-
Alumiiniumoksiidi PVD isolatsioonirõngas füüsikalise aurustamise-sadestamise süsteemidele
St.Cera PVD isolatsioonirõngas on valmistatud 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃) ja seda kasutatakse füüsikalise aurustamise (PVD) süsteemides. Rõngas tagab kambri komponentide vahelise elektrilise isolatsiooni, hoides ära kaarlahenduse ja tagades stabiilse plasma töö. Peamised omadused hõlmavad kõrget dielektrilist tugevust (15×10⁶ V/m), eritakistust >10¹⁴ Ω·mm²/m ja termilist stabiilsust kuni 1600 °C. Meie täppistöötlusvõimalused saavutavad välisläbimõõdud kuni 600 mm, siseläbimõõdud kuni 0,2 mm, tasapinna 0,003 mm ja pinnaviimistluse Ra0,1. Rõnga nullpoorsus ja keemiline inerts tagavad pikaajalise töökindluse agressiivses pihustuskeskkonnas.
-
Alumiiniumoksiidi keraamilised osad E-püstoli aurustussüsteemidele
St.Cera toodab spetsiaalselt elektronkiire (E-kahur) aurustussüsteemidele loodud kõrge puhtusastmega 99,8% alumiiniumoksiidi keraamilisi komponente. Nende osade hulka kuuluvad tiigli voodrid, kiire deflektorkilbid, isolaatorid ja kinnitusdetailid. Materjalil on kõrge dielektriline tugevus (15×10⁶ V/m), termiline stabiilsus kuni 1600 °C ning suurepärane vastupidavus aurustunud materjalide kuumalöögile ja keemilisele rünnakule. Meie täppistöötlusvõimekus võimaldab saavutada keerulisi geomeetriaid, mille minimaalne detaili suurus on 0,2 mm, tasapind 0,003 mm ja pinnaviimistlus Ra0,1. Iga detaili mõõtmete täpsus on 100% CMM-kontrolli all.
-
Suureformaadiline alumiiniumoksiidi keraamiline plaat pooljuhtide ja tööstusseadmete jaoks
St.Cera toodab suureformaadilisi keraamilisi plaate 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃), mille maksimaalsed mõõtmed on kuni 1500 mm pikkuses ja 600 mm laiuses. Meie täppislihvimisvõimalused saavutavad tasapinna 0,003 mm 100 mm ulatuses ja paralleelsuse 0,002 mm, tagades ühtlase pinnakvaliteedi suurte pindade puhul. Paksus kuni 100 mm, pinnaviimistlus kuni Ra0,1. Neid plaate kasutatakse vaakumpadrunite alustena, kütteplaatidena, elektriisolatsioonipaneelidena ja protsessikambrite põrandatena pooljuhtide, kuvarite ja fotogalvaanika tootmises. Saadaval on läbivad avad, süvendid ja servaprofiilid.
-
Täppis-alumiiniumoksiidi keraamiline rõngas tihendamiseks, isolatsiooniks ja kinnituseks
St.Cera keraamiline rõngas on täppistöödeldud 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃) rakenduste jaoks, mis nõuavad suurt kulumiskindlust, elektriisolatsiooni ja termilist stabiilsust kuni 1600 °C. Meie tootmisvõimalused toetavad välisläbimõõtu kuni 600 mm, paksust kuni 100 mm ja siseläbimõõtu alates 0,2 mm, tasapinnalisusega 0,003 mm, paralleelsusega 0,002 mm ja kontsentrilisusega 0,01 mm. Saadaval tihendusrõngaste, vaherõngaste, kinnitusrõngaste või kohandatud profiilidena. Materjali nullpoorsus ja keemiline inertsus muudavad selle sobivaks agressiivsetele keemilistele ja plasmakeskkondadele.
-
Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamiline toru kõrge temperatuuri ja söövitava keskkonna jaoks
St.Cera keraamiline toru on valmistatud 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃), pakkudes suurepärast termilist stabiilsust kuni 1600 °C, suurt dielektrilist tugevust (15 × 10⁶ V/m) ja suurepärast keemilist vastupidavust. Meie täppistöötlusvõimalused võimaldavad sisediameetrit kuni 0,2 mm, välisdiameetrit kuni 600 mm ja pikkust kuni 1500 mm, sirguse 0,005 mm, kontsentrilisuse 0,01 mm ja pinnaviimistlusega Ra0,1. Toru nullpoorsus (0% veeimavus) hoiab ära gaaside eraldumise vaakumkeskkonnas, mistõttu sobib see ideaalselt pooljuhtide difusioonahjude, termopaari kaitsmiseks ja keemiliseks töötlemiseks. Saadaval on ka kohandatud seinapaksused ja otsakonfiguratsioonid (tasane, kooniline, äärisega).
-
Kohandatud alumiiniumoksiidi keraamilised osad pooljuhtide ja tööstusseadmete jaoks
St.Cera toodab kliendi jooniste järgi 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃) eritellimusel keraamilisi detaile. Meie tehas on varustatud täppislihvimismasinate ja CNC-töötluskeskustega, mis võimaldavad toota keerukaid keraamilisi komponente suure täpsusega. Tüüpiliste osade hulka kuuluvad isolaatorid, laagrikuulid, tihendusrõngad, puksid, eritellimusel valmistatud kinnitusdetailid ja keerulised geomeetriad. Meie tootmisvõimalused toetavad
-
Alumiiniumoksiidi keraamiline otsik kõrge temperatuuriga gaasi/vedeliku sissepritse jaoks
St.Cera keraamiline otsik on täppistöödeldud 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃), pakkudes suurt kulumiskindlust (Vickers 16 GPa), keemilist inertsust ja termilist stabiilsust kuni 1600 °C. Meie täppistöötlemisvõimalused saavutavad sisediameetri vaid 0,2 mm, sirguse 0,005 mm ja kontsentrilisuse 0,01 mm, tagades ühtlase voolu ja täpse vedeliku/gaasi jaotuse. Otsikul on sile sisemine ava pinnaviimistlusega Ra0.1, mis minimeerib voolutakistust ja vähendab ummistumist. Ava läbimõõdud on vahemikus 0,2 mm kuni 5,0 mm, kohandatud geomeetriaga, sealhulgas sirged, koonilised või mitme avaga väljundid. Iga otsikut kontrollitakse mõõtmete ja voolu ühtluse osas.
-
Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamiline lihvplaat täppislappimiseks
St.Cera keraamiline lihvplaat on valmistatud 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃) täppislihvimiseks ja -paigaldamiseks. Meie täppislihvimisvõime saavutab tasapinna 0,003 mm, paralleelsuse 0,002 mm ja pinnaviimistluse Ra0,1, tagades ühtlase materjali eemaldamise kogu plaadi pinnalt. Plaadil on suurepärane kulumiskindlus (Vickers 16 GPa), kõrge paindetugevus (361 MPa) ja termiline stabiilsus kuni 800 °C. Saadaval ümmarguste plaatidena läbimõõduga kuni 600 mm ja ristkülikukujuliste plaatidena pikkusega kuni 1500 mm. Soontega pinnad (soone laius 0,5–2,0 mm) on saadaval suspensiooni jaotamiseks soppimisprotsessides. Iga plaati kontrollitakse laserinterferomeetriga ja sellele tarnitakse täppismõõtmise aruanne.
-
Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamiline efektorplokk vahvlite käitlemise robotitele
St.Cera alumiiniumoksiid-keraamiline efektor on täppistöödeldud 99,8% kõrge puhtusastmega Al₂O₃-st, kasutades täiustatud 5-teljelist CNC-lihvimisseadet. Meie tootmisvõimaluste hulka kuuluvad täppislihvimismasinad ja CNC-töötluskeskused, mis võimaldavad keerukate geomeetriate valmistamist suure täpsusega. Efektoril on õhuke profiil (kuni 1,5 mm) ja kooniline esiserv sujuvaks kiibi sisestamiseks. Materjal tagab suure jäikuse (Youngi moodul 380 GPa), suurepärase kulumiskindluse ja termilise stabiilsuse kuni 800 °C. Iga üksus on täppislihvitud, et saavutada 0,003 mm tasapind, 0,002 mm paralleelsus ja Ra0,1 pinnaviimistlus, mis tagab kiibi ühtlase kontakti ja osakestevaba töö pooljuhtide FAB-keskkondades. Saadaval pikkustes 150 mm kuni 450 mm, kohandatud otsageomeetriatega (servahaarduvus, Bernoulli, tasane) ja kinnitusäärikutega, et need sobiksid OEM-robotite jaoks. Pinnaviimistlusvõimaluste hulka kuuluvad kattega, poleeritud või ESD-d hajutav kate (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
Alumiiniumoksiidi vaakumpadrun täppis-kuubikuteks ja jahvatamiseks
St.Cera alumiiniumoksiidi vaakumpadrun on valmistatud 99,8% kõrge puhtusastmega Al₂O₃-st ja sellel on täppistöödeldud vaakumsooned. Meie täppislihvimisvõime saavutab 0,003 mm tasapinna ja 0,002 mm paralleelsuse, tagades väändumisvaba kiibi fikseerimise kuubikuteks lõikamise, tagakülje lihvimise ja kontrolli ajal. Materjalil on kõrge paindetugevus (361 MPa), kõvadus (16 GPa) ja termiline stabiilsus kuni 800 °C. Saadaval ümarate vormidena kuni 600 mm välisläbimõõduga (OD) ja ristkülikukujuliste kujunditena kuni 1500 mm pikkusega. Vaakumsooned on eritellimusel valmistatud (kontsentrilised, radiaalsed või ruudukujulised), et need vastaksid konkreetsetele protsessinõuetele. Iga padrunit kontrollitakse laserinterferomeetriga ja sellele lisatakse tasapinna kontrollimise aruanne.
-
Metallist aluspinnaga poorne SiC-vaakumpadrun kõverdunud ja õhukeste vahvlite käitlemiseks
St.Cera metallpõhine keraamiline vaakumpadrun ühendab poorse ränikarbiidist (SiC) keraamilise kihi täppistöödeldud metallalusega (alumiinium või roostevaba teras). Poorne SiC-materjal (sinine-must, poorsus 35–40%, pooride suurus 20–30 μm, läbilaskvus 60 ml/cm²·min) tagab ühtlase ja õrna vaakumjaotuse kogu vahvli pinnal, välistades servade märgistamise ja võimaldades kontaktivaba tuge õhukeste (≤100 μm) või moonutatud vahvlite jaoks. SiC-kiht pakub väikest soojuspaisumist (3,5×10⁻⁶/℃), termilist stabiilsust kuni 1000 °C ja mõõdukat paindetugevust (32–35 MPa). Metallalus lisab konstruktsioonilist jäikust, hõlpsat paigaldamist keermestatud aukude kaudu ja kaitset hapra purunemise eest. See padrun sobib ideaalselt tagakülje lihvimiseks, tükeldamiseks ja kõrgel temperatuuril vahvlite töötlemiseks, kus ühtlane vaakum ja termiline ühilduvus on kriitilise tähtsusega.
-
Kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidi keraamiline plaat – isolatsiooniks ja kõrge temperatuuriga armatuuride jaoks
St.Cera keraamiline plaat on valmistatud 99,8% kõrge puhtusastmega alumiiniumoksiidist (Al₂O₃), millel on kõrge dielektriline tugevus (15 × 10⁶ V/m), termiline stabiilsus kuni 1600 °C ja suurepärane kulumiskindlus. Plaadid on täppislihvitud, et saavutada tasapind ≤5 μm 100 mm ulatuses ja pinna karedus Ra ≤0,4 μm. Saadaval standardpaksustes 1 mm kuni 20 mm, eritellimusel valmistatud suurused kuni 500 × 500 mm. Kasutatakse elektriisolaatoritena, küttekehade alustena, kambrite vooderdistena ja vaakumpadrunite alusmaterjalina.
