-
Cincin Penebat PVD Alumina untuk Sistem Pemendapan Wap Fizikal
Cincin penebat PVD St.Cera dihasilkan daripada 99.8% alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃) untuk digunakan dalam sistem pemendapan wap fizikal (PVD). Cincin ini menyediakan pengasingan elektrik antara komponen ruang, mencegah arka dan memastikan operasi plasma yang stabil. Ciri-ciri utama termasuk kekuatan dielektrik yang tinggi (15×10⁶ V/m), rintangan khusus >10¹⁴ Ω·mm²/m, dan kestabilan haba sehingga 1600°C. Keupayaan pemesinan ketepatan kami mencapai diameter luar sehingga 600mm, diameter dalam sehingga 0.2mm, kerataan 0.003mm, dan kemasan permukaan Ra0.1. Keliangan sifar dan inert kimia cincin memastikan kebolehpercayaan jangka panjang dalam persekitaran percikan yang agresif.
-
Bahagian Seramik Alumina untuk Sistem Penyejatan E-Gun
St.Cera mengeluarkan komponen seramik alumina 99.8% ketulenan tinggi yang direka khusus untuk sistem penyejatan pancaran elektron (E-gun). Bahagian-bahagian ini termasuk pelapik mangkuk pijar, perisai pesongan pancaran, penebat dan lekapan pelekap. Bahan ini menawarkan kekuatan dielektrik yang tinggi (15×10⁶ V/m), kestabilan haba sehingga 1600°C dan rintangan yang sangat baik terhadap kejutan haba dan serangan kimia daripada bahan yang tersejat. Keupayaan pemesinan ketepatan kami mencapai geometri kompleks dengan saiz ciri minimum 0.2mm, kerataan 0.003mm dan kemasan permukaan Ra0.1. Setiap bahagian diperiksa 100% CMM untuk ketepatan dimensi.
-
Plat Seramik Alumina Format Besar untuk Perlengkapan Semikonduktor & Perindustrian
St.Cera mengeluarkan plat seramik format besar daripada 99.8% alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃) dengan dimensi maksimum sehingga 1500mm panjang dan 600mm lebar. Keupayaan pengisaran ketepatan kami mencapai kerataan 0.003mm berbanding 100mm dan selari 0.002mm, memastikan kualiti permukaan yang konsisten untuk aplikasi kawasan besar. Ketebalan sehingga 100mm, kemasan permukaan sehingga Ra0.1. Plat ini berfungsi sebagai tapak chuck vakum, plat pemanas, panel penebat elektrik dan lantai ruang proses dalam pembuatan semikonduktor, paparan dan fotovoltaik. Lubang tembus, lubang balas dan profil tepi tersedia.
-
Cincin Seramik Alumina Ketepatan untuk Pengedap, Penebat & Pemasangan
Cincin seramik St.Cera dimesin dengan tepat daripada 99.8% alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃) untuk aplikasi yang memerlukan rintangan haus yang tinggi, penebat elektrik dan kestabilan haba sehingga 1600°C. Keupayaan pembuatan kami menyokong diameter luar sehingga 600mm, ketebalan sehingga 100mm dan diameter dalam sekecil 0.2mm, dengan kerataan 0.003mm, paralelisme 0.002mm dan konsentrisiti 0.01mm. Tersedia sebagai cincin pengedap, cincin spacer, cincin penahan atau profil tersuai. Keliangan sifar dan inert kimia bahan tersebut menjadikannya sesuai untuk persekitaran kimia dan plasma yang agresif.
-
Tiub Seramik Alumina Ketulenan Tinggi untuk Persekitaran Suhu Tinggi & Mengakis
Tiub seramik St.Cera dihasilkan daripada 99.8% alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃), menawarkan kestabilan haba yang sangat baik sehingga 1600°C, kekuatan dielektrik yang tinggi (15×10⁶ V/m), dan rintangan kimia yang unggul. Keupayaan pemesinan jitu kami membolehkan diameter dalam sekecil 0.2mm, diameter luar sehingga 600mm, dan panjang sehingga 1500mm, dengan kelurusan 0.005mm, konsentrisiti 0.01mm, dan kemasan permukaan Ra0.1. Keliangan sifar tiub (penyerapan air 0%) menghalang pengeluaran gas dalam persekitaran vakum, menjadikannya sesuai untuk relau resapan semikonduktor, perlindungan termogandingan dan pemprosesan kimia. Ketebalan dinding tersuai dan konfigurasi hujung (rata, tirus, bebibir) tersedia.
-
Bahagian Seramik Alumina Tersuai untuk Peralatan Semikonduktor & Industri
St.Cera mengeluarkan bahagian seramik tersuai daripada 99.8% alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃) mengikut lukisan pelanggan. Kemudahan kami dilengkapi dengan mesin pengisar jitu dan pusat pemesinan CNC, yang membolehkan pengeluaran komponen seramik kompleks dengan jitu tinggi. Bahagian tipikal termasuk penebat, bebola galas, cincin pengedap, sesendal, lekapan tersuai dan geometri kompleks. Keupayaan pembuatan kami menyokong
-
Muncung Seramik Alumina untuk Suntikan Gas/Bendalir Suhu Tinggi
Muncung seramik St.Cera dimesin dengan tepat daripada 99.8% alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃), menawarkan rintangan haus yang tinggi (Vickers 16 GPa), inert kimia dan kestabilan haba sehingga 1600°C. Keupayaan pemesinan ketepatan kami mencapai diameter dalaman sekecil 0.2mm, dengan kelurusan 0.005mm dan konsentrisiti 0.01mm, memastikan aliran yang konsisten dan pengagihan bendalir/gas yang tepat. Muncung mempunyai lubang dalaman yang licin dengan kemasan permukaan Ra0.1, meminimumkan rintangan aliran dan mengurangkan penyumbatan. Diameter orifis dari 0.2mm hingga 5.0mm, dengan geometri tersuai termasuk saluran keluar lurus, tirus atau berbilang orifis. Setiap muncung diperiksa secara dimensi dan diperiksa untuk keseragaman aliran.
-
Plat Pengisaran Seramik Alumina Ketulenan Tinggi untuk Pengisaran Ketepatan
Plat pengisaran seramik St.Cera dihasilkan daripada 99.8% alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃) untuk aplikasi lapping dan pengisaran yang tepat. Keupayaan pengisaran tepat kami mencapai kerataan 0.003mm, selari 0.002mm, dan kemasan permukaan Ra0.1, memastikan penyingkiran bahan yang seragam merentasi keseluruhan permukaan plat. Plat ini menawarkan rintangan haus yang sangat baik (Vickers 16 GPa), kekuatan lenturan yang tinggi (361 MPa), dan kestabilan haba sehingga 800°C. Terdapat dalam format bulat sehingga diameter 600mm dan plat segi empat tepat sehingga panjang 1500mm. Permukaan beralur (lebar alur 0.5–2.0mm) tersedia untuk pengedaran buburan dalam proses lapping. Setiap plat diperiksa dengan interferometer laser dan dibekalkan dengan laporan pengukuran ketepatan.
-
Efektor Hujung Seramik Alumina Ketulenan Tinggi untuk Robot Pengendalian Wafer
Efektor hujung seramik alumina St.Cera dimesin dengan tepat daripada 99.8% Al₂O₃ berketulenan tinggi menggunakan peralatan pengisaran CNC 5 paksi termaju. Keupayaan pembuatan kami termasuk mesin pengisaran tepat dan pusat pemesinan CNC, yang membolehkan geometri kompleks dengan ketepatan tinggi. Efektor hujung mempunyai profil nipis (senipis 1.5 mm) dengan tepi hadapan yang tirus untuk penyisipan wafer yang licin. Bahan ini memberikan kekakuan yang tinggi (modulus Young 380 GPa), rintangan haus yang sangat baik dan kestabilan haba sehingga 800°C. Setiap unit digiling dengan tepat untuk mencapai kerataan 0.003mm, paralelisme 0.002mm dan kemasan permukaan Ra0.1, memastikan sentuhan wafer yang konsisten dan operasi bebas zarah dalam persekitaran FAB semikonduktor. Tersedia dalam panjang dari 150 mm hingga 450 mm, dengan geometri hujung tersuai (cengkaman tepi, Bernoulli, rata) dan bebibir pelekap agar sesuai dengan robot OEM. Pilihan kemasan permukaan termasuk salutan lapped, digilap atau ESD dissipative coating (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
Chuck Vakum Alumina untuk Pemotongan & Pengisaran Ketepatan
Chuck vakum alumina St.Cera dihasilkan daripada 99.8% Al₂O₃ berketulenan tinggi dengan alur vakum mesin yang tepat. Keupayaan pengisaran ketepatan kami mencapai kerataan 0.003mm dan selari 0.002mm, memastikan penetapan wafer bebas lungsin semasa pemotongan dadu, pengisaran bahagian belakang dan pemeriksaan. Bahan ini menawarkan kekuatan lenturan yang tinggi (361 MPa), kekerasan (16 GPa) dan kestabilan haba sehingga 800°C. Terdapat dalam format bulat sehingga diameter luar (OD) 600mm dan bentuk segi empat tepat sehingga panjang 1500mm. Alur vakum direka bentuk khas (corak sepusat, jejari atau grid) untuk memenuhi keperluan proses tertentu. Setiap chuck diperiksa dengan interferometer laser dan dibekalkan dengan laporan pengesahan kerataan.
-
Chuck Vakum SiC Berliang Bersandarkan Logam untuk Pengendalian Wafer Melengkung & Nipis
Chuck vakum seramik berasaskan logam St.Cera menggabungkan lapisan seramik silikon karbida (SiC) berliang dengan tapak logam mesin jitu (aluminium atau keluli tahan karat). Bahan SiC berliang (biru-hitam, keliangan 35–40%, saiz liang 20–30 μm, kebolehtelapan 60 ml/cm²·min) menyediakan pengedaran vakum yang seragam dan lembut di seluruh permukaan wafer, menghapuskan tanda tepi dan membolehkan sokongan tanpa sentuhan untuk wafer nipis (≤100 μm) atau melengkung. Lapisan SiC menawarkan pengembangan haba yang rendah (3.5×10⁻⁶/℃), kestabilan haba sehingga 1000°C dan kekuatan lenturan sederhana (32–35 MPa). Tapak logam menambah ketegaran struktur, pemasangan mudah melalui lubang berulir dan perlindungan daripada keretakan rapuh. Chuck ini sesuai untuk pengisaran bahagian belakang, pemotongan dadu dan pemprosesan wafer suhu tinggi di mana keserasian vakum dan haba yang seragam adalah penting.
-
Plat Seramik Alumina Ketulenan Tinggi – untuk Penebat & Lekapan Suhu Tinggi
Plat seramik St.Cera dihasilkan daripada 99.8% alumina ketulenan tinggi (Al₂O₃), menawarkan kekuatan dielektrik yang tinggi (15×10⁶ V/m), kestabilan haba sehingga 1600°C dan rintangan haus yang sangat baik. Plat dilekatkan dengan ketepatan yang tinggi untuk mencapai kerataan ≤5 μm melebihi 100 mm dan kekasaran permukaan Ra ≤0.4 μm. Terdapat dalam ketebalan standard dari 1 mm hingga 20 mm, saiz tersuai sehingga 500×500 mm. Digunakan sebagai penebat elektrik, tapak pemanas, pelapik ruang dan substrat chuck vakum.
