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Anellu d'isolamentu PVD d'alumina per sistemi di deposizione fisica di vapore
L'anellu d'isolamentu PVD di St.Cera hè fabbricatu da 99,8% d'alumina d'alta purezza (Al₂O₃) per l'usu in sistemi di deposizione fisica da vapore (PVD). L'anellu furnisce un isolamentu elettricu trà i cumpunenti di a camera, impedendu l'archi è assicurendu un funziunamentu stabile di u plasma. E proprietà chjave includenu un'alta resistenza dielettrica (15×10⁶ V/m), una resistenza specifica >10¹⁴ Ω·mm²/m è una stabilità termica finu à 1600°C. E nostre capacità di machinazione di precisione ottenenu diametri esterni finu à 600 mm, diametri interni finu à 0,2 mm, planarità di 0,003 mm è finitura superficiale Ra0.1. A porosità zero è l'inerzia chimica di l'anellu garantiscenu un'affidabilità à longu andà in ambienti di sputtering aggressivi.
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Parti di ceramica d'alumina per sistemi di evaporazione di pistole elettroniche
St.Cera fabrica cumpunenti ceramici d'alumina d'alta purezza à 99,8% specificamente cuncipiti per i sistemi d'evaporazione à fasciu elettronicu (E-gun). Queste parti includenu rivestimenti per crogioli, schermi deflettori di fasciu, isolanti è dispositivi di montaggio. U materiale offre un'alta resistenza dielettrica (15 × 10⁶ V/m), stabilità termica finu à 1600 °C è un'eccellente resistenza à i shock termichi è à l'attaccu chimicu da i materiali evaporati. E nostre capacità di lavorazione di precisione permettenu di ottene geometrie cumplesse cù una dimensione minima di 0,2 mm, planarità 0,003 mm è finitura superficiale Ra0,1. Ogni parte hè ispezionata CMM à 100% per a precisione dimensionale.
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Piastra ceramica d'alumina di grande furmatu per semiconduttori è apparecchi industriali
St.Cera fabrica piastre ceramiche di grande furmatu da 99,8% d'alumina d'alta purezza (Al₂O₃) cù dimensioni massime finu à 1500 mm di lunghezza è 600 mm di larghezza. E nostre capacità di rettifica di precisione ottenenu una planarità di 0,003 mm sopra 100 mm è un parallelismu di 0,002 mm, assicurendu una qualità di superficia consistente per applicazioni di grande superficie. Spessore finu à 100 mm, finitura superficiale finu à Ra0,1. Queste piastre servenu cum'è basi di mandrini à vuoto, piastre riscaldanti, pannelli d'isolamentu elettricu è pavimenti di camere di prucessu in a fabricazione di semiconduttori, display è fotovoltaici. Fori passanti, controfori è profilatura di bordi dispunibili.
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Anellu ceramicu d'alumina di precisione per sigillatura, isolamentu è fissaggio
L'anellu ceramicu di St.Cera hè machinatu cù precisione da 99,8% d'alumina d'alta purezza (Al₂O₃) per applicazioni chì richiedenu alta resistenza à l'usura, isolamentu elettricu è stabilità termica finu à 1600 °C. E nostre capacità di fabricazione supportanu diametri esterni finu à 600 mm, spessori finu à 100 mm è diametri interni finu à 0,2 mm, cù una planarità di 0,003 mm, un parallelismu di 0,002 mm è una concentricità di 0,01 mm. Disponibile cum'è anelli di tenuta, anelli distanziatori, anelli di ritenzione o profili persunalizati. A porosità zero è l'inerzia chimica di u materiale u rendenu adattatu per ambienti chimichi è plasma aggressivi.
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Tubu di ceramica d'alumina d'alta purezza per ambienti à alta temperatura è corrosivi
U tubu ceramicu di St.Cera hè fabbricatu da 99,8% d'alumina d'alta purezza (Al₂O₃), chì offre una eccellente stabilità termica finu à 1600 °C, un'alta resistenza dielettrica (15 × 10⁶ V/m) è una resistenza chimica superiore. E nostre capacità di machinazione di precisione permettenu diametri interni finu à 0,2 mm, diametri esterni finu à 600 mm è lunghezze finu à 1500 mm, cù una linearità di 0,005 mm, una concentricità di 0,01 mm è una finitura superficiale di Ra0,1. A porosità zero di u tubu (0% d'assorbimentu d'acqua) impedisce u degassamentu in ambienti di vuoto, rendendulu ideale per forni di diffusione di semiconduttori, prutezzione di termocoppie è trasfurmazione chimica. Spessori di parete persunalizati è cunfigurazioni di estremità (piatte, coniche, flangiate) sò dispunibili.
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Pezzi di ceramica d'alumina persunalizati per semiconduttori è apparecchiature industriali
St.Cera fabrica pezzi di ceramica persunalizati da 99,8% d'alumina d'alta purezza (Al₂O₃) secondu i disegni di i clienti. A nostra struttura hè dotata di macchine di rettifica di precisione è centri di lavorazione CNC, chì permettenu a pruduzzione di cumpunenti ceramici cumplessi cù alta precisione. I pezzi tipici includenu isolatori, sfere di cuscinetti, anelli di tenuta, boccole, dispositivi di fissaggio persunalizati è geometrie cumplesse. E nostre capacità di fabricazione supportanu
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Ugello di ceramica d'alumina per iniezione di gas/fluidi à alta temperatura
L'ugellu ceramicu di St.Cera hè machinatu cù precisione da 99,8% d'alumina d'alta purezza (Al₂O₃), chì offre una alta resistenza à l'usura (Vickers 16 GPa), inerzia chimica è stabilità termica finu à 1600 °C. E nostre capacità di machinazione di precisione ottenenu un diametru internu di solu 0,2 mm, cù una linearità di 0,005 mm è una concentricità di 0,01 mm, assicurendu un flussu consistente è una distribuzione precisa di fluidi/gas. L'ugellu presenta un foru internu lisciu cù una finitura superficiale Ra0.1, chì minimizza a resistenza à u flussu è riduce l'intasamentu. Diametri di l'orifizi da 0,2 mm à 5,0 mm, cù geometrie persunalizate cumprese uscite dritte, coniche o multi-orifizi. Ogni ugellu hè ispezionatu dimensionalmente è verificatu per l'uniformità di u flussu.
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Piastra di macinazione in ceramica d'alumina d'alta purezza per lappatura di precisione
A piastra di macinazione in ceramica di St.Cera hè fabbricata da 99,8% d'alumina d'alta purezza (Al₂O₃) per applicazioni di lappatura è di macinazione di precisione. A nostra capacità di macinazione di precisione raggiunge una planarità di 0,003 mm, un parallelismu di 0,002 mm è una finitura superficiale di Ra0,1, assicurendu una rimozione uniforme di materiale su tutta la superficie della piastra. A piastra offre un'eccellente resistenza all'usura (Vickers 16 GPa), un'alta resistenza alla flessione (361 MPa) è una stabilità termica fino a 800 °C. Disponibile in formati tondi fino a 600 mm di diametro è piastre rettangulari fino a 1500 mm di lunghezza. Superfici scanalate (larghezza della scanalatura 0,5-2,0 mm) sono disponibili per la distribuzione di fanghi in processi di lappatura. Ogni piastra hè ispezionata cù un interferometro laser è furnita cun un rapportu di misurazione di precisione.
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Effettore finale in ceramica d'alumina d'alta purezza per robot di manipolazione di wafer
L'effettore finale in ceramica d'alumina di St.Cera hè machinatu cù precisione da Al₂O₃ d'alta purezza à 99,8% utilizendu apparecchiature avanzate di rettifica CNC à 5 assi. E nostre capacità di fabricazione includenu macchine di rettifica di precisione è centri di lavorazione CNC, chì permettenu geometrie cumplesse cù alta precisione. L'effettore finale presenta un prufilu sottile (finu à 1,5 mm) cù un bordu d'attaccu cunicu per una inserzione liscia di u wafer. U materiale furnisce una rigidità elevata (modulu di Young 380 GPa), un'eccellente resistenza à l'usura è una stabilità termica finu à 800 °C. Ogni unità hè rettificata cù precisione per ottene una planarità di 0,003 mm, un parallelismu di 0,002 mm è una finitura superficiale di Ra0,1, assicurendu un cuntattu consistente cù u wafer è un funziunamentu senza particelle in ambienti FAB di semiconduttori. Disponibile in lunghezze da 150 mm à 450 mm, cù geometrie di punta persunalizate (presa di bordu, Bernoulli, piatta) è flange di montaggio per adattassi à i robot OEM. L'opzioni di finitura superficiale includenu lappatu, lucidatu, o rivestimentu dissipativu ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
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Mandrinu à vuoto in allumina per tagli di precisione è macinazione
U mandrinu à vuoto d'allumina di St.Cera hè fabbricatu cù 99,8% di Al₂O₃ d'alta purezza cù scanalature à vuoto lavorate cù precisione. A nostra capacità di macinazione di precisione raggiunge una planarità di 0,003 mm è un parallelismu di 0,002 mm, assicurendu una fissazione di wafer senza deformazione durante u tagliu à cubetti, a macinazione posteriore è l'ispezione. U materiale offre un'alta resistenza à a flessione (361 MPa), durezza (16 GPa) è stabilità termica finu à 800 °C. Disponibile in formati tondi finu à 600 mm di diametru esternu (OD) è forme rettangulari finu à 1500 mm di lunghezza. E scanalature à vuoto sò cuncepite su misura (mudelli concentrici, radiali o a griglia) per adattassi à i requisiti specifici di u prucessu. Ogni mandrinu hè ispezionatu cù un interferometru laser è furnitu cù un rapportu di verificazione di a planarità.
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Mandrinu à vuoto porosu in SiC cù supportu metallicu per a manipolazione di wafer deformati è sottili
U mandrinu à vuoto ceramicu à basa di metallu di St.Cera combina un stratu ceramicu porosu di carburo di siliciu (SiC) cù una basa metallica lavorata di precisione (aluminiu o acciaio inox). U materiale porosu SiC (blu-neru, porosità 35-40%, dimensione di i pori 20-30 μm, permeabilità 60 ml/cm²·min) furnisce una distribuzione uniforme è dolce di u vuoto nantu à tutta a superficia di u wafer, eliminendu a marcatura di i bordi è permettendu un supportu senza cuntattu per wafer sottili (≤100 μm) o deformati. U stratu SiC offre una bassa espansione termica (3,5 × 10⁻⁶/℃), stabilità termica finu à 1000 °C è una resistenza à a flessione moderata (32-35 MPa). A basa metallica aghjusta rigidità strutturale, montaggio faciule via fori filettati è prutezzione contr'à a frattura fragile. Stu mandrinu hè ideale per a macinazione posteriore, u tagliu à cubetti è a trasfurmazione di wafer à alta temperatura induve u vuoto uniforme è a cumpatibilità termica sò critichi.
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Piastra ceramica d'alumina d'alta purezza - per isolamentu è apparecchi à alta temperatura
A piastra ceramica di St.Cera hè fabbricata da 99,8% d'alumina d'alta purezza (Al₂O₃), chì offre una alta resistenza dielettrica (15 × 10⁶ V/m), stabilità termica finu à 1600 °C è un'eccellente resistenza à l'usura. E piastre sò sovrapposte cù precisione per ottene una planarità ≤5 μm su 100 mm è una rugosità superficiale Ra ≤0,4 μm. Disponibile in spessori standard da 1 mm à 20 mm, dimensioni persunalizate finu à 500 × 500 mm. Aduprate cum'è isolanti elettrici, basi di riscaldatore, rivestimenti di camera è substrati di mandrini a vuoto.
