-
Физик ууршуулах системд зориулсан хөнгөн цагааны исэл PVD тусгаарлагч цагираг
St.Cera-ийн PVD тусгаарлагч цагираг нь физик ууршилтын (PVD) системд ашиглах зориулалттай 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан (Al₂O₃)-аар үйлдвэрлэгддэг. Цагираг нь камерын бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хооронд цахилгаан тусгаарлалтыг хангаж, нуман үүсэхээс сэргийлж, плазмын тогтвортой ажиллагааг хангадаг. Гол шинж чанаруудад өндөр диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), хувийн эсэргүүцэл >10¹⁴ Ω·mm²/m, 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдал орно. Бидний нарийн боловсруулалтын чадвар нь гадна диаметрийг 600 мм хүртэл, дотор диаметрийг 0.2 мм хүртэл бууруулж, 0.003 мм тэгш, гадаргуугийн өнгөлгөөг Ra0.1 болгодог. Цагирагны тэг сүвэрхэг чанар болон химийн идэвхгүй байдал нь түрэмгий цацалтын орчинд урт хугацааны найдвартай байдлыг хангадаг.
-
Цахилгаан бууны ууршуулах системд зориулсан хөнгөн цагаан керамик эд ангиуд
St.Cera нь электрон цацраг (E-буу) ууршуулах системд тусгайлан зориулсан өндөр цэвэршилттэй 99.8% хөнгөн цагааны исэл бүхий керамик эд ангиудыг үйлдвэрлэдэг. Эдгээр эд ангиудад тигелийн доторлогоо, цацрагийн хазайлтын бамбай, тусгаарлагч, бэхэлгээний хэрэгсэл багтдаг. Энэхүү материал нь өндөр диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдал, ууршсан материалаас үүсэх дулааны цочрол болон химийн дайралтад маш сайн тэсвэртэй. Бидний нарийвчлалтай боловсруулах чадвар нь хамгийн бага хэмжээ нь 0.2 мм, тэгш байдал 0.003 мм, гадаргуугийн өнгөлгөө Ra0.1 бүхий нарийн төвөгтэй геометрийг бий болгодог. Эд анги бүрийг хэмжээсийн нарийвчлалын хувьд 100% CMM шалгадаг.
-
Хагас дамжуулагч болон үйлдвэрлэлийн хэрэгсэлд зориулсан том хэмжээтэй хөнгөн цагаан керамик хавтан
St.Cera нь 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃)-ээс том хэмжээтэй керамик хавтанг үйлдвэрлэдэг бөгөөд урт нь 1500 мм, өргөн нь 600 мм хүртэлх хамгийн дээд хэмжээстэй. Бидний нарийн нунтаглах чадвар нь 100 мм-ийн хувьд 0.003 мм тэгш, параллелизм нь 0.002 мм бөгөөд том талбайд гадаргуугийн чанарыг тогтвортой байлгадаг. Зузаан нь 100 мм хүртэл, гадаргуугийн өнгөлгөө нь Ra0.1 хүртэл байна. Эдгээр хавтангууд нь хагас дамжуулагч, дэлгэц, фотоволтайк үйлдвэрлэлд вакуум патроны суурь, халаагчийн хавтан, цахилгаан тусгаарлагч хавтан, процессын камерын шал болгон ашигладаг. Нүх, эсрэг нүх, ирмэгийн профиль хийх боломжтой.
-
Битүүмжлэл, дулаалга болон бэхэлгээний зориулалттай нарийн хөнгөн цагааны керамик цагираг
St.Cera-ийн керамик цагираг нь элэгдэлд тэсвэртэй, цахилгаан тусгаарлагч, 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг шаарддаг хэрэглээнд зориулагдсан 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан исэл (Al₂O₃)-аар нарийн боловсруулсан. Манай үйлдвэрлэлийн хүчин чадал нь гадна диаметр нь 600 мм хүртэл, зузаан нь 100 мм хүртэл, дотор диаметр нь 0.2 мм хүртэл, хавтгай нь 0.003 мм, параллелизм нь 0.002 мм, төвлөрөл нь 0.01 мм хүртэл байдаг. Битүүмжлэх цагираг, зайны цагираг, бэхэлгээний цагираг эсвэл захиалгат профайл хэлбэрээр авах боломжтой. Материалын сүвэрхэг чанар нь тэг бөгөөд химийн идэвхгүй байдал нь түрэмгий химийн болон плазмын орчинд тохиромжтой болгодог.
-
Өндөр температур болон идэмхий орчинд зориулсан өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамик хоолой
St.Cera-ийн керамик хоолойг 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан исэл (Al₂O₃)-ээр үйлдвэрлэдэг бөгөөд 1600°C хүртэл маш сайн дулааны тогтвортой байдал, өндөр диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), химийн бодисын эсэргүүцлийг дээд зэргээр хангадаг. Бидний нарийн боловсруулалтын чадвар нь дотоод диаметрийг 0.2 мм хүртэл бага, гадна диаметрийг 600 мм хүртэл, уртыг 1500 мм хүртэл, шулуун нь 0.005 мм, төвлөрөл нь 0.01 мм, гадаргуугийн өнгөлгөөг Ra0.1 болгох боломжийг олгодог. Хоолойн тэг сүвэрхэг чанар (0% ус шингээлт) нь вакуум орчинд хий ялгарахаас сэргийлдэг тул хагас дамжуулагч диффузийн зуух, термопар хамгаалалт, химийн боловсруулалтад тохиромжтой. Захиалгат ханын зузаан болон төгсгөлийн тохиргоо (хавтгай, конус, фланц) боломжтой.
-
Хагас дамжуулагч болон үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн захиалгат хөнгөн цагаан керамик эд ангиуд
St.Cera нь үйлчлүүлэгчийн зургийн дагуу 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан исэл (Al₂O₃)-ээс захиалгат керамик эд анги үйлдвэрлэдэг. Манай үйлдвэр нь нарийн нунтаглах машин болон CNC боловсруулах төвүүдээр тоноглогдсон тул нарийн төвөгтэй керамик эд ангиудыг өндөр нарийвчлалтай үйлдвэрлэх боломжтой. Ердийн эд ангиудад тусгаарлагч, холхивчийн бөмбөлөг, битүүмжлэх цагираг, бутлуур, захиалгат бэхэлгээ, нарийн төвөгтэй геометр орно. Манай үйлдвэрлэлийн чадавхи нь ... дэмждэг.
-
Өндөр температурт хий/шингэн шахах зориулалттай хөнгөн цагааны керамик цорго
St.Cera-ийн керамик цорго нь 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан исэл (Al₂O₃)-ээр нарийн боловсруулагдсан бөгөөд элэгдэлд тэсвэртэй (Vickers 16 GPa), химийн идэвхгүй байдал, 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг. Бидний нарийн боловсруулалтын чадвар нь 0.2 мм хүртэлх жижиг дотоод диаметр, 0.005 мм шулуун, 0.01 мм төвлөрөлтэй бөгөөд урсгалын тогтвортой байдал, шингэн/хийн нарийн тархалтыг хангадаг. Цорго нь урсгалын эсэргүүцлийг багасгаж, бөглөрөлтийг бууруулдаг Ra0.1 гадаргуугийн өнгөлгөөтэй гөлгөр дотоод нүхтэй. Нүхний диаметр нь 0.2 мм-ээс 5.0 мм хүртэл, шулуун, конус хэлбэртэй эсвэл олон нүхтэй гарц зэрэг өөрчлөн тохируулсан геометртэй. Цорго бүрийг хэмжээсээр нь шалгаж, урсгалын жигд байдлыг шалгадаг.
-
Нарийвчлалтай өнгөлөх зориулалттай өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны керамик нунтаглах хавтан
St.Cera-ийн керамик нунтаглах хавтанг нарийн давхцах болон нунтаглах зориулалттай 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан исэл (Al₂O₃)-аар үйлдвэрлэдэг. Бидний нарийн нунтаглах чадвар нь 0.003 мм тэгш, 0.002 мм параллелизм, Ra0.1 гадаргуугийн өнгөлгөөг хангаж, хавтангийн бүх гадаргуу дээр материалыг жигд арилгадаг. Хавтан нь элэгдэлд маш сайн тэсвэртэй (Викерс 16 ГПа), өндөр гулзайлтын бат бэх (361 МПа), 800°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг. 600 мм хүртэл диаметртэй дугуй хэлбэртэй, 1500 мм хүртэл урттай тэгш өнцөгт хэлбэртэй хавтангаар авах боломжтой. Дохиоллын процесст зутан тараах зориулалттай ховилтой гадаргуу (ховилын өргөн 0.5–2.0 мм) байдаг. Хавтан бүрийг лазер интерферометрээр шалгаж, нарийвчлалтай хэмжилтийн тайлантай хамт өгдөг.
-
Вафлитай харьцах роботуудад зориулсан өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны керамик төгсгөлийн эффектор
St.Cera-ийн хөнгөн цагааны керамик төгсгөлийн эффекторыг дэвшилтэт 5 тэнхлэгтэй CNC нунтаглах тоног төхөөрөмж ашиглан 99.8% өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃-оос нарийн боловсруулсан. Бидний үйлдвэрлэлийн хүчин чадалд нарийн нунтаглах машин болон CNC боловсруулах төвүүд багтдаг бөгөөд энэ нь нарийн төвөгтэй геометрийг өндөр нарийвчлалтайгаар хийх боломжийг олгодог. Төгсгөлийн эффектор нь нимгэн профиль (1.5 мм хүртэл нимгэн) бөгөөд вафлийг жигд оруулахын тулд конус хэлбэрийн урд ирмэгтэй. Материал нь өндөр хатуулаг (Young-ийн модуль 380 GPa), маш сайн элэгдэлд тэсвэртэй, 800°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг. Төхөөрөмж бүрийг 0.003 мм хавтгай, 0.002 мм параллелизм, Ra0.1 гадаргуугийн өнгөлгөөг хангахын тулд нарийн нунтагладаг бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагч FAB орчинд вафлийн тогтвортой холбоо барих, бөөмгүй ажиллагааг хангадаг. 150 мм-ээс 450 мм хүртэл урттай, OEM роботуудад тохирох захиалгат үзүүрийн геометр (ирмэгийн бариул, Бернулли, хавтгай) болон бэхэлгээний фланцтай. Гадаргуугийн өнгөлгөөний сонголтуудад өнгөлсөн, өнгөлсөн эсвэл ESD диссипатив бүрхүүл (10⁶–10⁹ Ω/кв) орно.
-
Нарийвчлалтай зүсэх болон нунтаглах зориулалттай хөнгөн цагаан вакуум пах
St.Cera-ийн хөнгөн цагааны ислийн вакуум патроныг 99.8% өндөр цэвэршилттэй Al₂O₃-оос нарийн боловсруулсан вакуум ховилтойгоор үйлдвэрлэдэг. Бидний нарийн нунтаглах чадвар нь 0.003 мм хавтгай, 0.002 мм параллелизмыг бий болгодог бөгөөд энэ нь хэрчих, ар талын нунтаглах, шалгах явцад гажуудалгүй вафийн бэхэлгээг баталгаажуулдаг. Энэ материал нь өндөр гулзайлтын бат бэх (361 МПа), хатуулаг (16 ГПа), 800°C хүртэл дулааны тогтвортой байдлыг хангадаг. 600 мм хүртэл гадна диаметртэй (OD) дугуй хэлбэртэй, 1500 мм хүртэл урттай тэгш өнцөгт хэлбэртэй байдаг. Вакуум ховилыг тодорхой процессын шаардлагад нийцүүлэн захиалгаар (концентрик, радиаль эсвэл торон хээ) хийдэг. Патроны патроныг лазер интерферометрээр шалгаж, хавтгай байдлын баталгаажуулалтын тайлантай хамт өгдөг.
-
Муруй ба нимгэн вафер боловсруулах зориулалттай металл суурьтай сүвэрхэг SiC вакуум чак
St.Cera-ийн металл суурьтай керамик вакуум патрон нь сүвэрхэг цахиурын карбид (SiC) керамик давхаргыг нарийн боловсруулсан металл суурьтай (хөнгөн цагаан эсвэл зэвэрдэггүй ган) хослуулсан. Сүвэрхэг SiC материал (цэнхэр-хар, сүвэрхэг чанар 35–40%, нүх сүвний хэмжээ 20–30 μм, нэвчилт 60 мл/см²·мин) нь вафлийн гадаргуу даяар жигд, зөөлөн вакуум тархалтыг хангаж, ирмэгийн тэмдэглэгээг арилгаж, нимгэн (≤100 μм) эсвэл муруйсан вафлинд хүрэлцэхгүй дэмжлэг үзүүлдэг. SiC давхарга нь бага дулааны тэлэлт (3.5×10⁻⁶/℃), 1000°C хүртэл дулааны тогтвортой байдал, дунд зэргийн гулзайлтын бат бэх (32–35 МПа)-ийг санал болгодог. Металл суурь нь бүтцийн хатуулаг, эрчилсэн нүхээр хялбар бэхлэх, хэврэг хугарлаас хамгаалах боломжийг нэмэгдүүлдэг. Энэхүү патрон нь арын талыг нунтаглах, жижиглэх, өндөр температурт вафли боловсруулахад тохиромжтой бөгөөд жигд вакуум болон дулааны нийцтэй байдал чухал юм.
-
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамик хавтан – дулаалга болон өндөр температурт зориулсан бэхэлгээ
St.Cera-ийн керамик хавтанг 99.8% өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан исэл (Al₂O₃)-ээр үйлдвэрлэдэг бөгөөд өндөр диэлектрик бат бэх (15×10⁶ V/m), 1600°C хүртэл дулааны тогтвортой байдал, маш сайн элэгдэлд тэсвэртэй. Хавтанг 100 мм-ээс дээш тэгш ≤5 μm, гадаргуугийн барзгаржилт Ra ≤0.4 μm болгохын тулд нарийн давхраатай. 1 мм-ээс 20 мм хүртэлх стандарт зузаантай, 500×500 мм хүртэл захиалгат хэмжээтэйгээр авах боломжтой. Цахилгаан тусгаарлагч, халаагчийн суурь, камерын доторлогоо, вакуум паурын суурь болгон ашигладаг.
