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Anneau d'isolation en alumine PVD pour systèmes de dépôt physique en phase vapeur
L'anneau d'isolation PVD de St.Cera est fabriqué à partir d'alumine (Al₂O₃) de haute pureté (99,8 %) pour les systèmes de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Cet anneau assure l'isolation électrique entre les composants de la chambre, prévenant ainsi les arcs électriques et garantissant un fonctionnement stable du plasma. Ses principales caractéristiques comprennent une rigidité diélectrique élevée (15 × 10⁶ V/m), une résistivité supérieure à 10¹⁴ Ω·mm²/m et une stabilité thermique jusqu'à 1 600 °C. Grâce à notre usinage de précision, nous pouvons réaliser des diamètres extérieurs jusqu'à 600 mm, des diamètres intérieurs jusqu'à 0,2 mm, une planéité de 0,003 mm et un état de surface Ra 0,1. L'absence de porosité et l'inertie chimique de l'anneau garantissent une fiabilité à long terme, même dans les environnements de pulvérisation cathodique les plus agressifs.
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Pièces en céramique d'alumine pour systèmes d'évaporation de pistolets électroniques
St.Cera fabrique des composants en céramique d'alumine de haute pureté (99,8 %) spécialement conçus pour les systèmes d'évaporation par faisceau d'électrons (canon E). Ces pièces comprennent des revêtements de creuset, des écrans déflecteurs de faisceau, des isolateurs et des dispositifs de fixation. Le matériau offre une rigidité diélectrique élevée (15 × 10⁶ V/m), une stabilité thermique jusqu'à 1 600 °C et une excellente résistance aux chocs thermiques et aux attaques chimiques des matériaux évaporés. Nos capacités d'usinage de précision permettent de réaliser des géométries complexes avec une dimension minimale de 0,2 mm, une planéité de 0,003 mm et un état de surface Ra 0,1. Chaque pièce est contrôlée à 100 % par machine à mesurer tridimensionnelle (MMT) pour garantir sa précision dimensionnelle.
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Plaque en céramique d'alumine grand format pour dispositifs de fixation dans les secteurs des semi-conducteurs et de l'industrie
St.Cera fabrique des plaques céramiques grand format en alumine (Al₂O₃) de haute pureté (99,8 %), jusqu'à 1 500 mm de longueur et 600 mm de largeur. Notre rectification de précision garantit une planéité de 0,003 mm sur 100 mm et un parallélisme de 0,002 mm, assurant ainsi une qualité de surface constante pour les applications de grande surface. Épaisseur jusqu'à 100 mm, rugosité de surface Ra jusqu'à 0,1. Ces plaques sont utilisées comme supports de mandrins à vide, plateaux chauffants, panneaux d'isolation électrique et fonds de chambres de traitement dans les industries des semi-conducteurs, de l'affichage et du photovoltaïque. Perçages traversants, lamages et profilage des bords disponibles.
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Bague en céramique d'alumine de précision pour l'étanchéité, l'isolation et la fixation
La bague en céramique St.Cera est usinée avec précision à partir d'alumine (Al₂O₃) de haute pureté (99,8 %) pour les applications exigeant une résistance élevée à l'usure, une isolation électrique et une stabilité thermique jusqu'à 1 600 °C. Nos capacités de production permettent de réaliser des diamètres extérieurs jusqu'à 600 mm, des épaisseurs jusqu'à 100 mm et des diamètres intérieurs aussi faibles que 0,2 mm, avec une planéité de 0,003 mm, un parallélisme de 0,002 mm et une concentricité de 0,01 mm. Disponible en bagues d'étanchéité, entretoises, bagues de retenue ou profils sur mesure. L'absence de porosité et l'inertie chimique du matériau le rendent adapté aux environnements chimiques agressifs et aux plasmas.
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Tube en céramique d'alumine haute pureté pour environnements à haute température et corrosifs
Le tube en céramique de St.Cera est fabriqué à partir d'alumine (Al₂O₃) de haute pureté (99,8 %), offrant une excellente stabilité thermique jusqu'à 1 600 °C, une rigidité diélectrique élevée (15 × 10⁶ V/m) et une résistance chimique supérieure. Nos capacités d'usinage de précision permettent d'obtenir des diamètres intérieurs de seulement 0,2 mm, des diamètres extérieurs jusqu'à 600 mm et des longueurs jusqu'à 1 500 mm, avec une rectitude de 0,005 mm, une concentricité de 0,01 mm et un état de surface Ra 0,1. L'absence de porosité du tube (0 % d'absorption d'eau) empêche le dégazage sous vide, ce qui le rend idéal pour les fours de diffusion pour semi-conducteurs, la protection des thermocouples et les procédés chimiques. Des épaisseurs de paroi et des configurations d'extrémités personnalisées (plates, coniques, à brides) sont disponibles.
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Pièces en céramique d'alumine sur mesure pour équipements semi-conducteurs et industriels
St.Cera fabrique des pièces céramiques sur mesure à partir d'alumine de haute pureté (Al₂O₃) à 99,8 %, selon les plans du client. Notre usine est équipée de rectifieuses de précision et de centres d'usinage CNC, permettant la production de composants céramiques complexes avec une grande précision. Parmi les pièces typiques, on trouve des isolateurs, des billes de roulement, des bagues d'étanchéité, des coussinets, des montages sur mesure et des pièces aux géométries complexes. Nos capacités de production soutiennent
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Buse en céramique d'alumine pour l'injection de gaz/fluides à haute température
La buse en céramique de St.Cera est usinée avec précision à partir d'alumine (Al₂O₃) de haute pureté (99,8 %), offrant une résistance à l'usure élevée (Vickers 16 GPa), une inertie chimique et une stabilité thermique jusqu'à 1 600 °C. Notre usinage de précision permet d'atteindre un diamètre intérieur minimal de 0,2 mm, avec une rectitude de 0,005 mm et une concentricité de 0,01 mm, garantissant un débit constant et une distribution précise des fluides/gaz. La buse présente un alésage intérieur lisse avec un état de surface Ra 0,1, minimisant la résistance à l'écoulement et réduisant les risques d'obstruction. Des diamètres d'orifice de 0,2 mm à 5,0 mm sont disponibles, avec des géométries personnalisées incluant des sorties droites, coniques ou multi-orifices. Chaque buse est contrôlée dimensionnellement et son uniformité d'écoulement est vérifiée.
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Plateau de meulage en céramique d'alumine de haute pureté pour rodage de précision
La plaque de rectification en céramique St.Cera est fabriquée à partir d'alumine (Al₂O₃) de haute pureté (99,8 %) pour les applications de rodage et de rectification de précision. Notre capacité de rectification de précision garantit une planéité de 0,003 mm, un parallélisme de 0,002 mm et un état de surface Ra 0,1, assurant un enlèvement de matière uniforme sur toute la surface de la plaque. Cette dernière offre une excellente résistance à l'usure (Vickers 16 GPa), une haute résistance à la flexion (361 MPa) et une stabilité thermique jusqu'à 800 °C. Elle est disponible en formats ronds jusqu'à 600 mm de diamètre et rectangulaires jusqu'à 1500 mm de longueur. Des surfaces rainurées (largeur de rainure 0,5 à 2,0 mm) sont disponibles pour la distribution de la suspension abrasive lors des opérations de rodage. Chaque plaque est contrôlée par interférométrie laser et est fournie avec un rapport de mesure de précision.
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Effecteur terminal en céramique d'alumine de haute pureté pour robots de manipulation de plaquettes
L'effecteur en céramique d'alumine de St.Cera est usiné avec précision à partir d'Al₂O₃ de haute pureté (99,8 %) grâce à des rectifieuses CNC 5 axes de pointe. Nos capacités de production incluent des rectifieuses de précision et des centres d'usinage CNC, permettant la réalisation de géométries complexes avec une grande précision. L'effecteur présente un profil mince (jusqu'à 1,5 mm) et un bord d'attaque conique pour une insertion aisée de la plaquette. Le matériau offre une rigidité élevée (module de Young de 380 GPa), une excellente résistance à l'usure et une stabilité thermique jusqu'à 800 °C. Chaque unité est rectifiée avec précision pour atteindre une planéité de 0,003 mm, un parallélisme de 0,002 mm et un état de surface Ra 0,1, garantissant un contact constant avec la plaquette et un fonctionnement sans particules dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs. Disponible en longueurs de 150 mm à 450 mm, avec des géométries de pointe personnalisées (à mors, Bernoulli, plate) et des brides de montage compatibles avec les robots OEM. Les options de finition de surface comprennent le rodage, le polissage ou le revêtement dissipateur ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
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Mandrin à vide en alumine pour découpe et broyage de précision
Le mandrin à vide en alumine de St.Cera est fabriqué à partir d'Al₂O₃ de haute pureté (99,8 %) et doté de rainures à vide usinées avec précision. Notre procédé de rectification de précision garantit une planéité de 0,003 mm et un parallélisme de 0,002 mm, assurant ainsi une fixation sans déformation des plaquettes lors du découpage, du meulage de la face arrière et du contrôle. Ce matériau offre une résistance à la flexion élevée (361 MPa), une dureté de 16 GPa et une stabilité thermique jusqu'à 800 °C. Disponible en formats ronds jusqu'à 600 mm de diamètre extérieur et rectangulaires jusqu'à 1500 mm de longueur. Les rainures à vide sont conçues sur mesure (motifs concentriques, radiaux ou en grille) pour répondre aux exigences spécifiques de chaque procédé. Chaque mandrin est contrôlé par interférométrie laser et est fourni avec un rapport de vérification de planéité.
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Mandrin à vide en SiC poreux à support métallique pour la manipulation de plaquettes déformées et minces
Le mandrin à vide céramique à base métallique de St.Cera associe une couche de céramique poreuse en carbure de silicium (SiC) à une base métallique usinée avec précision (aluminium ou acier inoxydable). Le matériau SiC poreux (bleu-noir, porosité 35–40 %, taille des pores 20–30 μm, perméabilité 60 ml/cm²·min) assure une distribution uniforme et douce du vide sur toute la surface de la plaquette, éliminant ainsi les marques sur les bords et permettant un support sans contact pour les plaquettes fines (≤ 100 μm) ou déformées. La couche de SiC présente un faible coefficient de dilatation thermique (3,5 × 10⁻⁶/°C), une stabilité thermique jusqu'à 1000 °C et une résistance à la flexion modérée (32–35 MPa). La base métallique renforce la rigidité structurelle, facilite le montage grâce à des trous taraudés et protège contre la rupture fragile. Ce mandrin est idéal pour le meulage de la face arrière, le découpage et le traitement des plaquettes à haute température, applications où un vide uniforme et une bonne compatibilité thermique sont essentiels.
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Plaque en céramique d'alumine de haute pureté – pour l'isolation et les installations haute température
La plaque céramique St.Cera est fabriquée à partir d'alumine de haute pureté (Al₂O₃) à 99,8 %, offrant une rigidité diélectrique élevée (15 × 10⁶ V/m), une stabilité thermique jusqu'à 1 600 °C et une excellente résistance à l'usure. Les plaques sont rodées avec précision pour obtenir une planéité ≤ 5 µm sur 100 mm et une rugosité de surface Ra ≤ 0,4 µm. Disponibles en épaisseurs standard de 1 mm à 20 mm et en dimensions sur mesure jusqu'à 500 × 500 mm. Elles sont utilisées comme isolants électriques, supports de chauffage, revêtements de chambres et substrats pour mandrins à vide.
