-
Fizik bug'larni cho'ktirish tizimlari uchun alumina PVD izolyatsiya halqasi
St.Cera'ning PVD izolyatsiya halqasi fizik bug' cho'ktirish (PVD) tizimlarida foydalanish uchun 99,8% yuqori tozalikdagi alumina (Al₂O₃) dan ishlab chiqariladi. Halqa kamera komponentlari o'rtasida elektr izolyatsiyasini ta'minlaydi, yoyning oldini oladi va plazmaning barqaror ishlashini ta'minlaydi. Asosiy xususiyatlarga yuqori dielektrik kuch (15 × 10⁶ V/m), solishtirma qarshilik >10¹⁴ Ω·mm²/m va 1600°C gacha issiqlik barqarorligi kiradi. Bizning aniq ishlov berish qobiliyatimiz tashqi diametrlarni 600 mm gacha, ichki diametrlarni 0,2 mm gacha tushirish, 0,003 mm tekislik va Ra0.1 sirt qoplamasiga erishadi. Halqaning nol g'ovakliligi va kimyoviy inertligi agressiv purkash muhitida uzoq muddatli ishonchlilikni ta'minlaydi.
-
Elektron qurol bug'lanish tizimlari uchun alumina keramik qismlari
St.Cera elektron nurli (E-qurol) bug'lanish tizimlari uchun maxsus ishlab chiqilgan yuqori tozalikdagi 99,8% alyumin oksidi keramik komponentlarini ishlab chiqaradi. Bu qismlarga tigel astarlari, nur deflektor qalqonlari, izolyatorlar va o'rnatish moslamalari kiradi. Material yuqori dielektrik mustahkamlikka (15 × 10⁶ V/m), 1600°C gacha issiqlik barqarorligiga va bug'langan materiallardan kelib chiqadigan issiqlik zarbasi va kimyoviy hujumga mukammal qarshilikka ega. Bizning aniq ishlov berish qobiliyatimiz minimal xususiyat o'lchami 0,2 mm, tekisligi 0,003 mm va sirt qoplamasi Ra0.1 bilan murakkab geometriyalarga erishadi. Har bir qism o'lchov aniqligi uchun 100% CMM tekshiriladi.
-
Yarimo'tkazgichlar va sanoat moslamalari uchun katta formatli alumina keramik plitasi
St.Cera 99,8% yuqori tozalikdagi alumina (Al₂O₃) dan katta formatli keramik plitalar ishlab chiqaradi, ularning maksimal o'lchamlari uzunligi 1500 mm gacha va kengligi 600 mm gacha. Bizning aniq silliqlash qobiliyatimiz 100 mm dan ortiq 0,003 mm tekislikka va 0,002 mm parallellikka erishadi, bu esa katta maydonlarda qo'llaniladigan sirt sifatini barqaror qiladi. Qalinligi 100 mm gacha, sirt qoplamasi Ra0.1 gacha. Ushbu plitalar yarimo'tkazgichlar, displeylar va fotovoltaik ishlab chiqarishda vakuum patron asoslari, isitgich plitalari, elektr izolyatsiya panellari va ishlov berish kamerasi pollari bo'lib xizmat qiladi. Teshiklar, qarshi teshiklar va chekka profillar mavjud.
-
Muhrlash, izolyatsiya va armatura uchun aniq alyuminiy oksidli keramik halqa
St.Cera keramik halqasi yuqori aşınma qarshiligi, elektr izolyatsiyasi va 1600°C gacha issiqlik barqarorligini talab qiladigan ilovalar uchun 99,8% yuqori tozalikdagi alumina (Al₂O₃) dan aniq ishlov berilgan. Bizning ishlab chiqarish imkoniyatlarimiz tashqi diametrlarni 600 mm gacha, qalinligi 100 mm gacha va ichki diametrlarni 0,2 mm gacha, tekisligi 0,003 mm, parallelligi 0,002 mm va konsentrikligi 0,01 mm gacha bo'lgan holda qo'llab-quvvatlaydi. Muhr halqalari, oraliq halqalar, ushlab turuvchi halqalar yoki maxsus profillar sifatida mavjud. Materialning nol g'ovakliligi va kimyoviy inertligi uni agressiv kimyoviy va plazma muhitlari uchun mos qiladi.
-
Yuqori haroratli va korroziv muhitlar uchun yuqori tozalikdagi alumina keramik naychasi
St.Cera keramik naychasi 99,8% yuqori tozalikdagi alumina (Al₂O₃) dan ishlab chiqariladi, bu 1600°C gacha bo'lgan ajoyib issiqlik barqarorligi, yuqori dielektrik mustahkamlik (15 × 10⁶ V/m) va yuqori kimyoviy qarshilikni ta'minlaydi. Bizning aniq ishlov berish qobiliyatimiz ichki diametrlarni 0,2 mm gacha, tashqi diametrlarni 600 mm gacha va uzunliklarni 1500 mm gacha, tekisligi 0,005 mm, konsentrikligi 0,01 mm va sirt qoplamasi Ra0.1 ni ta'minlaydi. Naychaning nol g'ovakliligi (0% suv singishi) vakuum muhitida gaz chiqishini oldini oladi, bu uni yarimo'tkazgichli diffuziya pechlari, termojuft himoyasi va kimyoviy ishlov berish uchun ideal qiladi. Maxsus devor qalinligi va uchlari konfiguratsiyalari (tekis, konussimon, flanesli) mavjud.
-
Yarimo'tkazgichlar va sanoat uskunalari uchun maxsus alyuminiy oksidi keramik qismlari
St.Cera mijozlar chizmalariga muvofiq 99,8% yuqori tozalikdagi alumina (Al₂O₃) dan maxsus keramik qismlarni ishlab chiqaradi. Bizning zavodimiz aniq silliqlash mashinalari va CNC ishlov berish markazlari bilan jihozlangan bo'lib, bu murakkab keramik komponentlarni yuqori aniqlikda ishlab chiqarish imkonini beradi. Odatdagi qismlarga izolyatorlar, podshipnik sharlari, muhr halqalari, vtulkalar, maxsus moslamalar va murakkab geometriyalar kiradi. Bizning ishlab chiqarish imkoniyatlarimiz qo'llab-quvvatlaydi
-
Yuqori haroratli gaz/suyuqlik in'ektsiyasi uchun alyuminiy oksidli keramik burun
St.Cera keramik naychasi 99,8% yuqori tozalikdagi alumina (Al₂O₃) dan aniq ishlov beriladi, yuqori aşınma qarshiligi (Vickers 16 GPa), kimyoviy inertlik va 1600°C gacha bo'lgan termal barqarorlikni ta'minlaydi. Bizning aniq ishlov berish qobiliyatimiz ichki diametri 0,2 mm gacha, tekisligi 0,005 mm va konsentrikligi 0,01 mm gacha bo'lgan kichik o'lchamlarga erishadi, bu esa izchil oqim va suyuqlik/gazning aniq taqsimlanishini ta'minlaydi. Naycha silliq ichki teshikka ega bo'lib, Ra0.1 sirt qoplamasiga ega bo'lib, oqim qarshiligini minimallashtiradi va tiqilib qolishni kamaytiradi. Teshik diametri 0,2 mm dan 5,0 mm gacha, maxsus geometriyalar to'g'ri, konussimon yoki ko'p teshikli chiqishlarni o'z ichiga oladi. Har bir naycha o'lchamlari bo'yicha tekshiriladi va oqimning bir xilligi tekshiriladi.
-
Nozik lapping uchun yuqori tozalikdagi alumina keramik silliqlash plitasi
St.Cera keramik silliqlash plastinkasi aniq silliqlash va silliqlash uchun 99,8% yuqori tozalikdagi alyuminiy oksididan (Al₂O₃) ishlab chiqariladi. Bizning aniq silliqlash qobiliyatimiz 0,003 mm tekislikka, 0,002 mm parallellikka va Ra0.1 sirt qoplamasiga erishadi, bu esa butun plastinka yuzasi bo'ylab materialning bir tekis olib tashlanishini ta'minlaydi. Plastinka mukammal aşınma qarshiligiga (Vickers 16 GPa), yuqori egilish kuchiga (361 MPa) va 800°C gacha issiqlik barqarorligiga ega. Diametri 600 mm gacha bo'lgan yumaloq formatlarda va uzunligi 1500 mm gacha bo'lgan to'rtburchaklar plitalarda mavjud. Yuvish jarayonlarida shlamni taqsimlash uchun yivli yuzalar (yiv kengligi 0,5–2,0 mm) mavjud. Har bir plastinka lazer interferometri bilan tekshiriladi va aniq o'lchov hisoboti bilan ta'minlanadi.
-
Gofret bilan ishlov berish robotlari uchun yuqori tozalikdagi alumina keramik uchi effektori
St.Cera kompaniyasining alyumin oksidi keramik uch effektori ilg'or 5 o'qli CNC silliqlash uskunalari yordamida 99,8% yuqori tozalikdagi Al₂O₃ dan aniq ishlov beriladi. Bizning ishlab chiqarish imkoniyatlarimizga aniq silliqlash mashinalari va CNC ishlov berish markazlari kiradi, bu esa murakkab geometriyalarni yuqori aniqlikda yaratish imkonini beradi. Uch effektor yupqa profilga (1,5 mm gacha yupqa) ega bo'lib, plastinkani silliq kiritish uchun konussimon oldingi chetiga ega. Material yuqori qattiqlikni (Yung moduli 380 GPa), a'lo aşınma qarshiligini va 800°C gacha issiqlik barqarorligini ta'minlaydi. Har bir birlik 0,003 mm tekislikka, 0,002 mm parallellikka va Ra0.1 sirt qoplamasiga erishish uchun aniq silliqlanadi, bu esa plastinka bilan doimiy aloqa va yarimo'tkazgichli FAB muhitida zarrachalarsiz ishlashni ta'minlaydi. 150 mm dan 450 mm gacha uzunliklarda, maxsus uch geometriyalari (chekka tutqich, Bernoulli, yassi) va OEM robotlariga mos keladigan o'rnatish flanjlari bilan mavjud. Sirtni pardozlash variantlari orasida laklangan, jilolangan yoki ESD dissipativ qoplama (10⁶–10⁹ Ω/kv.m) mavjud.
-
Nozik maydalash va maydalash uchun alyuminiy vakuumli patron
St.Cera kompaniyasining alyuminiy oksidi vakuum patroni 99,8% yuqori tozalikdagi Al₂O₃ dan aniq ishlov berilgan vakuum oluklari bilan ishlab chiqariladi. Bizning aniq silliqlash qobiliyatimiz 0,003 mm tekislikka va 0,002 mm parallellikka erishadi, bu esa maydalash, orqa tomondan silliqlash va tekshirish paytida plastinka fiksatsiyasini ta'minlaydi. Material yuqori egilish kuchi (361 MPa), qattiqlik (16 GPa) va 800°C gacha issiqlik barqarorligini ta'minlaydi. Tashqi diametri 600 mm gacha bo'lgan yumaloq formatlarda va uzunligi 1500 mm gacha bo'lgan to'rtburchaklar shakllarda mavjud. Vakuum oluklari ma'lum bir jarayon talablariga mos ravishda maxsus ishlab chiqilgan (konsentrik, radial yoki panjara naqshlari). Har bir patron lazer interferometri bilan tekshiriladi va tekislikni tekshirish hisoboti bilan ta'minlanadi.
-
Egri va yupqa gofret bilan ishlash uchun metall bilan qoplangan g'ovakli SiC vakuumli patron
St.Cera metall asosidagi keramik vakuum patroni g'ovakli kremniy karbid (SiC) keramik qatlamini aniq ishlov berilgan metall asos (alyuminiy yoki zanglamaydigan po'lat) bilan birlashtiradi. G'ovakli SiC materiali (ko'k-qora, g'ovakliligi 35–40%, g'ovakligi 20–30 mkm, o'tkazuvchanligi 60 ml/sm²·min) butun plastinka yuzasi bo'ylab bir tekis, yumshoq vakuum taqsimlanishini ta'minlaydi, chekka belgilarini yo'q qiladi va yupqa (≤100 mkm) yoki egri plastinkalar uchun kontaktsiz tayanchni ta'minlaydi. SiC qatlami past issiqlik kengayishi (3,5 × 10⁻⁶/℃), 1000°C gacha issiqlik barqarorligi va o'rtacha egilish kuchini (32–35 MPa) ta'minlaydi. Metall asos strukturaviy qattiqlikni, tishli teshiklar orqali oson o'rnatilishini va mo'rt sinishdan himoya qilishni qo'shadi. Ushbu patron plastinkani orqa tomondan silliqlash, maydalash va yuqori haroratli plastinkalarni qayta ishlash uchun idealdir, bu yerda bir xil vakuum va issiqlik mosligi juda muhimdir.
-
Yuqori tozalikdagi alumina keramik plitasi – izolyatsiya va yuqori haroratli armatura uchun
St.Cera keramik plitasi 99,8% yuqori tozalikdagi alumina (Al₂O₃) dan ishlab chiqariladi, yuqori dielektrik mustahkamlik (15×10⁶ V/m), 1600°C gacha issiqlik barqarorligi va a'lo darajadagi aşınma qarshiligini ta'minlaydi. Plitalar 100 mm dan ortiq tekislikka ≤5 μm va sirt pürüzlülüğüne Ra ≤0,4 μm erishish uchun aniqlik bilan ishlangan. 1 mm dan 20 mm gacha standart qalinlikda, 500×500 mm gacha bo'lgan maxsus o'lchamlarda mavjud. Elektr izolyatorlari, isitgich asoslari, kamera qoplamalari va vakuum patron substratlari sifatida ishlatiladi.
