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Kundenspezifische Aluminiumoxid-Keramikteile für Halbleiter- und Industrieanlagen
St.Cera fertigt kundenspezifische Keramikteile aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % nach Kundenzeichnung. Unsere Produktionsstätte ist mit Präzisionsschleifmaschinen und CNC-Bearbeitungszentren ausgestattet und ermöglicht die Herstellung komplexer Keramikkomponenten mit höchster Präzision. Zu den typischen Teilen gehören Isolatoren, Kugellager, Dichtungsringe, Buchsen, kundenspezifische Vorrichtungen und Bauteile mit komplexen Geometrien. Unsere Fertigungskapazitäten unterstützen
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Aluminiumoxid-Keramikdüse für Hochtemperatur-Gas-/Flüssigkeitseinspritzung
Die Keramikdüse von St.Cera wird präzisionsgefertigt aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % und bietet hohe Verschleißfestigkeit (Vickers 16 GPa), chemische Inertheit und thermische Stabilität bis 1600 °C. Dank unserer präzisen Bearbeitung erreichen wir Innendurchmesser bis zu 0,2 mm, eine Geradheit von 0,005 mm und eine Konzentrizität von 0,01 mm. Dies gewährleistet einen gleichmäßigen Durchfluss und eine präzise Verteilung von Fluiden/Gasen. Die Düse verfügt über eine glatte Innenbohrung mit einer Oberflächenrauheit von Ra 0,1, wodurch der Strömungswiderstand minimiert und Verstopfungen reduziert werden. Die Düsen sind mit Öffnungsdurchmessern von 0,2 mm bis 5,0 mm und kundenspezifischen Geometrien wie geraden, konischen oder Mehrfachauslässen erhältlich. Jede Düse wird maßlich geprüft und auf Durchflussgleichmäßigkeit kontrolliert.
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Hochreine Aluminiumoxid-Keramik-Schleifplatte für Präzisionsläppen
Die Keramikschleifscheibe von St.Cera wird aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % für Präzisionsläpp- und Schleifanwendungen gefertigt. Dank unserer Präzisionsschleiftechnologie erreichen wir eine Ebenheit von 0,003 mm, eine Parallelität von 0,002 mm und eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1. Dies gewährleistet einen gleichmäßigen Materialabtrag über die gesamte Scheibenoberfläche. Die Scheibe zeichnet sich durch hervorragende Verschleißfestigkeit (Vickers 16 GPa), hohe Biegefestigkeit (361 MPa) und thermische Stabilität bis 800 °C aus. Sie ist in runden Ausführungen bis 600 mm Durchmesser und als rechteckige Scheibe bis 1500 mm Länge erhältlich. Für die Verteilung der Schleifpaste beim Läppen sind gerillte Oberflächen (Rillenbreite 0,5–2,0 mm) verfügbar. Jede Scheibe wird mit einem Laserinterferometer geprüft und mit einem präzisen Messbericht geliefert.
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Hochreiner Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor für Wafer-Handling-Roboter
Der Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor von St.Cera wird präzisionsgefertigt aus 99,8 % hochreinem Al₂O₃ mit modernsten 5-Achs-CNC-Schleifmaschinen. Unsere Fertigungskapazitäten umfassen Präzisionsschleifmaschinen und CNC-Bearbeitungszentren, die die Herstellung komplexer Geometrien mit höchster Präzision ermöglichen. Der Endeffektor zeichnet sich durch ein schlankes Profil (bis zu 1,5 mm) mit einer konischen Vorderkante für ein reibungsloses Einführen des Wafers aus. Das Material bietet hohe Steifigkeit (Elastizitätsmodul 380 GPa), ausgezeichnete Verschleißfestigkeit und thermische Stabilität bis 800 °C. Jede Einheit wird präzisionsgeschliffen, um eine Ebenheit von 0,003 mm, eine Parallelität von 0,002 mm und eine Oberflächengüte von Ra 0,1 zu erreichen. Dies gewährleistet einen gleichmäßigen Waferkontakt und partikelfreien Betrieb in Halbleiterfertigungsanlagen. Erhältlich in Längen von 150 mm bis 450 mm, mit kundenspezifischen Spitzengeometrien (Kantengriff, Bernoulli, flach) und Montageflanschen für OEM-Roboter. Zu den Oberflächenveredelungsoptionen gehören geläppt, poliert oder mit einer ESD-ableitenden Beschichtung (10⁶–10⁹ Ω/sq).
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Aluminiumoxid-Vakuumfutter für präzises Trennen und Schleifen
Die Vakuumspannfutter aus Aluminiumoxid von St.Cera werden aus hochreinem Al₂O₃ (99,8 %) mit präzisionsgefertigten Vakuumnuten hergestellt. Dank unserer Präzisionsschleiftechnik erreichen wir eine Ebenheit von 0,003 mm und eine Parallelität von 0,002 mm. Dies gewährleistet eine verzugsfreie Waferfixierung beim Vereinzeln, Rückseitenschleifen und der Inspektion. Das Material zeichnet sich durch hohe Biegefestigkeit (361 MPa), Härte (16 GPa) und thermische Stabilität bis 800 °C aus. Die Spannfutter sind in runden Formen bis zu 600 mm Außendurchmesser und in rechteckigen Formen bis zu 1500 mm Länge erhältlich. Die Vakuumnuten werden kundenspezifisch (konzentrisch, radial oder als Gittermuster) an die jeweiligen Prozessanforderungen angepasst. Jedes Spannfutter wird mit einem Laserinterferometer geprüft und mit einem Ebenheitsprüfbericht geliefert.
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Metallgestützter poröser SiC-Vakuumspannfutter für die Handhabung verzogener und dünner Wafer
Der metallbasierte Keramik-Vakuumspannfutter von St.Cera kombiniert eine poröse Siliziumkarbid-Keramikschicht (SiC) mit einem präzisionsgefertigten Metallsockel (Aluminium oder Edelstahl). Das poröse SiC-Material (blauschwarz, Porosität 35–40 %, Porengröße 20–30 μm, Permeabilität 60 ml/cm²·min) sorgt für eine gleichmäßige und schonende Vakuumverteilung über die gesamte Waferoberfläche. Dadurch werden Kantenmarkierungen vermieden und eine berührungslose Lagerung dünner (≤ 100 μm) oder gewölbter Wafer ermöglicht. Die SiC-Schicht zeichnet sich durch eine geringe Wärmeausdehnung (3,5 × 10⁻⁶/°C), thermische Stabilität bis 1000 °C und eine moderate Biegefestigkeit (32–35 MPa) aus. Der Metallsockel erhöht die strukturelle Steifigkeit, ermöglicht eine einfache Montage über Gewindebohrungen und schützt vor Sprödbruch. Dieses Spannfutter ist ideal für das Rückseitenschleifen, das Vereinzeln und die Hochtemperatur-Waferbearbeitung, bei denen ein gleichmäßiges Vakuum und eine gute thermische Kompatibilität entscheidend sind.
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Hochreine Aluminiumoxid-Keramikplatte – für Isolierung und Hochtemperaturanwendungen
Die Keramikplatte von St.Cera wird aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % hergestellt und zeichnet sich durch eine hohe Durchschlagsfestigkeit (15 × 10⁶ V/m), thermische Stabilität bis 1600 °C und ausgezeichnete Verschleißfestigkeit aus. Die Platten werden präzisionsgeläppt, um eine Ebenheit von ≤ 5 μm auf 100 mm und eine Oberflächenrauheit Ra ≤ 0,4 μm zu erreichen. Sie ist in Standarddicken von 1 mm bis 20 mm und in kundenspezifischen Größen bis zu 500 × 500 mm erhältlich. Einsatzgebiete sind elektrische Isolatoren, Heizplatten, Kammerauskleidungen und Vakuumspannfutter.
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Präzisions-Positionierstab aus Aluminiumoxid-Keramik für Halbleitervorrichtungen
Der Keramik-Positionierstift von St.Cera wird präzisionsgeschliffen aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃, 99,8 %). Er zeichnet sich durch hohe Härte (16 GPa), ausgezeichnete Verschleißfestigkeit und Dimensionsstabilität aus. Die Durchmessertoleranzen sind mit ±0,005 mm sehr eng, die Längen bis zu 150 mm. Die Stiftoberfläche ist für ein reibungsloses Einsetzen und Entfernen auf Ra ≤0,2 μm geläppt. Einsatzgebiete sind Ausrichtungsstifte, Passstifte oder Positionieranschläge in Halbleiter-Prozessvorrichtungen, Waferkassetten und Inspektionsgeräten.
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Hochfester Zirkonoxid-Keramikstab – für Präzisionswellen und Stempel
Der Zirkonoxid-Keramikstab von St.Cera wird präzisionsgeschliffen aus yttriumstabilisiertem ZrO₂. Er zeichnet sich durch außergewöhnliche Biegefestigkeit (1000 MPa), Bruchzähigkeit (5–8 MPa·m¹/²) und Vickers-Härte (13 GPa) aus. Der Stab ist schwarz oder weiß, hat eine Dichte von 6,03 g/cm³ und ist porenfrei. Durchmesser sind von 1 mm bis 50 mm, Längen bis zu 200 mm mit einer Toleranz von bis zu ±0,005 mm erhältlich. Die Oberflächenrauheit (Ra ≤0,2 μm) wird durch Läppen erreicht. Ideal für Anwendungen mit hohem Verschleiß wie Kolben, Wellen, Passstifte und Werkzeugrohlinge.
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Yttriumstabilisierte Zirkonoxid-Keramikteile – Hohe Zähigkeit und Verschleißfestigkeit
St.Cera fertigt kundenspezifische Zirkonoxid-Keramikteile aus yttriumstabilisiertem ZrO₂ (Y-TZP). Dieses Material zeichnet sich durch eine außergewöhnliche Biegefestigkeit (1000 MPa), hohe Bruchzähigkeit (5–8 MPa·m¹/²) und eine Vickershärte von 13 GPa aus. Die Dichte beträgt 6,03 g/cm³, und es nimmt kein Wasser auf. Die Teile sind in Weiß oder Schwarz erhältlich. Der einzigartige Umwandlungsverfestigungsmechanismus von Zirkonoxid bietet eine ausgezeichnete Beständigkeit gegen Rissausbreitung und macht es ideal für Bauteile, die Stößen, Temperaturschocks oder hohen Belastungen ausgesetzt sind. Typische Bauteile sind Ventilsitze, Pumpenkolben, Faserführungsstifte, Schneidwerkzeuge und verschleißfeste Buchsen.
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ST.CERA kundenspezifische Teile aus 99,5 % Aluminiumoxid-Keramik
Keramische Strukturbauteile ist ein Oberbegriff für verschiedene, komplex geformte Keramikteile. Sie werden aus hochreinem Keramikpulver hergestellt, durch Trockenpressen oder Kaltisostatpressen geformt, anschließend bei hoher Temperatur gesintert und präzisionsbearbeitet. Aufgrund ihrer Eigenschaften wie Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit finden sie breite Anwendung in der Halbleiterindustrie, der optischen Kommunikation, der Lasertechnik, der Medizintechnik, der Erdölindustrie, der Metallurgie und der Elektronikindustrie.
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ST.CERA kundenspezifische Teile aus 99,5 % Aluminiumoxid-Keramik
Keramische Strukturbauteile ist ein Oberbegriff für verschiedene, komplex geformte Keramikteile. Aufgrund ihrer Eigenschaften wie hohe Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Abriebfestigkeit und Isolationsfähigkeit finden sie breite Anwendung in der Halbleiterindustrie, der optischen Kommunikation, der Lasertechnik, der Medizintechnik, der Erdölindustrie, der Metallurgie und der Elektronikindustrie.
