-
இயற்பியல் ஆவிப் படிவு அமைப்புகளுக்கான அலுமினா PVD காப்பு வளையம்
St.Cera-வின் PVD மின்காப்பு வளையம், இயற்பியல் ஆவிப் படிவு (PVD) அமைப்புகளில் பயன்படுத்துவதற்காக 99.8% உயர்-தூய்மையான அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) தயாரிக்கப்படுகிறது. இந்த வளையம், அறைக் கூறுகளுக்கு இடையில் மின் தனிமைப்படுத்தலை வழங்கி, மின்வில் ஏற்படுவதைத் தடுத்து, நிலையான பிளாஸ்மா செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. இதன் முக்கியப் பண்புகளில் உயர் மின்காப்பு வலிமை (15×10⁶ V/m), தன்மின்தடை >10¹⁴ Ω·mm²/m, மற்றும் 1600°C வரையிலான வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவை அடங்கும். எங்களின் துல்லியமான இயந்திர வேலைப்பாடுகளால், 600mm வரையிலான வெளி விட்டங்கள், 0.2mm வரையிலான உள் விட்டங்கள், 0.003mm தட்டையான தன்மை, மற்றும் Ra0.1 மேற்பரப்புப் பூச்சு ஆகியவற்றை அடைய முடிகிறது. இந்த வளையத்தின் பூஜ்ஜிய நுண்துளைத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் மந்தத்தன்மை ஆகியவை, தீவிரமான ஸ்பட்டரிங் சூழல்களில் நீண்ட கால நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கின்றன.
-
மின்-துப்பாக்கி ஆவியாக்க அமைப்புகளுக்கான அலுமினா செராமிக் பாகங்கள்
செயின்ட் செரா, எலக்ட்ரான் கற்றை (E-கன்) ஆவியாக்க அமைப்புகளுக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட, உயர் தூய்மை கொண்ட 99.8% அலுமினா செராமிக் பாகங்களைத் தயாரிக்கிறது. இந்தப் பாகங்களில் மூசை உறைகள், கற்றைத் திசைதிருப்பி கவசங்கள், மின்காப்பான்கள் மற்றும் பொருத்தும் சாதனங்கள் ஆகியவை அடங்கும். இந்தப் பொருள் உயர் மின்காப்பு வலிமை (15×10⁶ V/m), 1600°C வரையிலான வெப்ப நிலைத்தன்மை, மற்றும் ஆவியாக்கப்பட்ட பொருட்களிலிருந்து ஏற்படும் வெப்ப அதிர்ச்சி மற்றும் இரசாயனத் தாக்குதலுக்கு சிறந்த எதிர்ப்புத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. எங்களின் துல்லியமான இயந்திர வேலைப்பாடுகள், குறைந்தபட்ச அம்ச அளவு 0.2 மிமீ, தட்டையான தன்மை 0.003 மிமீ, மற்றும் மேற்பரப்புப் பூச்சு Ra0.1 ஆகியவற்றுடன் சிக்கலான வடிவவியல்களை உருவாக்குகின்றன. ஒவ்வொரு பாகமும் பரிமாணத் துல்லியத்திற்காக 100% CMM மூலம் பரிசோதிக்கப்படுகிறது.
-
குறைக்கடத்தி மற்றும் தொழில்துறை சாதனங்களுக்கான பெரிய அளவிலான அலுமினா பீங்கான் தகடு
செயின்ட் செரா, 99.8% உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) 1500 மிமீ நீளம் மற்றும் 600 மிமீ அகலம் வரையிலான அதிகபட்ச பரிமாணங்களில் பெரிய அளவிலான செராமிக் தகடுகளைத் தயாரிக்கிறது. எங்களின் துல்லியமான அரைக்கும் திறன்கள், 100 மிமீ பரப்பில் 0.003 மிமீ சமதளத்தன்மையையும் 0.002 மிமீ இணைகோட்டுத்தன்மையையும் அடைகின்றன, இது பெரிய பரப்பளவு பயன்பாடுகளுக்கு நிலையான மேற்பரப்புத் தரத்தை உறுதி செய்கிறது. 100 மிமீ வரை தடிமன், Ra0.1 வரையிலான மேற்பரப்புப் பூச்சு. இந்தத் தகடுகள் குறைக்கடத்தி, காட்சித்திரை மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த உற்பத்தியில் வெற்றிடச் சக் தளங்கள், வெப்பமூட்டித் தட்டுகள், மின் காப்புப் பலகைகள் மற்றும் செயல்முறை அறைத் தளங்களாகப் பயன்படுகின்றன. ஊடுதுளைகள், எதிர் துளைகள் மற்றும் விளிம்பு வடிவமைப்பு ஆகியவை கிடைக்கின்றன.
-
சீல் செய்தல், காப்பு மற்றும் பொருத்துதலுக்கான துல்லியமான அலுமினா செராமிக் வளையம்
செயின்ட் செராவின் செராமிக் வளையம், அதிக தேய்மான எதிர்ப்பு, மின் காப்பு மற்றும் 1600°C வரையிலான வெப்ப நிலைத்தன்மை தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்காக, 99.8% உயர் தூய்மையான அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்படுகிறது. எங்களின் உற்பத்தித் திறன்கள் 600 மிமீ வரையிலான வெளி விட்டங்கள், 100 மிமீ வரையிலான தடிமன் மற்றும் 0.2 மிமீ அளவுள்ள மிகச்சிறிய உள் விட்டங்களை ஆதரிக்கின்றன. மேலும், இது 0.003 மிமீ தட்டையான தன்மை, 0.002 மிமீ இணைகோட்டுத்தன்மை மற்றும் 0.01 மிமீ ஒருமையத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. இது சீல் வளையங்கள், ஸ்பேசர் வளையங்கள், தக்கவைக்கும் வளையங்கள் அல்லது தனிப்பயன் வடிவங்களில் கிடைக்கிறது. இந்த பொருளின் பூஜ்ஜிய நுண்துளைத்தன்மை மற்றும் வேதியியல் மந்தத்தன்மை ஆகியவை, இதை கடுமையான வேதியியல் மற்றும் பிளாஸ்மா சூழல்களுக்கு ஏற்றதாக ஆக்குகின்றன.
-
உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களுக்கான உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக் குழாய்
செயின்ட்.செராவின் செராமிக் குழாய் 99.8% உயர்-தூய்மையான அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) தயாரிக்கப்படுகிறது. இது 1600°C வரை சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை, உயர் மின்காப்பு வலிமை (15×10⁶ V/m) மற்றும் உயர்ந்த இரசாயன எதிர்ப்புத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. எங்களின் துல்லியமான இயந்திர வேலைப்பாடுகள், 0.2 மிமீ அளவுள்ள சிறிய உள் விட்டங்கள், 600 மிமீ வரையிலான வெளி விட்டங்கள் மற்றும் 1500 மிமீ வரையிலான நீளங்களை சாத்தியமாக்குகின்றன. இதன் நேர்கோட்டுத்தன்மை 0.005 மிமீ, ஒருமையம் 0.01 மிமீ மற்றும் மேற்பரப்புப் பூச்சு Ra0.1 ஆகும். இந்தக் குழாயின் பூஜ்ஜிய நுண்துளைத்தன்மை (0% நீர் உறிஞ்சுதல்), வெற்றிடச் சூழல்களில் வாயுக்கள் வெளியேறுவதைத் தடுக்கிறது. இதனால் இது குறைக்கடத்தி பரவல் உலைகள், தெர்மோகப்பிள் பாதுகாப்பு மற்றும் இரசாயனச் செயலாக்கத்திற்கு மிகவும் ஏற்றதாக அமைகிறது. வாடிக்கையாளரின் தேவைக்கேற்ப சுவர் தடிமன்கள் மற்றும் முனை வடிவமைப்புகள் (தட்டையான, கூம்பு வடிவ, விளிம்பு வடிவ) கிடைக்கின்றன.
-
குறைக்கடத்தி மற்றும் தொழில்துறை உபகரணங்களுக்கான தனிப்பயனாக்கப்பட்ட அலுமினா செராமிக் பாகங்கள்
செயின்ட் செரா, வாடிக்கையாளர் வரைபடங்களின்படி 99.8% உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) பிரத்தியேக பீங்கான் பாகங்களைத் தயாரிக்கிறது. எங்கள் ஆலையில் உள்ள துல்லியமான அரைக்கும் இயந்திரங்கள் மற்றும் CNC எந்திர மையங்கள், சிக்கலான பீங்கான் பாகங்களை அதிகத் துல்லியத்துடன் உற்பத்தி செய்ய உதவுகின்றன. மின்காப்பான்கள், தாங்கு உருளைப் பந்துகள், சீல் வளையங்கள், புஷிங்குகள், பிரத்தியேகப் பொருத்திகள் மற்றும் சிக்கலான வடிவவியல்கள் ஆகியவை பொதுவான பாகங்களில் அடங்கும். எங்கள் உற்பத்தித் திறன்கள் ஆதரிக்கின்றன.
-
உயர்-வெப்பநிலை வாயு/திரவ உட்செலுத்தலுக்கான அலுமினா செராமிக் முனை
செயின்ட்.செராவின் செராமிக் நாசில், 99.8% உயர்-தூய்மையான அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்டுள்ளது. இது அதிக தேய்மான எதிர்ப்புத்திறன் (விக்கர்ஸ் 16 GPa), வேதியியல் மந்தத்தன்மை மற்றும் 1600°C வரையிலான வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. எங்களின் துல்லியமான இயந்திரச் செதுக்கும் திறன்கள், 0.2 மிமீ அளவுள்ள மிகச்சிறிய உள் விட்டத்தையும், 0.005 மிமீ நேர்கோட்டுத்தன்மையையும், 0.01 மிமீ ஒருமையத்தையும் அடைகின்றன. இது சீரான ஓட்டத்தையும், துல்லியமான திரவ/வாயு விநியோகத்தையும் உறுதி செய்கிறது. இந்த நாசில், Ra0.1 மேற்பரப்புப் பூச்சுடன் கூடிய ஒரு வழவழப்பான உள் துளையைக் கொண்டுள்ளது. இது ஓட்டத் தடையைக் குறைத்து, அடைப்பையும் தடுக்கிறது. 0.2 மிமீ முதல் 5.0 மிமீ வரையிலான துளை விட்டங்கள் மற்றும் நேரான, கூம்பு வடிவ, அல்லது பல-துளைகள் கொண்ட வெளியீடுகள் உள்ளிட்ட தனிப்பயன் வடிவவியல்களும் கிடைக்கின்றன. ஒவ்வொரு நாசிலும் பரிமாண ரீதியாக ஆய்வு செய்யப்பட்டு, ஓட்டத்தின் சீரான தன்மைக்காகச் சரிபார்க்கப்படுகிறது.
-
துல்லியமான மெருகேற்றலுக்கான உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக் அரைக்கும் தகடு
செயின்ட் செராவின் செராமிக் அரைக்கும் தகடு, துல்லியமான லேப்பிங் மற்றும் அரைத்தல் பயன்பாடுகளுக்காக 99.8% உயர்-தூய்மையான அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) தயாரிக்கப்படுகிறது. எங்களின் துல்லியமான அரைக்கும் திறன் 0.003 மிமீ தட்டையான தன்மையையும், 0.002 மிமீ இணைகோட்டுத்தன்மையையும், மற்றும் Ra0.1 மேற்பரப்புப் பூச்சையும் அடைகிறது, இது தகட்டின் முழு மேற்பரப்பிலும் சீரான பொருள் அகற்றலை உறுதி செய்கிறது. இந்தத் தகடு சிறந்த தேய்மான எதிர்ப்பையும் (விக்கர்ஸ் 16 GPa), அதிக வளைவு வலிமையையும் (361 MPa), மற்றும் 800°C வரை வெப்ப நிலைத்தன்மையையும் வழங்குகிறது. 600 மிமீ விட்டம் வரையிலான வட்ட வடிவங்களிலும், 1500 மிமீ நீளம் வரையிலான செவ்வகத் தகடுகளிலும் இது கிடைக்கிறது. லேப்பிங் செயல்முறைகளில் கூழ்மத்தை விநியோகிப்பதற்காக, பள்ளம் கொண்ட மேற்பரப்புகள் (பள்ளத்தின் அகலம் 0.5–2.0 மிமீ) கிடைக்கின்றன. ஒவ்வொரு தகடும் லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர் மூலம் பரிசோதிக்கப்பட்டு, ஒரு துல்லியமான அளவீட்டு அறிக்கையுடன் வழங்கப்படுகிறது.
-
வேஃபர் கையாளும் ரோபோக்களுக்கான உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர்
செயின்ட்.செராவின் அலுமினா செராமிக் எண்ட் எஃபெக்டர், மேம்பட்ட 5-அச்சு CNC அரைக்கும் உபகரணங்களைப் பயன்படுத்தி, 99.8% உயர்-தூய்மையான Al₂O₃-இலிருந்து துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்படுகிறது. எங்களின் உற்பத்தித் திறன்களில் துல்லியமான அரைக்கும் இயந்திரங்கள் மற்றும் CNC இயந்திர மையங்கள் அடங்கும், இது சிக்கலான வடிவவியல்களை உயர் துல்லியத்துடன் செயல்படுத்த உதவுகிறது. இந்த எண்ட் எஃபெக்டர், மென்மையான வேஃபர் செருகலுக்காக, கூம்பு வடிவ முனையுடன் கூடிய மெல்லிய வடிவத்தைக் (1.5 மிமீ வரை மெல்லியது) கொண்டுள்ளது. இந்த மூலப்பொருள் உயர் விறைப்புத்தன்மை (யங்ஸ் மாடுலஸ் 380 GPa), சிறந்த தேய்மான எதிர்ப்பு மற்றும் 800°C வரை வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. ஒவ்வொரு அலகும் 0.003 மிமீ தட்டையான தன்மை, 0.002 மிமீ இணைகோட்டுத்தன்மை மற்றும் Ra0.1 மேற்பரப்புப் பூச்சு ஆகியவற்றை அடைய துல்லியமாக அரைக்கப்படுகிறது, இது செமிகண்டக்டர் FAB சூழல்களில் நிலையான வேஃபர் தொடர்பு மற்றும் துகள் இல்லாத செயல்பாட்டை உறுதி செய்கிறது. 150 மிமீ முதல் 450 மிமீ வரையிலான நீளங்களில், OEM ரோபோக்களுக்குப் பொருந்தக்கூடிய தனிப்பயன் முனை வடிவவியல்கள் (எட்ஜ் கிரிப், பெர்னூலி, தட்டையானது) மற்றும் மவுண்டிங் ஃபிளேன்ஜ்களுடன் கிடைக்கிறது. மேற்பரப்பு பூச்சு விருப்பங்களில் லேப்டு, பாலிஷ் செய்யப்பட்ட, அல்லது ESD ஆற்றல் சிதறல் பூச்சு (10⁶–10⁹ Ω/sq) ஆகியவை அடங்கும்.
-
துல்லியமான சிறு துண்டுகளாக்கம் மற்றும் அரைத்தலுக்கான அலுமினா வெற்றிட சக்
செயின்ட்.செராவின் அலுமினா வெற்றிட சக், 99.8% உயர்-தூய்மையான Al₂O₃-இலிருந்து துல்லியமாக இயந்திரத்தால் செதுக்கப்பட்ட வெற்றிட பள்ளங்களுடன் தயாரிக்கப்படுகிறது. எங்களின் துல்லியமான அரைக்கும் திறன் 0.003 மிமீ தட்டையான தன்மையையும் 0.002 மிமீ இணைகோட்டுத் தன்மையையும் அடைகிறது, இது சிறு துண்டுகளாக்குதல், பின்புற அரைத்தல் மற்றும் ஆய்வு செய்தல் ஆகியவற்றின் போது வளைவற்ற வேஃபர் நிலைப்படுத்தலை உறுதி செய்கிறது. இந்த மூலப்பொருள் உயர் வளைவு வலிமை (361 MPa), கடினத்தன்மை (16 GPa) மற்றும் 800°C வரை வெப்ப நிலைத்தன்மையை வழங்குகிறது. 600 மிமீ வெளி விட்டம் (OD) வரையிலான வட்ட வடிவங்களிலும், 1500 மிமீ நீளம் வரையிலான செவ்வக வடிவங்களிலும் கிடைக்கிறது. வெற்றிட பள்ளங்கள் குறிப்பிட்ட செயல்முறை தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கி வடிவமைக்கப்படுகின்றன (மையவட்ட, ஆர அல்லது கட்ட வடிவங்கள்). ஒவ்வொரு சக்கும் லேசர் இன்டர்ஃபெரோமீட்டர் மூலம் ஆய்வு செய்யப்பட்டு, தட்டையான தன்மை சரிபார்ப்பு அறிக்கையுடன் வழங்கப்படுகிறது.
-
வளைந்த மற்றும் மெல்லிய வேஃபர்களைக் கையாளுவதற்கான, உலோகப் பின்புலம் கொண்ட நுண்துளை SiC வெற்றிட சக்.
செயின்ட்.செராவின் உலோக அடிப்படையிலான செராமிக் வெற்றிட சக், நுண்துளைகள் கொண்ட சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) செராமிக் அடுக்கை, துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்ட உலோக அடித்தளத்துடன் (அலுமினியம் அல்லது துருப்பிடிக்காத எஃகு) இணைக்கிறது. நுண்துளைகள் கொண்ட SiC பொருள் (நீல-கருப்பு, நுண்துளைத்தன்மை 35–40%, துளை அளவு 20–30 μm, ஊடுருவுத்தன்மை 60 ml/cm²·min) முழு வேஃபர் மேற்பரப்பிலும் சீரான, மென்மையான வெற்றிடப் பரவலை வழங்குகிறது. இது விளிம்பு அடையாளங்களைத் தவிர்த்து, மெல்லிய (≤100 μm) அல்லது வளைந்த வேஃபர்களுக்குத் தொடுதல் இல்லாத ஆதரவை வழங்குகிறது. SiC அடுக்கு குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் (3.5×10⁻⁶/℃), 1000°C வரை வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் மிதமான வளைவு வலிமை (32–35 MPa) ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. உலோக அடித்தளம் கட்டமைப்பு உறுதித்தன்மை, திருகு துளைகள் வழியாக எளிதாகப் பொருத்துதல் மற்றும் எளிதில் உடையக்கூடிய முறிவுக்கு எதிரான பாதுகாப்பு ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. சீரான வெற்றிடம் மற்றும் வெப்ப இணக்கத்தன்மை மிக அவசியமான பின்புற அரைத்தல், சிறு துண்டுகளாக்குதல் மற்றும் உயர்-வெப்பநிலை வேஃபர் செயலாக்கம் போன்ற பணிகளுக்கு இந்த சக் மிகவும் ஏற்றது.
-
உயர் தூய்மை அலுமினா செராமிக் தகடு – காப்பு மற்றும் உயர் வெப்பநிலை சாதனங்களுக்கு
செயின்ட் செராவின் செராமிக் தகடு, 99.8% உயர் தூய்மை கொண்ட அலுமினாவிலிருந்து (Al₂O₃) தயாரிக்கப்படுகிறது. இது உயர் மின்காப்பு வலிமை (15×10⁶ V/m), 1600°C வரையிலான வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த தேய்மான எதிர்ப்புத்திறன் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. 100 மிமீ நீளத்திற்கு ≤5 μm தட்டையான தன்மையையும், Ra ≤0.4 μm மேற்பரப்பு சொரசொரப்பையும் அடைவதற்காக, இந்தத் தகடுகள் துல்லியமாக மெருகூட்டப்படுகின்றன. 1 மிமீ முதல் 20 மிமீ வரையிலான நிலையான தடிமன்களிலும், 500×500 மிமீ வரையிலான தனிப்பயன் அளவுகளிலும் இவை கிடைக்கின்றன. மின் காப்பான்கள், ஹீட்டர் தளங்கள், அறை உறைகள் மற்றும் வெற்றிட சக் அடிதளங்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
