-
Ізоляційне кільце з оксиду алюмінію PVD для систем фізичного осадження з парової фази
Ізоляційне кільце St.Cera, виготовлене методом PVD, виготовлене з високочистого оксиду алюмінію (Al₂O₃) з вмістом 99,8% для використання в системах фізичного осадження з парової фази (PVD). Кільце забезпечує електричну ізоляцію між компонентами камери, запобігаючи утворенню дуги та забезпечуючи стабільну роботу плазми. Ключові властивості включають високу діелектричну міцність (15×10⁶ В/м), питомий опір >10¹⁴ Ом·мм²/м та термостабільність до 1600°C. Наші можливості прецизійної обробки дозволяють виготовляти зовнішні діаметри до 600 мм, внутрішні діаметри до 0,2 мм, площинність 0,003 мм та якість обробки поверхні Ra0.1. Нульова пористість та хімічна інертність кільця забезпечують довготривалу надійність в агресивних середовищах напилення.
-
Алюмокерамічні деталі для систем випаровування E-Gun
Компанія St.Cera виробляє керамічні компоненти з високочистого оксиду алюмінію (99,8%), спеціально розроблені для систем випаровування електронним променем (E-gun). Ці деталі включають футеровки тиглів, екрани дефлекторів променя, ізолятори та монтажні пристосування. Матеріал має високу діелектричну міцність (15×10⁶ В/м), термостабільність до 1600°C та чудову стійкість до теплових ударів та хімічного впливу від випаровуваних матеріалів. Наші можливості прецизійної обробки дозволяють створювати складні геометрії з мінімальним розміром елемента 0,2 мм, площинністю 0,003 мм та чистотою поверхні Ra0,1. Кожна деталь проходить 100% контрольну роботу на КММ на точність розмірів.
-
Великоформатна керамічна пластина з глинозему для напівпровідникових та промислових приладів
Компанія St.Cera виготовляє великоформатні керамічні пластини з високочистого оксиду алюмінію (Al₂O₃) з максимальними розмірами до 1500 мм завдовжки та 600 мм завширшки. Наші можливості точного шліфування дозволяють досягти площинності 0,003 мм на 100 мм та паралельності 0,002 мм, що забезпечує стабільну якість поверхні для застосування на великих площах. Товщина до 100 мм, обробка поверхні до Ra0.1. Ці пластини служать основами вакуумних патронів, нагрівальними плитами, електроізоляційними панелями та днищами технологічних камер у виробництві напівпровідників, дисплеїв та фотоелектричних приладів. Доступні наскрізні отвори, зенковки та профілювання кромок.
-
Прецизійне кільце з глинозему для герметизації, ізоляції та кріплення
Керамічне кільце St.Cera виготовлене з високочистого оксиду алюмінію (Al₂O₃) з високою точністю для застосування, що вимагає високої зносостійкості, електроізоляції та термостабільності до 1600°C. Наші виробничі потужності підтримують зовнішні діаметри до 600 мм, товщину до 100 мм та внутрішні діаметри до 0,2 мм, з площинністю 0,003 мм, паралельністю 0,002 мм та концентричністю 0,01 мм. Доступне у вигляді ущільнювальних кілець, розпірних кілець, стопорних кілець або профілів на замовлення. Нульова пористість та хімічна інертність матеріалу роблять його придатним для використання в агресивних хімічних та плазмових середовищах.
-
Керамічна трубка з високочистого оксиду алюмінію для високотемпературних та агресивних середовищ
Керамічна трубка St.Cera виготовлена з високочистого оксиду алюмінію (Al₂O₃) на 99,8%, що забезпечує чудову термостабільність до 1600°C, високу діелектричну міцність (15×10⁶ В/м) та чудову хімічну стійкість. Наші можливості точної обробки дозволяють виготовляти внутрішні діаметри від 0,2 мм, зовнішні діаметри до 600 мм та довжину до 1500 мм, з прямолінійністю 0,005 мм, концентричністю 0,01 мм та чистотою поверхні Ra0,1. Нульова пористість трубки (0% водопоглинання) запобігає виділенню газів у вакуумному середовищі, що робить її ідеальною для дифузійних печей для напівпровідників, захисту термопар та хімічної обробки. Доступні різні товщини стінок та конфігурації торців (плоскі, конічні, фланцеві).
-
Керамічні деталі з глинозему на замовлення для напівпровідникового та промислового обладнання
Компанія St.Cera виготовляє керамічні деталі на замовлення з високочистого глинозему (Al₂O₃) з вмістом 99,8% фарби за кресленнями замовника. Наше виробництво оснащене прецизійними шліфувальними верстатами та обробними центрами з ЧПК, що дозволяє виготовляти складні керамічні компоненти з високою точністю. Типові деталі включають ізолятори, кульки підшипників, ущільнювальні кільця, втулки, нестандартні пристосування та деталі зі складною геометрією. Наші виробничі потужності підтримують...
-
Керамічна форсунка з глинозему для впорскування високотемпературного газу/рідини
Керамічна форсунка St.Cera виготовлена з високочистого оксиду алюмінію (Al₂O₃) з 99,8% міцності, що забезпечує високу зносостійкість (за Віккерсом 16 ГПа), хімічну інертність та термостабільність до 1600°C. Наші можливості точної обробки дозволяють досягати внутрішнього діаметра всього 0,2 мм, прямолінійності 0,005 мм та концентричності 0,01 мм, що забезпечує стабільний потік та точний розподіл рідини/газу. Форсунка має гладкий внутрішній отвір з обробкою поверхні Ra0.1, що мінімізує опір потоку та зменшує засмічення. Діаметри отворів від 0,2 мм до 5,0 мм, з нестандартною геометрією, включаючи прямі, конічні або багатоотвірні вихідні отвори. Кожна форсунка перевіряється на розміри та рівномірність потоку.
-
Високочиста керамічна шліфувальна пластина з глинозему для прецизійного притирання
Керамічна шліфувальна плита St.Cera виготовлена з високочистого оксиду алюмінію (Al₂O₃) на 99,8% для точного притирання та шліфування. Наша технологія точного шліфування забезпечує площинність 0,003 мм, паралельність 0,002 мм та якість обробки поверхні Ra0,1, що забезпечує рівномірне видалення матеріалу по всій поверхні плити. Плита має чудову зносостійкість (за Віккерсом 16 ГПа), високу міцність на вигин (361 МПа) та термостійкість до 800°C. Доступна у круглому форматі діаметром до 600 мм та прямокутному форматі довжиною до 1500 мм. Для розподілу шламу в процесах притирання доступні канавчасті поверхні (ширина канавки 0,5–2,0 мм). Кожна плита перевіряється лазерним інтерферометром та постачається зі звітом про точні вимірювання.
-
Кінцевий ефектор з високочистого оксиду алюмінію з кераміки для роботів для обробки пластин
Кінцевий ефектор St.Cera з оксиду алюмінію кераміки виготовлений з високочистого Al₂O₃ (99,8%) за допомогою передового 5-осьового шліфувального обладнання з ЧПК. Наші виробничі потужності включають прецизійні шліфувальні верстати та обробні центри з ЧПК, що дозволяє створювати складні геометрії з високою точністю. Кінцевий ефектор має тонкий профіль (товщиною до 1,5 мм) з конічною передньою кромкою для плавного введення пластини. Матеріал забезпечує високу жорсткість (модуль Юнга 380 ГПа), відмінну зносостійкість та термостабільність до 800°C. Кожен блок прецизійно шліфується для досягнення площинності 0,003 мм, паралельності 0,002 мм та якості поверхні Ra0,1, що забезпечує стабільний контакт з пластиною та роботу без частинок у середовищах FAB напівпровідників. Доступний довжиною від 150 мм до 450 мм, зі спеціальними геометріями наконечників (захоплення кромки, Бернуллі, плоский) та монтажними фланцями для встановлення на роботів OEM. Варіанти обробки поверхні включають притирання, полірування або покриття, що розсіює електростатичний заряд (10⁶–10⁹ Ω/кв.м).
-
Вакуумний патрон з глинозему для точного нарізання та подрібнення
Вакуумний патрон St.Cera з глинозему виготовлений з високочистого Al₂O₃ (99,8%) з прецизійно обробленими вакуумними канавками. Наша технологія точного шліфування забезпечує площинність 0,003 мм та паралельність 0,002 мм, що забезпечує бездеформаційну фіксацію пластини під час нарізання, шліфування зворотного боку та контролю. Матеріал має високу міцність на вигин (361 МПа), твердість (16 ГПа) та термостійкість до 800°C. Доступний у круглих форматах із зовнішнім діаметром (ЗД) до 600 мм та прямокутних формах довжиною до 1500 мм. Вакуумні канавки розробляються на замовлення (концентричні, радіальні або сітчасті) відповідно до конкретних вимог процесу. Кожен патрон перевіряється лазерним інтерферометром та постачається зі звітом про перевірку площинності.
-
Вакуумний патрон з пористого карбіду кремнію з металевою підкладкою для обробки деформованих та тонких пластин
Вакуумний патрон St.Cera на металевій основі з кераміки поєднує пористий керамічний шар карбіду кремнію (SiC) з прецизійно обробленою металевою основою (алюміній або нержавіюча сталь). Пористий матеріал SiC (синьо-чорний, пористість 35–40%, розмір пор 20–30 мкм, проникність 60 мл/см²·хв) забезпечує рівномірний, м'який розподіл вакууму по всій поверхні пластини, усуваючи маркування країв та забезпечуючи безконтактну підтримку тонких (≤100 мкм) або деформованих пластин. Шар SiC забезпечує низьке теплове розширення (3,5×10⁻⁶/℃), термостабільність до 1000°C та помірну міцність на вигин (32–35 МПа). Металева основа додає структурної жорсткості, легко монтується через різьбові отвори та захищає від крихкого руйнування. Цей патрон ідеально підходить для шліфування зворотного боку, нарізки кубиками та високотемпературної обробки пластин, де рівномірний вакуум та теплова сумісність є критично важливими.
-
Високочиста керамічна пластина з глинозему – для ізоляції та високотемпературних світильників
Керамічна пластина St.Cera виготовлена з високочистого оксиду алюмінію (Al₂O₃) з вмістом 99,8%, що забезпечує високу діелектричну міцність (15×10⁶ В/м), термостійкість до 1600°C та чудову зносостійкість. Пластини точно оброблені для досягнення площинності ≤5 мкм на 100 мм та шорсткості поверхні Ra ≤0,4 мкм. Доступна стандартна товщина від 1 мм до 20 мм, нестандартні розміри до 500×500 мм. Використовується як електричні ізолятори, основи нагрівачів, футеровка камер та підкладки для вакуумних патронів.
