-
Aluminiumoxid PVD Isolatiounsring fir physikalesch Dampfdepositiounssystemer
De PVD-Isolatiounsrank vu St.Cera gëtt aus 99,8% héichreinegem Aluminiumoxid (Al₂O₃) fir de Gebrauch a physikalesche Gasoflagerungssystemer (PVD) hiergestallt. De Rank bitt elektresch Isolatioun tëscht de Kammerkomponenten, verhënnert Béibildung a garantéiert e stabile Plasmabetrieb. Schlësseleegeschafte sinn eng héich dielektresch Stäerkt (15×10⁶ V/m), e spezifesche Widderstand >10¹⁴ Ω·mm²/m an eng thermesch Stabilitéit bis zu 1600°C. Eis Präzisiounsbearbechtungsméiglechkeeten erreechen äusseren Duerchmiesser bis zu 600 mm, bannenzegen Duerchmiesser bis zu 0,2 mm, eng Flaachheet vun 0,003 mm an eng Uewerflächenfinish Ra0,1. Déi null Porositéit an déi chemesch Inertitéit vum Rank garantéieren eng laangfristeg Zouverlässegkeet an aggressiven Sputterungsumgebungen.
-
Aluminiumoxid Keramik Deeler fir E-Gun Verdampfungssystemer
St.Cera produzéiert héichreine Keramikkomponenten aus 99,8% Aluminiumoxid, déi speziell fir Elektronestrahl-Verdampfungssystemer (E-Gun) entwéckelt goufen. Dës Deeler enthalen Tichel-Auskleidungen, Stralenablenker, Isolatoren a Montagearmaturen. D'Material bitt eng héich dielektresch Stäerkt (15×10⁶ V/m), thermesch Stabilitéit bis zu 1600°C an exzellent Resistenz géint Wärmeschock a chemeschen Attacken duerch verdampft Materialien. Eis Präzisiounsbearbechtungsméiglechkeeten erreechen komplex Geometrien mat enger minimaler Featuregréisst vun 0,2 mm, enger Flaachheet vun 0,003 mm an enger Uewerflächenfinish vun Ra0,1. All Deel gëtt 100% CMM op Dimensiounsgenauegkeet iwwerpréift.
-
Groussformat Aluminiumoxid Keramikplack fir Hallefleiter- & Industriearmaturen
St.Cera produzéiert groussformateg Keramikplacken aus 99,8% héichreinegem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mat maximalen Dimensiounen bis zu 1500 mm an der Längt an 600 mm an der Breet. Eis Präzisiounsschleifkapazitéiten erreechen eng Flaachheet vun 0,003 mm iwwer 100 mm an eng Parallelitéit vun 0,002 mm, wat eng konsequent Uewerflächenqualitéit fir groussflächeg Uwendungen garantéiert. Déckt bis zu 100 mm, Uewerflächenabschluss bis zu Ra0,1. Dës Placke déngen als Vakuumfutterbasis, Heizplatten, elektresch Isolatiounspanneauen a Prozesskammerbuedem an der Hallefleeder-, Display- a Photovoltaikproduktioun. Duerchgangslächer, Verzéihungen a Kantenprofiléierung sinn verfügbar.
-
Präzisiounsaluminiumoxid-Keramikring fir Dichtung, Isolatioun & Befestigung
De Keramikrank vu St.Cera ass präzis aus 99,8% héichreinegem Aluminiumoxid (Al₂O₃) veraarbecht fir Uwendungen, déi eng héich Verschleißbeständegkeet, elektresch Isolatioun a thermesch Stabilitéit bis zu 1600°C erfuerderen. Eis Produktiounskapazitéite ënnerstëtzen äusseren Duerchmiesser bis zu 600 mm, eng Déckt bis zu 100 mm an bannenzegen Duerchmiesser vu bis zu 0,2 mm, mat enger Flaachheet vun 0,003 mm, engem Parallelismus vun 0,002 mm an enger Konzentrizitéit vun 0,01 mm. Verfügbar als Dichtungsréng, Distanzréng, Halteréng oder personaliséiert Profiler. Déi null Porositéit an déi chemesch Inertitéit vum Material maachen et gëeegent fir aggressiv chemesch an Plasmaëmfeld.
-
Héichreinheetsaluminiumoxid-Keramikröhrchen fir héichtemperaturéiert & korrosiv Ëmfeld
D'Keramikrouer vu St.Cera gëtt aus 99,8% héichreinegem Aluminiumoxid (Al₂O₃) hiergestallt a bitt eng exzellent thermesch Stabilitéit bis zu 1600°C, eng héich dielektresch Stäerkt (15×10⁶ V/m) an eng iwwerleeën chemesch Resistenz. Eis präzis Bearbeitungsméiglechkeeten erméiglechen bannenzeg Duerchmiesser vu bis zu 0,2 mm, baussenzeg Duerchmiesser vu bis zu 600 mm a Längt vu bis zu 1500 mm, mat enger Geriichtung vun 0,005 mm, enger Konzentrizitéit vun 0,01 mm an enger Uewerflächenfinish vu Ra0,1. Déi null Porositéit vum Rouer (0% Waasserabsorptioun) verhënnert d'Ofgasung a Vakuumëmfeld, wat en ideal fir Hallefleederdiffusiounsuewen, Thermoelementschutz a chemesch Veraarbechtung mécht. Benotzerdefinéiert Wanddicken an Endkonfiguratiounen (flaach, konisch, geflanst) sinn verfügbar.
-
Benotzerdefinéiert Aluminiumoxid Keramikdeeler fir Hallefleiter & Industrieausrüstung
St.Cera produzéiert personaliséiert Keramikdeeler aus 99,8% héichreinegem Aluminiumoxid (Al₂O₃) no Clientzeechnunge. Eis Anlag ass mat Präzisiounsschleifmaschinnen an CNC-Bearbeitungszentren ausgestatt, wat d'Produktioun vu komplexe Keramikkomponenten mat héijer Präzisioun erméiglecht. Typesch Deeler sinn Isolatoren, Lagerkugelen, Dichtungsréng, Büchsen, personaliséiert Befestigungen a komplex Geometrien. Eis Produktiounskapazitéiten ënnerstëtzen...
-
Aluminiumoxid-Keramikdüse fir Héichtemperaturgas-/Flëssegkeetsinjektioun
D'Keramikdüs vu St.Cera ass präzis aus 99,8% héichreinegem Aluminiumoxid (Al₂O₃) verschafft a bitt eng héich Verschleißbeständegkeet (Vickers 16 GPa), chemesch Inertitéit a thermesch Stabilitéit bis zu 1600°C. Eis Präzisiounsbearbechtungsméiglechkeeten erreechen en Innenduerchmiesser vun nëmmen 0,2 mm, mat enger Geriichtung vun 0,005 mm an enger Konzentrizitéit vun 0,01 mm, wat e konsequenten Duerchfluss an eng präzis Flëssegkeets-/Gasverdeelung garantéiert. D'Düs huet eng glat bannenzeg Bohrung mat enger Uewerflächenfinish Ra0.1, wat de Duerchflusswiderstand miniméiert a Verstoppungen reduzéiert. Öffnungsdurchmesser vun 0,2 mm bis 5,0 mm, mat personaliséierte Geometrien, dorënner geraden, konischen oder Multi-Öffnungsausgäng. All Düs gëtt dimensional iwwerpréift an op Duerchflussuniformitéit gepréift.
-
Héichreinheets-Alumina-Keramik-Schleifplack fir Präzisiounsläppen
D'Keramikschleifplack vu St.Cera gëtt aus 99,8% héichreinegem Aluminiumoxid (Al₂O₃) fir präzis Läpp- a Schleifapplikatiounen hiergestallt. Eis Präzisiounsschleifkapazitéit erreecht eng Flaachheet vun 0,003 mm, e Parallelismus vun 0,002 mm an eng Uewerflächenfinish vu Ra0,1, wat eng gläichméisseg Materialentfernung iwwer déi ganz Plackuewerfläch garantéiert. D'Plack bitt exzellent Verschleißbeständegkeet (Vickers 16 GPa), héich Biegefestigkeit (361 MPa) an thermesch Stabilitéit bis zu 800°C. Verfügbar a ronne Formater bis zu engem Duerchmiesser vu 600 mm a rechteckege Placke bis zu enger Längt vu 1500 mm. Geriffelte Flächen (Rillbreet 0,5–2,0 mm) si fir d'Verdeelung vum Schlamm a Läppprozesser verfügbar. All Plack gëtt mat engem Laserinterferometer iwwerpréift a mat engem Präzisiounsmiessrapport geliwwert.
-
Héichreinheetsaluminiumoxid-Keramik-Endeffektor fir Wafer-Handhabungsroboter
Den Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor vu St.Cera gëtt präzis aus 99,8% héichreinem Al₂O₃ mat fortgeschrattener 5-Achs CNC-Schleifanlage verschafft. Eis Produktiounskapazitéite enthalen Präzisiounsschleifmaschinnen a CNC-Bearbeitungszentren, wat komplex Geometrien mat héijer Präzisioun erméiglecht. Den Endeffektor huet e schmuele Profil (sou dënn wéi 1,5 mm) mat enger konischer Virkant fir eng glat Wafer-Asetzen. D'Material bitt eng héich Steifheet (Young's Modul 380 GPa), exzellent Verschleißbeständegkeet an thermesch Stabilitéit bis zu 800°C. All Eenheet gëtt präzis geschliffen, fir eng Flaachheet vun 0,003 mm, e Parallelismus vun 0,002 mm an eng Uewerflächenfinish vun Ra0,1 z'erreechen, wat e konsequente Waferkontakt a partikelfräie Betrib an Halbleiter-FAB-Ëmfeld garantéiert. Verfügbar a Längen vun 150 mm bis 450 mm, mat personaliséierte Spëtzegeometrien (Kantegrëff, Bernoulli, flaach) a Montageflanschen, déi op OEM-Roboter passen. D'Uewerflächenoptioune sinn ënner anerem iwwerlappt, poléiert oder ESD-dissipativ Beschichtung (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
Aluminiumoxid-Vakuumfutter fir Präzisiounswierfelen a Schleifen
De Vakuumfutter vun St.Cera aus Aluminiumoxid gëtt aus 99,8% héichreinem Al₂O₃ mat präzisiounsbearbechte Vakuumrillen hiergestallt. Eis Präzisiounsschleifkapazitéit erreecht eng Flaachheet vun 0,003 mm an e Parallelismus vun 0,002 mm, wat eng verzerrungsfräi Waferfixatioun beim Wierfelen, Réckschleifen an Inspektioun garantéiert. D'Material bitt eng héich Biegefestigkeit (361 MPa), Häert (16 GPa) an thermesch Stabilitéit bis zu 800 °C. Verfügbar a ronne Formater bis zu 600 mm äusseren Duerchmiesser (OD) a rechteckege Formen bis zu 1500 mm Längt. D'Vakuumrillen sinn individuell entworf (konzentresch, radial oder Gittermuster), fir spezifesch Prozessufuerderungen gerecht ze ginn. All Futter gëtt mat engem Laserinterferometer iwwerpréift a mat engem Flaachheetsverifizéierungsrapport geliwwert.
-
Metallgestützte poröse SiC-Vakuumfutter fir d'Handhabung vu verzerrte a dënne Waferen
De Metallbaséierte Keramik-Vakuumfutter vu St.Cera kombinéiert eng poréis Siliziumkarbid (SiC) Keramikschicht mat enger präzisiounsbearbechter Metallbasis (Aluminium oder Edelstol). Dat poréist SiC-Material (blo-schwaarz, Porositéit 35–40%, Poregréisst 20–30 μm, Permeabilitéit 60 ml/cm²·min) suergt fir eng gläichméisseg, sanft Vakuumverdeelung iwwer déi ganz Waferuewerfläch, eliminéiert Kantmarkéierungen an erméiglecht eng kontaktlos Ënnerstëtzung fir dënn (≤100 μm) oder verzerrt Waferen. D'SiC-Schicht bitt eng niddreg thermesch Expansioun (3,5×10⁻⁶/℃), thermesch Stabilitéit bis zu 1000°C an eng mëttel Biegefestigkeit (32–35 MPa). D'Metallbasis suergt fir strukturell Steifheet, einfach Montage iwwer Gewënnlächer a Schutz géint sprécheg Broch. Dëse Futter ass ideal fir Récksäitschleifen, Wierfelen an Héichtemperatur-Waferveraarbechtung, wou eng gläichméisseg Vakuum- a thermesch Kompatibilitéit entscheedend sinn.
-
Héichreinheetsaluminiumoxid-Keramikplack – fir Isolatioun & Héichtemperaturarmaturen
D'Keramikplack vu St.Cera gëtt aus 99,8% héichreinegem Aluminiumoxid (Al₂O₃) hiergestallt, wat eng héich dielektresch Stäerkt (15×10⁶ V/m), thermesch Stabilitéit bis zu 1600°C an exzellent Verschleißbeständegkeet bitt. D'Placke gi präzis iwwerlappt, fir eng Flaachheet ≤5 μm iwwer 100 mm an eng Uewerflächenrauheet Ra ≤0,4 μm z'erreechen. Verfügbar a Standarddicken vun 1 mm bis 20 mm, personaliséierte Gréissten bis zu 500×500 mm. Benotzt als elektresch Isolatoren, Heizbasis, Kammerauskleeder a Vakuumfuttersubstrater.
