formos), kad atitiktų konkrečius proceso reikalavimus. Kiekvienas griebtuvas tikrinamas lazeriniu interferometru ir pateikiama plokštumo patikrinimo ataskaita.
-
Metalu dengtas akytas SiC vakuuminis griebtuvas deformuotoms ir plonoms plokštelėms apdoroti
„St.Cera“ metalo pagrindu pagamintas keraminis vakuuminis griebtuvas sujungia porėtą silicio karbido (SiC) keraminį sluoksnį su tiksliai apdirbtu metaliniu pagrindu (aliuminiu arba nerūdijančiu plienu). Akyta SiC medžiaga (mėlynai juoda, poringumas 35–40 %, porų dydis 20–30 μm, pralaidumas 60 ml/cm²·min) užtikrina tolygų, švelnų vakuumo pasiskirstymą visame plokštelės paviršiuje, pašalindama kraštų žymes ir sudarydama sąlygas bekontakčiam plonų (≤100 μm) arba deformuotų plokštelių palaikymui. SiC sluoksnis pasižymi mažu šiluminiu plėtimusi (3,5 × 10⁻⁶/℃), terminiu stabilumu iki 1000 °C ir vidutiniu lenkimo stiprumu (32–35 MPa). Metalinis pagrindas suteikia konstrukcijos tvirtumo, lengvai tvirtinamas per sriegines skyles ir apsaugo nuo trapių lūžių. Šis griebtuvas idealiai tinka šlifuoti plokšteles iš galinės pusės, pjaustyti kubeliais ir apdoroti plokšteles aukštoje temperatūroje, kur labai svarbu tolygus vakuumas ir terminis suderinamumas.
-
Didelio grynumo aliuminio oksido keraminė plokštė – izoliacijai ir aukštos temperatūros armatūrai
„St.Cera“ keraminė plokštė pagaminta iš 99,8 % gryno aliuminio oksido (Al₂O₃), pasižymi dideliu dielektriniu stiprumu (15 × 10⁶ V/m), terminiu stabilumu iki 1600 °C ir puikiu atsparumu dilimui. Plokštės yra tiksliai šlifuotos, kad būtų pasiektas lygumas ≤5 μm per 100 mm, o paviršiaus šiurkštumas Ra ≤0,4 μm. Galima įsigyti standartinio storio nuo 1 mm iki 20 mm, o nestandartinių dydžių – iki 500 × 500 mm. Naudojama kaip elektros izoliatoriai, šildytuvų pagrindai, kamerų įdėklai ir vakuuminių griebtuvų pagrindai.
