-
วงแหวนฉนวนอลูมินา PVD สำหรับระบบการเคลือบด้วยไอระเหยทางกายภาพ (Physical Vapor Deposition Systems)
วงแหวนฉนวน PVD ของ St.Cera ผลิตจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) สำหรับใช้ในระบบการเคลือบด้วยไอระเหยทางกายภาพ (PVD) วงแหวนนี้ทำหน้าที่เป็นฉนวนไฟฟ้าคั่นระหว่างส่วนประกอบต่างๆ ในห้อง ป้องกันการเกิดประกายไฟ และทำให้การทำงานของพลาสมามีเสถียรภาพ คุณสมบัติที่สำคัญ ได้แก่ ความแข็งแรงของฉนวนสูง (15×10⁶ V/m) ความต้านทานจำเพาะ >10¹⁴ Ω·mm²/m และความเสถียรทางความร้อนสูงถึง 1600°C ความสามารถในการกลึงที่แม่นยำของเราทำให้ได้เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกสูงสุด 600 มม. เส้นผ่านศูนย์กลางภายในต่ำสุด 0.2 มม. ความเรียบ 0.003 มม. และผิวสำเร็จ Ra0.1 ความไม่มีรูพรุนและความเฉื่อยทางเคมีของวงแหวนช่วยให้มั่นใจได้ถึงความน่าเชื่อถือในระยะยาวในสภาพแวดล้อมการสปัตเตอร์ที่รุนแรง
-
ชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินาสำหรับระบบระเหยด้วยปืนอิเล็กตรอน
บริษัท St.Cera ผลิตชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูง 99.8% ที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับระบบการระเหยด้วยลำอิเล็กตรอน (E-gun) ชิ้นส่วนเหล่านี้ได้แก่ ซับในเบ้าหลอม แผ่นเบี่ยงลำแสง ฉนวน และอุปกรณ์ยึด วัสดุนี้มีค่าความแข็งแรงทางไฟฟ้าสูง (15×10⁶ V/m) มีเสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 1600°C และทนทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลันและการกัดกร่อนทางเคมีจากวัสดุที่ระเหยได้ดีเยี่ยม ความสามารถในการกลึงที่แม่นยำของเราทำให้ได้รูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อนด้วยขนาดคุณสมบัติขั้นต่ำ 0.2 มม. ความเรียบ 0.003 มม. และความเรียบผิว Ra0.1 ชิ้นส่วนทุกชิ้นได้รับการตรวจสอบความแม่นยำของขนาดด้วยเครื่อง CMM 100%
-
แผ่นเซรามิกอลูมินาขนาดใหญ่สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์ติดตั้งในอุตสาหกรรม
บริษัท St.Cera ผลิตแผ่นเซรามิกขนาดใหญ่จากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) โดยมีขนาดความยาวสูงสุดถึง 1500 มม. และความกว้าง 600 มม. กระบวนการเจียรที่แม่นยำของเราทำให้ได้ความเรียบที่ 0.003 มม. ในระยะ 100 มม. และความขนานที่ 0.002 มม. จึงมั่นใจได้ถึงคุณภาพพื้นผิวที่สม่ำเสมอสำหรับการใช้งานในพื้นที่ขนาดใหญ่ ความหนาถึง 100 มม. ความเรียบผิวถึง Ra0.1 แผ่นเหล่านี้ใช้เป็นฐานจับยึดแบบสุญญากาศ แผ่นทำความร้อน แผ่นฉนวนไฟฟ้า และพื้นห้องกระบวนการในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ จอแสดงผล และเซลล์แสงอาทิตย์ มีบริการเจาะรูทะลุ เจาะรูคว้าน และขึ้นรูปขอบ
-
แหวนเซรามิกอลูมินาความแม่นยำสูง สำหรับงานซีล ฉนวน และยึดตรึง
แหวนเซรามิกของ St.Cera ผลิตขึ้นด้วยความแม่นยำสูงจากอลูมินาบริสุทธิ์ 99.8% (Al₂O₃) สำหรับการใช้งานที่ต้องการความทนทานต่อการสึกหรอสูง ฉนวนไฟฟ้า และเสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 1600°C กำลังการผลิตของเราสามารถรองรับเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกสูงสุด 600 มม. ความหนาสูงสุด 100 มม. และเส้นผ่านศูนย์กลางภายในเล็กสุด 0.2 มม. โดยมีความเรียบ 0.003 มม. ความขนาน 0.002 มม. และความเป็นศูนย์กลาง 0.01 มม. มีให้เลือกใช้เป็นแหวนซีล แหวนรอง แหวนยึด หรือรูปทรงตามสั่ง วัสดุนี้ไม่มีรูพรุนและเฉื่อยต่อสารเคมี ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมทางเคมีและพลาสมาที่มีฤทธิ์กัดกร่อน
-
ท่อเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูง สำหรับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและกัดกร่อน
ท่อเซรามิกของ St.Cera ผลิตจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) ให้ความเสถียรทางความร้อนที่ดีเยี่ยมถึง 1600°C ความแข็งแรงทางไฟฟ้าสูง (15×10⁶ V/m) และความทนทานต่อสารเคมีที่เหนือกว่า ความสามารถในการกลึงที่แม่นยำของเราช่วยให้สามารถผลิตท่อที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางภายในเล็กสุด 0.2 มม. เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอกสูงสุด 600 มม. และความยาวสูงสุด 1500 มม. โดยมีความตรง 0.005 มม. ความเป็นศูนย์กลาง 0.01 มม. และผิวสำเร็จ Ra0.1 ท่อไม่มีรูพรุน (ดูดซับน้ำ 0%) ป้องกันการปล่อยก๊าซในสภาพแวดล้อมสุญญากาศ ทำให้เหมาะสำหรับเตาเผาแบบแพร่กระจายของสารกึ่งตัวนำ การป้องกันเทอร์โมคัปเปิล และกระบวนการทางเคมี สามารถสั่งทำความหนาของผนังและรูปทรงปลายท่อ (แบน เรียว มีปีก) ได้ตามต้องการ
-
ชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินาแบบสั่งทำพิเศษสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์อุตสาหกรรม
บริษัท St.Cera ผลิตชิ้นส่วนเซรามิกตามสั่งจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) ตามแบบที่ลูกค้ากำหนด โรงงานของเรามีเครื่องเจียรความแม่นยำสูงและเครื่องจักร CNC ทำให้สามารถผลิตชิ้นส่วนเซรามิกที่ซับซ้อนด้วยความแม่นยำสูง ชิ้นส่วนทั่วไป ได้แก่ ฉนวน ลูกปืน แหวนซีล บูช อุปกรณ์จับยึดแบบกำหนดเอง และรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อน ความสามารถในการผลิตของเราสนับสนุน...
-
หัวฉีดเซรามิกอลูมินาสำหรับฉีดก๊าซ/ของเหลวอุณหภูมิสูง
หัวฉีดเซรามิกของ St.Cera ผลิตขึ้นด้วยความแม่นยำสูงจากอลูมินาบริสุทธิ์ 99.8% (Al₂O₃) จึงมีความทนทานต่อการสึกหรอสูง (Vickers 16 GPa) เฉื่อยต่อสารเคมี และมีเสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 1600°C ความสามารถในการกลึงที่แม่นยำของเราทำให้ได้เส้นผ่านศูนย์กลางภายในที่เล็กสุด 0.2 มม. มีความตรง 0.005 มม. และความเป็นศูนย์กลาง 0.01 มม. จึงมั่นใจได้ถึงการไหลที่สม่ำเสมอและการกระจายของของเหลว/ก๊าซที่แม่นยำ หัวฉีดมีรูภายในที่เรียบเนียนด้วยผิวสำเร็จ Ra0.1 ช่วยลดแรงต้านการไหลและลดการอุดตัน มีเส้นผ่านศูนย์กลางรูตั้งแต่ 0.2 มม. ถึง 5.0 มม. พร้อมรูปทรงเรขาคณิตที่กำหนดเองได้ รวมถึงแบบตรง แบบเรียว หรือแบบหลายรู หัวฉีดแต่ละชิ้นจะได้รับการตรวจสอบขนาดและตรวจสอบความสม่ำเสมอของการไหล
-
แผ่นเจียรเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงสำหรับงานขัดละเอียดแม่นยำ
แผ่นขัดเซรามิกของ St.Cera ผลิตจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) สำหรับงานขัดและเจียรละเอียด ความสามารถในการเจียรละเอียดของเราทำให้ได้ความเรียบ 0.003 มม. ความขนาน 0.002 มม. และความเรียบผิว Ra0.1 รับประกันการกำจัดวัสดุอย่างสม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นผิวแผ่น แผ่นนี้มีความทนทานต่อการสึกหรอดีเยี่ยม (Vickers 16 GPa) มีความแข็งแรงดัดงอสูง (361 MPa) และเสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 800°C มีจำหน่ายในรูปแบบกลมขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 600 มม. และแผ่นสี่เหลี่ยมผืนผ้าความยาวสูงสุด 1500 มม. พื้นผิวมีร่อง (ความกว้างของร่อง 0.5–2.0 มม.) สำหรับการกระจายสารละลายในกระบวนการขัด แผ่นแต่ละแผ่นได้รับการตรวจสอบด้วยเครื่องวัดระยะด้วยเลเซอร์และจัดส่งพร้อมรายงานการวัดความแม่นยำ
-
หัวจับชิ้นงานเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูงสำหรับหุ่นยนต์จัดการเวเฟอร์
หัวจับชิ้นงานเซรามิกอลูมินาของ St.Cera ผลิตขึ้นด้วยความแม่นยำสูงจาก Al₂O₃ บริสุทธิ์ 99.8% โดยใช้เครื่องเจียร CNC 5 แกนขั้นสูง กำลังการผลิตของเราประกอบด้วยเครื่องเจียรความแม่นยำสูงและเครื่องจักร CNC ทำให้สามารถผลิตรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อนได้อย่างแม่นยำสูง หัวจับชิ้นงานมีรูปทรงบาง (บางเพียง 1.5 มม.) พร้อมขอบนำที่เรียวเพื่อการสอดใส่แผ่นเวเฟอร์อย่างราบรื่น วัสดุมีความแข็งแรงสูง (โมดูลัสของยัง 380 GPa) ทนต่อการสึกหรอได้ดีเยี่ยม และมีเสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 800°C แต่ละชิ้นได้รับการเจียรอย่างแม่นยำเพื่อให้ได้ความเรียบ 0.003 มม. ความขนาน 0.002 มม. และความเรียบผิว Ra0.1 ทำให้มั่นใจได้ถึงการสัมผัสกับแผ่นเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอและการทำงานที่ปราศจากอนุภาคในสภาพแวดล้อมโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มีให้เลือกหลายความยาวตั้งแต่ 150 มม. ถึง 450 มม. พร้อมรูปทรงปลายที่กำหนดเอง (แบบจับขอบ แบบเบอร์นูลลี แบบแบน) และหน้าแปลนสำหรับติดตั้งเพื่อให้เข้ากับหุ่นยนต์ OEM ตัวเลือกการตกแต่งพื้นผิว ได้แก่ การขัดเงา การขัดผิว หรือการเคลือบสารป้องกันไฟฟ้าสถิต (10⁶–10⁹ โอห์ม/ตารางเมตร)
-
หัวจับสุญญากาศอะลูมินาสำหรับงานตัดและเจียรความแม่นยำสูง
หัวจับสุญญากาศอลูมินาของ St.Cera ผลิตจาก Al₂O₃ บริสุทธิ์สูง 99.8% พร้อมร่องสุญญากาศที่ผ่านการกลึงอย่างแม่นยำ ความสามารถในการเจียรที่แม่นยำของเราทำให้ได้ความเรียบ 0.003 มม. และความขนาน 0.002 มม. ช่วยให้ยึดแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างมั่นคงปราศจากการบิดเบี้ยวระหว่างการตัด การเจียรด้านหลัง และการตรวจสอบ วัสดุมีความแข็งแรงดัดงอสูง (361 MPa) ความแข็ง (16 GPa) และเสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 800°C มีให้เลือกทั้งแบบกลมขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก (OD) สูงสุด 600 มม. และแบบสี่เหลี่ยมผืนผ้าความยาวสูงสุด 1500 มม. ร่องสุญญากาศได้รับการออกแบบตามสั่ง (แบบวงกลม แบบรัศมี หรือแบบตาราง) เพื่อให้เหมาะกับข้อกำหนดของกระบวนการเฉพาะ หัวจับแต่ละชิ้นจะได้รับการตรวจสอบด้วยเครื่องวัดความเรียบด้วยเลเซอร์และมีรายงานการตรวจสอบความเรียบแนบมาด้วย
-
หัวจับสุญญากาศ SiC แบบมีรูพรุนเสริมด้วยโลหะ สำหรับการจัดการเวเฟอร์ที่บิดเบี้ยวและบาง
หัวจับสุญญากาศเซรามิกแบบฐานโลหะของ St.Cera ผสมผสานชั้นเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีรูพรุนเข้ากับฐานโลหะที่ผ่านการกลึงอย่างแม่นยำ (อะลูมิเนียมหรือสแตนเลส) วัสดุ SiC ที่มีรูพรุน (สีน้ำเงินดำ ความพรุน 35–40% ขนาดรูพรุน 20–30 μm การซึมผ่าน 60 ml/cm²·min) ให้การกระจายสุญญากาศที่สม่ำเสมอและอ่อนโยนทั่วทั้งพื้นผิวเวเฟอร์ ขจัดรอยขอบและช่วยให้สามารถรองรับเวเฟอร์บาง (≤100 μm) หรือเวเฟอร์ที่บิดเบี้ยวได้โดยไม่ต้องสัมผัส ชั้น SiC มีการขยายตัวทางความร้อนต่ำ (3.5×10⁻⁶/℃) เสถียรภาพทางความร้อนสูงถึง 1000°C และความแข็งแรงดัดงอปานกลาง (32–35 MPa) ฐานโลหะเพิ่มความแข็งแกร่งของโครงสร้าง ติดตั้งง่ายผ่านรูเกลียว และป้องกันการแตกหักแบบเปราะ หัวจับนี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเจียรด้านหลัง การตัด และการประมวลผลเวเฟอร์ที่อุณหภูมิสูง ซึ่งสุญญากาศที่สม่ำเสมอและความเข้ากันได้ทางความร้อนมีความสำคัญอย่างยิ่ง
-
แผ่นเซรามิกอลูมินาความบริสุทธิ์สูง – สำหรับฉนวนกันความร้อนและอุปกรณ์ติดตั้งที่อุณหภูมิสูง
แผ่นเซรามิกของ St.Cera ผลิตจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง 99.8% (Al₂O₃) มีคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม (15×10⁶ V/m) ทนความร้อนได้ถึง 1600°C และทนทานต่อการสึกหรอ แผ่นเซรามิกได้รับการขัดเงาอย่างแม่นยำเพื่อให้ได้ความเรียบ ≤5 μm ตลอดระยะ 100 มม. และความหยาบผิว Ra ≤0.4 μm มีจำหน่ายในความหนามาตรฐานตั้งแต่ 1 มม. ถึง 20 มม. และขนาดสั่งทำพิเศษได้ถึง 500×500 มม. ใช้เป็นฉนวนไฟฟ้า ฐานรองฮีตเตอร์ แผ่นรองห้อง และฐานรองสำหรับหัวจับสุญญากาศ
