-
ഫിസിക്കൽ വേപ്പർ ഡിപ്പോസിഷൻ സിസ്റ്റങ്ങൾക്കുള്ള അലുമിന പിവിഡി ഇൻസുലേഷൻ റിംഗ്
ഭൗതിക നീരാവി നിക്ഷേപം (PVD) സിസ്റ്റങ്ങളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിനായി 99.8% ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിന (Al₂O₃) കൊണ്ടാണ് സെന്റ് സെറയുടെ PVD ഇൻസുലേഷൻ മോതിരം നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്. ചേമ്പർ ഘടകങ്ങൾക്കിടയിൽ വൈദ്യുത ഒറ്റപ്പെടൽ നൽകുന്ന ഈ മോതിരം, ആർക്കിംഗ് തടയുകയും സ്ഥിരതയുള്ള പ്ലാസ്മ പ്രവർത്തനം ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഉയർന്ന ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി (15×10⁶ V/m), നിർദ്ദിഷ്ട പ്രതിരോധം >10¹⁴ Ω·mm²/m, 1600°C വരെ താപ സ്ഥിരത എന്നിവ പ്രധാന ഗുണങ്ങളിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. ഞങ്ങളുടെ കൃത്യതയുള്ള മെഷീനിംഗ് കഴിവുകൾ 600mm വരെ പുറം വ്യാസം, 0.2mm വരെ അകത്തെ വ്യാസം, 0.003mm പരന്നത, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra0.1 എന്നിവ കൈവരിക്കുന്നു. ആക്രമണാത്മകമായ സ്പട്ടറിംഗ് പരിതസ്ഥിതികളിൽ മോതിരത്തിന്റെ പൂജ്യം പോറോസിറ്റിയും കെമിക്കൽ നിഷ്ക്രിയത്വവും ദീർഘകാല വിശ്വാസ്യത ഉറപ്പാക്കുന്നു.
-
ഇ-ഗൺ ബാഷ്പീകരണ സംവിധാനങ്ങൾക്കുള്ള അലുമിന സെറാമിക് ഭാഗങ്ങൾ
ഇലക്ട്രോൺ ബീം (ഇ-ഗൺ) ബാഷ്പീകരണ സംവിധാനങ്ങൾക്കായി പ്രത്യേകം രൂപകൽപ്പന ചെയ്ത ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള 99.8% അലുമിന സെറാമിക് ഘടകങ്ങൾ സെന്റ് സെറ നിർമ്മിക്കുന്നു. ഈ ഭാഗങ്ങളിൽ ക്രൂസിബിൾ ലൈനറുകൾ, ബീം ഡിഫ്ലെക്ടർ ഷീൽഡുകൾ, ഇൻസുലേറ്ററുകൾ, മൗണ്ടിംഗ് ഫിക്‌ചറുകൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു. ഉയർന്ന ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി (15×10⁶ V/m), 1600°C വരെ താപ സ്ഥിരത, ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട വസ്തുക്കളിൽ നിന്നുള്ള താപ ആഘാതത്തിനും രാസ ആക്രമണത്തിനും മികച്ച പ്രതിരോധം എന്നിവ ഈ മെറ്റീരിയൽ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ഞങ്ങളുടെ കൃത്യതയുള്ള മെഷീനിംഗ് കഴിവുകൾ 0.2mm, 0.003mm, ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra0.1 എന്നിവയുള്ള ഏറ്റവും കുറഞ്ഞ ഫീച്ചർ വലുപ്പമുള്ള സങ്കീർണ്ണമായ ജ്യാമിതികൾ കൈവരിക്കുന്നു. ഓരോ ഭാഗവും ഡൈമൻഷണൽ കൃത്യതയ്ക്കായി 100% CMM പരിശോധിക്കുന്നു.
-
സെമികണ്ടക്ടർ & ഇൻഡസ്ട്രിയൽ ഫിക്‌ചറുകൾക്കുള്ള ലാർജ്-ഫോർമാറ്റ് അലുമിന സെറാമിക് പ്ലേറ്റ്
99.8% ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിനയിൽ (Al₂O₃) നിർമ്മിച്ച വലിയ ഫോർമാറ്റ് സെറാമിക് പ്ലേറ്റുകളാണ് സെന്റ്.സെറ നിർമ്മിക്കുന്നത്, പരമാവധി അളവുകൾ 1500mm വരെ നീളവും 600mm വീതിയും വരെയാകാം. ഞങ്ങളുടെ പ്രിസിഷൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ് കഴിവുകൾ 100mm-ൽ 0.003mm പരന്നതും 0.002mm സമാന്തരതയും കൈവരിക്കുന്നു, ഇത് വലിയ-ഏരിയ ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് സ്ഥിരമായ ഉപരിതല ഗുണനിലവാരം ഉറപ്പാക്കുന്നു. 100mm വരെ കനം, Ra0.1 വരെ ഉപരിതല ഫിനിഷ്. സെമികണ്ടക്ടർ, ഡിസ്പ്ലേ, ഫോട്ടോവോൾട്ടെയ്ക് നിർമ്മാണത്തിൽ വാക്വം ചക്ക് ബേസുകൾ, ഹീറ്റർ പ്ലാറ്റനുകൾ, ഇലക്ട്രിക്കൽ ഇൻസുലേഷൻ പാനലുകൾ, പ്രോസസ് ചേംബർ ഫ്ലോറുകൾ എന്നിവയായി ഈ പ്ലേറ്റുകൾ പ്രവർത്തിക്കുന്നു. ത്രൂ-ഹോളുകൾ, കൗണ്ടർബോറുകൾ, എഡ്ജ് പ്രൊഫൈലിംഗ് എന്നിവ ലഭ്യമാണ്.
-
സീലിംഗ്, ഇൻസുലേഷൻ & ഫിക്‌ചറിംഗ് എന്നിവയ്‌ക്കുള്ള പ്രിസിഷൻ അലുമിന സെറാമിക് റിംഗ്
ഉയർന്ന വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, വൈദ്യുത ഇൻസുലേഷൻ, 1600°C വരെ താപ സ്ഥിരത എന്നിവ ആവശ്യമുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കായി 99.8% ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിന (Al₂O₃) യിൽ നിന്ന് കൃത്യതയോടെ നിർമ്മിച്ചതാണ് സെന്റ് സെറയുടെ സെറാമിക് മോതിരം. ഞങ്ങളുടെ നിർമ്മാണ ശേഷികൾ 600mm വരെ പുറം വ്യാസം, 100mm വരെ കനം, 0.2mm വരെ ചെറിയ അകത്തെ വ്യാസം എന്നിവ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു, 0.003mm പരന്നതും 0.002mm സമാന്തരതയും 0.01mm സാന്ദ്രതയും. സീൽ റിംഗുകൾ, സ്‌പെയ്‌സർ റിംഗുകൾ, റിറ്റൈനിംഗ് റിംഗുകൾ അല്ലെങ്കിൽ ഇഷ്ടാനുസൃത പ്രൊഫൈലുകൾ എന്നിങ്ങനെ ലഭ്യമാണ്. മെറ്റീരിയലിന്റെ പൂജ്യം പോറോസിറ്റിയും കെമിക്കൽ ഇനർട്‌നെസും ഇതിനെ ആക്രമണാത്മക കെമിക്കൽ, പ്ലാസ്മ പരിതസ്ഥിതികൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു.
-
ഉയർന്ന താപനിലയും നാശകാരിയുമായ പരിതസ്ഥിതികൾക്കുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന സെറാമിക് ട്യൂബ്
സെന്റ് സെറയുടെ സെറാമിക് ട്യൂബ് 99.8% ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിനയിൽ (Al₂O₃) നിന്നാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇത് 1600°C വരെ മികച്ച താപ സ്ഥിരത, ഉയർന്ന ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി (15×10⁶ V/m), മികച്ച രാസ പ്രതിരോധം എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ഞങ്ങളുടെ കൃത്യതയുള്ള മെഷീനിംഗ് കഴിവുകൾ 0.2mm വരെ ചെറിയ ആന്തരിക വ്യാസവും 600mm വരെ പുറം വ്യാസവും 1500mm വരെ നീളവും പ്രാപ്തമാക്കുന്നു, 0.005mm നേരായതും 0.01mm സാന്ദ്രതയും Ra0.1 ഉപരിതല ഫിനിഷും നൽകുന്നു. ട്യൂബിന്റെ പൂജ്യം പോറോസിറ്റി (0% ജല ആഗിരണം) വാക്വം പരിതസ്ഥിതികളിൽ വാതകങ്ങൾ പുറത്തേക്ക് ഒഴുകുന്നത് തടയുന്നു, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ ഡിഫ്യൂഷൻ ഫർണസുകൾ, തെർമോകപ്പിൾ സംരക്ഷണം, കെമിക്കൽ പ്രോസസ്സിംഗ് എന്നിവയ്ക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. ഇഷ്ടാനുസൃത മതിൽ കനവും അവസാന കോൺഫിഗറേഷനുകളും (ഫ്ലാറ്റ്, ടേപ്പർഡ്, ഫ്ലേഞ്ച്ഡ്) ലഭ്യമാണ്.
-
സെമികണ്ടക്ടർ & വ്യാവസായിക ഉപകരണങ്ങൾക്കുള്ള ഇഷ്ടാനുസൃത അലുമിന സെറാമിക് ഭാഗങ്ങൾ
ഉപഭോക്തൃ ഡ്രോയിംഗുകൾ അനുസരിച്ച് 99.8% ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിനയിൽ (Al₂O₃) നിന്ന് ഇഷ്ടാനുസൃത സെറാമിക് ഭാഗങ്ങൾ St.Cera നിർമ്മിക്കുന്നു. ഉയർന്ന കൃത്യതയോടെ സങ്കീർണ്ണമായ സെറാമിക് ഘടകങ്ങളുടെ ഉത്പാദനം സാധ്യമാക്കുന്ന പ്രിസിഷൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ് മെഷീനുകളും CNC മെഷീനിംഗ് സെന്ററുകളും ഞങ്ങളുടെ സൗകര്യത്തിൽ സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു. സാധാരണ ഭാഗങ്ങളിൽ ഇൻസുലേറ്ററുകൾ, ബെയറിംഗ് ബോളുകൾ, സീൽ റിംഗുകൾ, ബുഷിംഗുകൾ, ഇഷ്ടാനുസൃത ഫിക്‌ചറുകൾ, സങ്കീർണ്ണമായ ജ്യാമിതികൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു. ഞങ്ങളുടെ നിർമ്മാണ ശേഷികൾ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു
-
ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ഗ്യാസ്/ഫ്ലൂയിഡ് കുത്തിവയ്പ്പിനുള്ള അലുമിന സെറാമിക് നോസൽ
സെന്റ്.സെറയുടെ സെറാമിക് നോസൽ 99.8% ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി അലുമിന (Al₂O₃) യിൽ നിന്ന് കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്തതാണ്, ഇത് ഉയർന്ന വെയർ റെസിസ്റ്റൻസ് (വിക്കേഴ്‌സ് 16 GPa), കെമിക്കൽ ഇനേർനെസ്, 1600°C വരെ താപ സ്ഥിരത എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ഞങ്ങളുടെ പ്രിസിഷൻ മെഷീനിംഗ് കഴിവുകൾ 0.2mm വരെ ചെറിയ ആന്തരിക വ്യാസം കൈവരിക്കുന്നു, 0.005mm നേരായതും 0.01mm സാന്ദ്രതയും നൽകുന്നു, ഇത് സ്ഥിരമായ ഒഴുക്കും കൃത്യമായ ദ്രാവക/വാതക വിതരണവും ഉറപ്പാക്കുന്നു. ഉപരിതല ഫിനിഷ് Ra0.1 ഉള്ള മിനുസമാർന്ന ആന്തരിക ബോർ നോസിലിന്റെ സവിശേഷതയാണ്, ഇത് ഒഴുക്ക് പ്രതിരോധം കുറയ്ക്കുകയും തടസ്സം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. 0.2mm മുതൽ 5.0mm വരെയുള്ള ഓറിഫൈസ് വ്യാസങ്ങൾ, നേരായ, ടേപ്പർ ചെയ്ത അല്ലെങ്കിൽ മൾട്ടി-ഓറിഫൈസ് ഔട്ട്‌ലെറ്റുകൾ ഉൾപ്പെടെയുള്ള ഇഷ്ടാനുസൃത ജ്യാമിതികൾക്കൊപ്പം. ഓരോ നോസലും അളവനുസരിച്ച് പരിശോധിക്കുകയും ഒഴുക്ക് ഏകത പരിശോധിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
-
പ്രിസിഷൻ ലാപ്പിംഗിനായി ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന സെറാമിക് ഗ്രൈൻഡിംഗ് പ്ലേറ്റ്
സെന്റ്.സെറയുടെ സെറാമിക് ഗ്രൈൻഡിംഗ് പ്ലേറ്റ് 99.8% ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി അലുമിന (Al₂O₃) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇത് പ്രിസിഷൻ ലാപ്പിംഗിനും ഗ്രൈൻഡിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കുമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഞങ്ങളുടെ പ്രിസിഷൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ് കഴിവ് 0.003mm പരന്നതും 0.002mm സമാന്തരതയും Ra0.1 ന്റെ ഉപരിതല ഫിനിഷും കൈവരിക്കുന്നു, ഇത് മുഴുവൻ പ്ലേറ്റ് ഉപരിതലത്തിലും ഏകീകൃത മെറ്റീരിയൽ നീക്കം ഉറപ്പാക്കുന്നു. പ്ലേറ്റ് മികച്ച വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം (വിക്കേഴ്‌സ് 16 GPa), ഉയർന്ന ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി (361 MPa), 800°C വരെ താപ സ്ഥിരത എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. 600mm വ്യാസം വരെ വൃത്താകൃതിയിലുള്ള ഫോർമാറ്റുകളിലും 1500mm വരെ നീളമുള്ള ചതുരാകൃതിയിലുള്ള പ്ലേറ്റുകളിലും ലഭ്യമാണ്. ലാപ്പിംഗ് പ്രക്രിയകളിൽ സ്ലറി വിതരണത്തിനായി ഗ്രൂവ്ഡ് പ്രതലങ്ങൾ (ഗ്രൂവ് വീതി 0.5–2.0mm) ലഭ്യമാണ്. ഓരോ പ്ലേറ്റും ലേസർ ഇന്റർഫെറോമീറ്റർ ഉപയോഗിച്ച് പരിശോധിക്കുകയും കൃത്യത അളക്കൽ റിപ്പോർട്ട് നൽകുകയും ചെയ്യുന്നു.
-
വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള റോബോട്ടുകൾക്കുള്ള ഉയർന്ന ശുദ്ധിയുള്ള അലുമിന സെറാമിക് എൻഡ് ഇഫക്റ്റർ
സെന്റ്.സെറയുടെ അലുമിന സെറാമിക് എൻഡ് എഫെക്ടർ, നൂതനമായ 5-ആക്സിസ് സിഎൻസി ഗ്രൈൻഡിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് 99.8% ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി അൽ₂O₃ യിൽ നിന്ന് പ്രിസിഷൻ മെഷീൻ ചെയ്തതാണ്. ഞങ്ങളുടെ നിർമ്മാണ ശേഷികളിൽ പ്രിസിഷൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ് മെഷീനുകളും സിഎൻസി മെഷീനിംഗ് സെന്ററുകളും ഉൾപ്പെടുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന കൃത്യതയോടെ സങ്കീർണ്ണമായ ജ്യാമിതികളെ പ്രാപ്തമാക്കുന്നു. എൻഡ് എഫെക്ടറിൽ ഒരു നേർത്ത പ്രൊഫൈൽ (1.5 മില്ലീമീറ്റർ വരെ നേർത്തത്) ഉണ്ട്, സുഗമമായ വേഫർ ഉൾപ്പെടുത്തലിനായി ഒരു ടേപ്പർഡ് ലീഡിംഗ് എഡ്ജ് ഉണ്ട്. മെറ്റീരിയൽ ഉയർന്ന കാഠിന്യം (യങ്ങിന്റെ മോഡുലസ് 380 GPa), മികച്ച വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, 800°C വരെ താപ സ്ഥിരത എന്നിവ നൽകുന്നു. 0.003mm ഫ്ലാറ്റ്നെസ്, 0.002mm ന്റെ സമാന്തരത്വം, Ra0.1 ന്റെ ഉപരിതല ഫിനിഷ് എന്നിവ നേടുന്നതിന് ഓരോ യൂണിറ്റും കൃത്യതയുള്ള ഗ്രൗണ്ട് ആണ്, ഇത് സെമികണ്ടക്ടർ FAB പരിതസ്ഥിതികളിൽ സ്ഥിരമായ വേഫർ കോൺടാക്റ്റും കണികാ രഹിത പ്രവർത്തനവും ഉറപ്പാക്കുന്നു. 150 mm മുതൽ 450 mm വരെ നീളത്തിൽ, കസ്റ്റം ടിപ്പ് ജ്യാമിതികൾ (എഡ്ജ് ഗ്രിപ്പ്, ബെർണൂലി, ഫ്ലാറ്റ്) കൂടാതെ OEM റോബോട്ടുകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ മൗണ്ടിംഗ് ഫ്ലേഞ്ചുകളും ഉണ്ട്. ഉപരിതല ഫിനിഷ് ഓപ്ഷനുകളിൽ ലാപ്പ്ഡ്, പോളിഷ്ഡ് അല്ലെങ്കിൽ ഇഎസ്ഡി ഡിസിപേറ്റീവ് കോട്ടിംഗ് (10⁶–10⁹ Ω/ചതുരശ്ര q) ഉൾപ്പെടുന്നു.
-
പ്രിസിഷൻ ഡൈസിംഗിനും ഗ്രൈൻഡിംഗിനുമുള്ള അലുമിന വാക്വം ചക്ക്
സെന്റ്.സെറയുടെ അലുമിന വാക്വം ചക്ക് 99.8% ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി Al₂O₃ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, പ്രിസിഷൻ-മെഷീൻ ചെയ്ത വാക്വം ഗ്രൂവുകൾ ഉപയോഗിച്ചാണ് ഇത് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്. ഞങ്ങളുടെ പ്രിസിഷൻ ഗ്രൈൻഡിംഗ് കഴിവ് 0.003mm ഫ്ലാറ്റ്‌നെസും 0.002mm പാരലലിസവും കൈവരിക്കുന്നു, ഇത് ഡൈസിംഗ്, ബാക്ക്‌സൈഡ് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, പരിശോധന എന്നിവയ്ക്കിടെ വാർപ്പ്-ഫ്രീ വേഫർ ഫിക്സേഷൻ ഉറപ്പാക്കുന്നു. മെറ്റീരിയൽ ഉയർന്ന ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി (361 MPa), കാഠിന്യം (16 GPa), 800°C വരെ താപ സ്ഥിരത എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. 600mm പുറം വ്യാസം (OD) വരെ വൃത്താകൃതിയിലുള്ള ഫോർമാറ്റുകളിലും 1500mm വരെ നീളമുള്ള ചതുരാകൃതിയിലുള്ള ആകൃതികളിലും ലഭ്യമാണ്. നിർദ്ദിഷ്ട പ്രോസസ്സ് ആവശ്യകതകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ രീതിയിൽ വാക്വം ഗ്രൂവുകൾ ഇഷ്ടാനുസൃതമായി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിട്ടുള്ളതാണ് (കോൺസെൻട്രിക്, റേഡിയൽ അല്ലെങ്കിൽ ഗ്രിഡ് പാറ്റേണുകൾ). ഓരോ ചക്കും ലേസർ ഇന്റർഫെറോമീറ്റർ ഉപയോഗിച്ച് പരിശോധിക്കുകയും ഫ്ലാറ്റ്നെസ് വെരിഫിക്കേഷൻ റിപ്പോർട്ട് നൽകുകയും ചെയ്യുന്നു.
-
വളഞ്ഞതും നേർത്തതുമായ വേഫർ കൈകാര്യം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ലോഹ-പിന്തുണയുള്ള പോറസ് SiC വാക്വം ചക്ക്
സെന്റ്.സെറയുടെ ലോഹാധിഷ്ഠിത സെറാമിക് വാക്വം ചക്ക് ഒരു പോറസ് സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് (SiC) സെറാമിക് പാളിയെ കൃത്യതയോടെ മെഷീൻ ചെയ്ത ലോഹ അടിത്തറയുമായി (അലുമിനിയം അല്ലെങ്കിൽ സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ) സംയോജിപ്പിക്കുന്നു. പോറസ് SiC മെറ്റീരിയൽ (നീല-കറുപ്പ്, പോറോസിറ്റി 35–40%, പോർ വലുപ്പം 20–30 μm, പെർമിയബിലിറ്റി 60 ml/cm²·min) മുഴുവൻ വേഫർ ഉപരിതലത്തിലും ഏകീകൃതവും സൗമ്യവുമായ വാക്വം വിതരണം നൽകുന്നു, എഡ്ജ് മാർക്കിംഗ് ഇല്ലാതാക്കുകയും നേർത്ത (≤100 μm) അല്ലെങ്കിൽ വാർപ്പ്ഡ് വേഫറുകൾക്ക് നോൺ-കോൺടാക്റ്റ് പിന്തുണ പ്രാപ്തമാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. SiC പാളി കുറഞ്ഞ താപ വികാസം (3.5×10⁻⁶/℃), 1000°C വരെ താപ സ്ഥിരത, മിതമായ ഫ്ലെക്ചറൽ ശക്തി (32–35 MPa) എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. ലോഹ അടിത്തറ ഘടനാപരമായ കാഠിന്യം, ത്രെഡ് ചെയ്ത ദ്വാരങ്ങൾ വഴി എളുപ്പത്തിൽ മൗണ്ടുചെയ്യൽ, പൊട്ടുന്ന ഒടിവിനെതിരെ സംരക്ഷണം എന്നിവ നൽകുന്നു. യൂണിഫോം വാക്വം, താപ അനുയോജ്യത നിർണായകമായ ബാക്ക്‌സൈഡ് ഗ്രൈൻഡിംഗ്, ഡൈസിംഗ്, ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള വേഫർ പ്രോസസ്സിംഗ് എന്നിവയ്ക്ക് ഈ ചക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
-
ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിന സെറാമിക് പ്ലേറ്റ് - ഇൻസുലേഷനും ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള ഫിക്‌ചറുകൾക്കും
സെന്റ് സെറയുടെ സെറാമിക് പ്ലേറ്റ് 99.8% ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള അലുമിന (Al₂O₃) കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, ഇത് ഉയർന്ന ഡൈഇലക്ട്രിക് ശക്തി (15×10⁶ V/m), 1600°C വരെ താപ സ്ഥിരത, മികച്ച വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം എന്നിവ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു. 100 മില്ലീമീറ്ററിൽ കൂടുതൽ പരന്നത ≤5 μm ഉം ഉപരിതല പരുക്കൻത Ra ≤0.4 μm ഉം നേടുന്നതിന് പ്ലേറ്റുകൾ കൃത്യതയോടെ ലാപ്പ് ചെയ്യുന്നു. 1 മില്ലീമീറ്റർ മുതൽ 20 മില്ലീമീറ്റർ വരെ സ്റ്റാൻഡേർഡ് കനത്തിലും 500×500 മില്ലീമീറ്റർ വരെ ഇഷ്ടാനുസൃത വലുപ്പങ്ങളിലും ലഭ്യമാണ്. ഇലക്ട്രിക്കൽ ഇൻസുലേറ്ററുകൾ, ഹീറ്റർ ബേസുകൾ, ചേംബർ ലൈനറുകൾ, വാക്വം ചക്ക് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ എന്നിവയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.
