-
ST.CERA pritaikytas 99,5 % aliuminio oksido keraminis strypas
Pagamintas iš didelio grynumo keraminių miltelių, keraminis strypas formuojamas sausuoju arba šaltuoju izostatiniu presavimu, sukepinamas aukštoje temperatūroje, o po to tiksliai apdirbamas. Turėdamas daug privalumų, tokių kaip atsparumas dilimui, atsparumas korozijai, didelis kietumas, didelis tvirtumas ir mažas trinties koeficientas, jis plačiai naudojamas medicinos įrangoje, tiksliosios technikos, lazerių, metrologijos ir tikrinimo įrangoje. Jis gali ilgą laiką veikti rūgščių ir šarmų sąlygomis, o maksimali temperatūra gali siekti 1600 ℃. Paprastai naudojamos keraminės medžiagos yra cirkonis, 95 % ~ 99,9 % aliuminio oksidas (Al2O3), silicio nitridas (Si3N4), aliuminio nitridas (AlN) ir kt.
-
ST.CERA Individualus 99,5 % cirkonio oksido keraminis strypas su keraminiu kaiščiu
Pagaminta iš didelio grynumo keraminių miltelių, keraminis strypas formuojamas sausuoju arba šaltuoju izostatiniu presavimu, sukepinamas aukštoje temperatūroje, o tada tiksliai apdirbamas. Paprastai naudojamos keraminės medžiagos yra cirkonis, 95–99,9 % aliuminio oksidas (Al2O3), silicio nitridas (Si3N4), aliuminio nitridas (AlN) ir kt.
-
ST.CERA pritaikytas 99,5 % aliuminio oksido keraminis vamzdelis
Dėl atsparumo aukštai temperatūrai, atsparumo korozijai, atsparumo dilimui ir izoliacijos savybių keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, kurioje veikia aukšta temperatūra, vakuumas arba korozinės dujos.
-
ST.CERA pritaikytas cirkonio keraminis vamzdelis
Dėl atsparumo aukštai temperatūrai, atsparumo korozijai, atsparumo dilimui ir izoliacijos savybių keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, kurioje veikia aukšta temperatūra, vakuumas arba korozinės dujos.
-
ST.CERA pritaikyta puslaidininkinė keraminė įvorė
Svarbiausias puslaidininkių lauko procesas turi būti atliekamas švarioje patalpoje, ypač tiems prietaisams, kurie turėtų būti naudojami aukštoje temperatūroje, vakuume ir korozinėse dujose. Keramika gali išlaikyti didelį stabilumą sudėtingoje fizinėje ir cheminėje aplinkoje.
-
ST.CERA Individualiai pritaikyta puslaidininkių įranga Keraminiai griebtuvai
Svarbiausias puslaidininkių lauko procesas turi būti atliekamas švarioje patalpoje, ypač tiems prietaisams, kurie turėtų būti naudojami aukštoje temperatūroje, vakuume ir korozinėse dujose. Keramika gali išlaikyti didelį stabilumą sudėtingoje fizinėje ir cheminėje aplinkoje.
-
ST.CERA Individualiai pritaikyta puslaidininkinė įranga Keraminė plokštė
Svarbiausi puslaidininkių lauko procesai turi būti atliekami švarioje patalpoje, ypač tie įtaisai, kurie turėtų būti naudojami aukštoje temperatūroje, vakuume ir korozinėse dujose. Keramika gali išlaikyti didelį stabilumą sudėtingoje fizinėje ir cheminėje aplinkoje.
-
ST.CERA pritaikytas puslaidininkinis keraminis fokusavimo žiedas
Svarbiausias puslaidininkių lauko procesas turi būti atliekamas švarioje patalpoje, ypač tiems prietaisams, kurie turėtų būti naudojami aukštoje temperatūroje, vakuume ir korozinėse dujose. Keramika gali išlaikyti didelį stabilumą sudėtingoje fizinėje ir cheminėje aplinkoje.
-
ST.CERA pritaikyta 99,5 % aliuminio oksido keraminė krautuvo rankena
Keraminis galinis efektorius / manipuliatorius montuojamas ant plokštelių manipuliavimo roboto arba „galinių efektorių“ ir naudojamas silicio plokštelėms perkelti į kasetes arba proceso kameras arba iš jų.
Keramikos naudojimo privalumai yra deformacijos sumažinimas dėl didelio lenkimo stiprumo, atsparumas aukštai temperatūrai ir metalo užterštumo bei dalelių pašalinimas. -
ST.CERA pritaikytas aliuminio oksido keraminis galinis efektorius
ST.CERA siūlo ESD dangą ir ESD keraminę medžiagą – efektorių. Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorojamas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdirbimo Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
ST.CERA pritaikytas puslaidininkinis keraminis fokusavimo žiedas
Pagamintos iš didelio grynumo (virš 99,5 %) aliuminio oksido keramikos, suformuotos šaltojo izostatinio presavimo būdu ir sukepintos aukštoje temperatūroje, o tada tiksliai apdirbtos ir poliruotos, keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkinės įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija.
Dėl atsparumo aukštai temperatūrai, atsparumo korozijai, atsparumo dilimui ir izoliacijos savybių keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, kurioje veikia aukšta temperatūra, vakuumas arba korozinės dujos.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
-
ST.CERA pritaikyta puslaidininkinė tiksli aliuminio oksido keraminė įvorė
Pagamintos iš didelio grynumo (virš 99,5 %) aliuminio oksido keramikos, suformuotos šaltojo izostatinio presavimo būdu ir sukepintos aukštoje temperatūroje, o tada tiksliai apdirbtos ir poliruotos, keraminės atsarginės dalys gali atitikti bet kokius griežtus puslaidininkinės įrangos reikalavimus, pasižyminčias atsparumu dilimui, korozijai, mažu šiluminiu plėtimusi ir izoliacija.
Dėl atsparumo aukštai temperatūrai, atsparumo korozijai, atsparumo dilimui ir izoliacijos savybių keramika ilgą laiką gali būti naudojama daugelio rūšių puslaidininkių gamybos įrangoje, kurioje veikia aukšta temperatūra, vakuumas arba korozinės dujos.
Pagamintas iš labai gryno aliuminio oksido miltelių, apdorotas šaltojo izostatinio presavimo, aukštoje temperatūroje sukepinimo ir tikslios apdailos būdu, gali pasiekti matmenų toleranciją iki ±0,001 mm, paviršiaus apdailą Ra 0,1, atsparumą temperatūrai 1600 ℃.
