-
Изоляционное кольцо из оксида алюминия, полученное методом PVD, для систем физического осаждения из паровой фазы.
Изоляционное кольцо PVD от St.Cera изготовлено из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) чистотой 99,8% и предназначено для использования в системах физического осаждения из паровой фазы (PVD). Кольцо обеспечивает электрическую изоляцию между компонентами камеры, предотвращая искрение и гарантируя стабильную работу плазмы. Ключевые свойства включают высокую диэлектрическую прочность (15×10⁶ В/м), удельное сопротивление >10¹⁴ Ом·мм²/м и термическую стабильность до 1600 °C. Наши возможности прецизионной обработки позволяют получать наружные диаметры до 600 мм, внутренние диаметры до 0,2 мм, плоскостность 0,003 мм и чистоту поверхности Ra0,1. Нулевая пористость кольца и химическая инертность обеспечивают долговременную надежность в агрессивных средах распыления.
-
Алюмокерамические детали для систем испарения электронных пистолетов
Компания St.Cera производит высокочистые керамические компоненты из оксида алюминия (99,8%), специально разработанные для систем электронно-лучевого испарения (E-gun). К таким деталям относятся футеровки тиглей, экраны отклонителей пучка, изоляторы и монтажные приспособления. Материал обладает высокой диэлектрической прочностью (15×10⁶ В/м), термической стабильностью до 1600 °C и превосходной устойчивостью к термическому удару и химическому воздействию испаряемых материалов. Наши возможности прецизионной обработки позволяют получать сложные геометрические формы с минимальным размером элемента 0,2 мм, плоскостностью 0,003 мм и чистотой поверхности Ra0,1. Каждая деталь проходит 100% проверку точности размеров на координатно-измерительной машине (CMM).
-
Крупноформатные керамические пластины из оксида алюминия для полупроводниковой и промышленной арматуры.
Компания St.Cera производит крупноформатные керамические пластины из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) чистотой 99,8% с максимальными размерами до 1500 мм в длину и 600 мм в ширину. Благодаря возможностям прецизионной шлифовки достигается плоскостность 0,003 мм на 100 мм и параллельность 0,002 мм, что обеспечивает стабильное качество поверхности для крупногабаритных применений. Толщина до 100 мм, шероховатость поверхности до Ra0,1. Эти пластины используются в качестве оснований вакуумных зажимов, нагревательных плит, электроизоляционных панелей и днищ технологических камер в полупроводниковой, дисплейной и фотоэлектрической промышленности. Возможна обработка сквозных отверстий, зенковка и профилирование кромок.
-
Прецизионное керамическое кольцо из оксида алюминия для герметизации, изоляции и крепления.
Керамическое кольцо St.Cera изготавливается методом высокоточной механической обработки из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) с чистотой 99,8% и предназначено для применений, требующих высокой износостойкости, электроизоляции и термической стабильности до 1600 °C. Наши производственные возможности позволяют изготавливать кольца с наружным диаметром до 600 мм, толщиной до 100 мм и внутренним диаметром от 0,2 мм, с плоскостностью 0,003 мм, параллельностью 0,002 мм и концентричностью 0,01 мм. Доступны в виде уплотнительных колец, распорных колец, стопорных колец или профилей, изготовленных по индивидуальному заказу. Нулевая пористость материала и химическая инертность делают его пригодным для использования в агрессивных химических и плазменных средах.
-
Высокочистая керамическая трубка из оксида алюминия для работы в высокотемпературных и агрессивных средах.
Керамическая трубка St.Cera изготавливается из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) с чистотой 99,8%, обеспечивая превосходную термическую стабильность до 1600 °C, высокую диэлектрическую прочность (15 × 10⁶ В/м) и превосходную химическую стойкость. Благодаря возможностям высокоточной обработки, мы можем изготавливать трубки с внутренним диаметром от 0,2 мм, внешним диаметром до 600 мм и длиной до 1500 мм, с прямолинейностью 0,005 мм, концентричностью 0,01 мм и шероховатостью поверхности Ra 0,1. Нулевая пористость трубки (0% водопоглощения) предотвращает выделение газов в вакуумной среде, что делает ее идеальной для диффузионных печей для полупроводников, защиты термопар и химической обработки. Возможна индивидуальная толщина стенок и конфигурация концов (плоские, конические, фланцевые).
-
Изготовление на заказ деталей из глиноземной керамики для полупроводникового и промышленного оборудования.
Компания St.Cera производит керамические детали на заказ из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) чистотой 99,8% по чертежам заказчика. Наше предприятие оснащено прецизионными шлифовальными станками и обрабатывающими центрами с ЧПУ, что позволяет производить сложные керамические компоненты с высокой точностью. Типичные детали включают изоляторы, шарики подшипников, уплотнительные кольца, втулки, нестандартные приспособления и детали сложной геометрии. Наши производственные возможности позволяют
-
Алюмокерамическая форсунка для впрыска высокотемпературных газов/жидкостей
Керамическая форсунка St.Cera изготовлена методом высокоточной механической обработки из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) с чистотой 99,8%, что обеспечивает высокую износостойкость (по Виккерсу 16 ГПа), химическую инертность и термическую стабильность до 1600 °C. Благодаря нашим возможностям высокоточной обработки, внутренний диаметр составляет всего 0,2 мм, прямолинейность – 0,005 мм, а концентричность – 0,01 мм, что гарантирует стабильный поток и точное распределение жидкости/газа. Форсунка имеет гладкую внутреннюю поверхность с шероховатостью Ra0,1, что минимизирует сопротивление потоку и снижает вероятность засорения. Диаметры отверстий варьируются от 0,2 мм до 5,0 мм, а также доступны индивидуальные геометрические формы, включая прямые, конические или многоканальные выходы. Каждая форсунка проходит проверку размеров и равномерности потока.
-
Шлифовальная пластина из высокочистой глиноземной керамики для прецизионной притирки.
Керамическая шлифовальная пластина St.Cera изготовлена из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) чистотой 99,8% и предназначена для прецизионной притирки и шлифовки. Благодаря нашим возможностям прецизионной шлифовки достигается плоскостность 0,003 мм, параллельность 0,002 мм и чистота поверхности Ra0,1, что обеспечивает равномерное удаление материала по всей поверхности пластины. Пластина обладает превосходной износостойкостью (по Виккерсу 16 ГПа), высокой прочностью на изгиб (361 МПа) и термической стабильностью до 800 °C. Доступны круглые пластины диаметром до 600 мм и прямоугольные пластины длиной до 1500 мм. Для распределения суспензии в процессе притирки доступны рифленые поверхности (ширина канавки 0,5–2,0 мм). Каждая пластина проверяется лазерным интерферометром и поставляется с отчетом о точности измерений.
-
Высокочистый керамический концевой захват из оксида алюминия для роботов, предназначенных для работы с кремниевыми пластинами.
Алюмокерамический концевой захват St.Cera изготовлен с высокой точностью из высокочистого Al₂O₃ (99,8%) с использованием современного 5-осевого шлифовального оборудования с ЧПУ. Наши производственные возможности включают в себя прецизионные шлифовальные станки и обрабатывающие центры с ЧПУ, что позволяет создавать сложные геометрические формы с высокой точностью. Концевой захват имеет тонкий профиль (толщиной всего 1,5 мм) с конической передней кромкой для плавной установки пластины. Материал обеспечивает высокую жесткость (модуль Юнга 380 ГПа), превосходную износостойкость и термическую стабильность до 800 °C. Каждая деталь подвергается прецизионной шлифовке для достижения плоскостности 0,003 мм, параллельности 0,002 мм и чистоты поверхности Ra0,1, что обеспечивает стабильный контакт с пластиной и работу без частиц в полупроводниковых производственных цехах. Доступны варианты длиной от 150 мм до 450 мм, с индивидуальной геометрией наконечника (захват кромкой, Бернулли, плоский) и монтажными фланцами для установки на OEM-роботы. Варианты обработки поверхности включают шлифовку, полировку или антистатическое покрытие (10⁶–10⁹ Ом/кв).
-
Вакуумный патрон из оксида алюминия для прецизионной нарезки и шлифовки.
Вакуумный зажим из оксида алюминия от St.Cera изготовлен из высокочистого Al₂O₃ (99,8%) с прецизионно обработанными вакуумными канавками. Благодаря возможности прецизионной шлифовки достигается плоскостность 0,003 мм и параллельность 0,002 мм, что обеспечивает фиксацию пластин без деформации во время нарезки, шлифовки обратной стороны и контроля качества. Материал обладает высокой прочностью на изгиб (361 МПа), твердостью (16 ГПа) и термической стабильностью до 800 °C. Доступны круглые заготовки с внешним диаметром до 600 мм и прямоугольные заготовки длиной до 1500 мм. Вакуумные канавки разрабатываются индивидуально (концентрические, радиальные или сетчатые) в соответствии с конкретными технологическими требованиями. Каждый зажим проверяется лазерным интерферометром и поставляется с отчетом о проверке плоскостности.
-
Вакуумный зажим из пористого карбида кремния с металлической подложкой для работы с деформированными и тонкими кремниевыми пластинами.
Металлокерамический вакуумный зажим St.Cera сочетает в себе пористый керамический слой из карбида кремния (SiC) с прецизионно обработанной металлической основой (алюминий или нержавеющая сталь). Пористый материал SiC (сине-черный, пористость 35–40%, размер пор 20–30 мкм, проницаемость 60 мл/см²·мин) обеспечивает равномерное и мягкое распределение вакуума по всей поверхности пластины, устраняя следы на краях и обеспечивая бесконтактную поддержку тонких (≤100 мкм) или деформированных пластин. Слой SiC обладает низким коэффициентом теплового расширения (3,5×10⁻⁶/℃), термической стабильностью до 1000°C и умеренной прочностью на изгиб (32–35 МПа). Металлическая основа обеспечивает дополнительную жесткость конструкции, упрощает монтаж через резьбовые отверстия и защищает от хрупкого разрушения. Этот патрон идеально подходит для шлифовки обратной стороны пластин, нарезки и высокотемпературной обработки кремниевых пластин, где равномерное вакуумирование и термосовместимость имеют решающее значение.
-
Высокочистая керамическая пластина из оксида алюминия – для изоляции и высокотемпературных светильников.
Керамическая пластина St.Cera изготавливается из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) с чистотой 99,8%, обеспечивая высокую диэлектрическую прочность (15×10⁶ В/м), термическую стабильность до 1600°C и превосходную износостойкость. Пластины подвергаются прецизионной притирке для достижения плоскостности ≤5 мкм на 100 мм и шероховатости поверхности Ra ≤0,4 мкм. Доступны стандартные толщины от 1 мм до 20 мм, а также нестандартные размеры до 500×500 мм. Используются в качестве электрических изоляторов, оснований нагревателей, облицовки камер и подложек для вакуумных зажимов.
