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Aluminiumoxid-PVD-Isolierring für physikalische Dampfabscheidungssysteme
Der PVD-Isolierring von St.Cera wird aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % für den Einsatz in PVD-Anlagen (Physical Vapor Deposition) gefertigt. Der Ring isoliert die Kammerkomponenten elektrisch, verhindert Lichtbögen und gewährleistet einen stabilen Plasmabetrieb. Zu seinen wichtigsten Eigenschaften zählen eine hohe Durchschlagsfestigkeit (15 × 10⁶ V/m), ein spezifischer Widerstand von > 10¹⁴ Ω·mm²/m und eine thermische Stabilität bis 1600 °C. Dank unserer präzisen Bearbeitungsmöglichkeiten erreichen wir Außendurchmesser bis zu 600 mm, Innendurchmesser bis zu 0,2 mm, eine Ebenheit von 0,003 mm und eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1. Die Porenfreiheit und chemische Inertheit des Rings gewährleisten langfristige Zuverlässigkeit auch in aggressiven Sputterumgebungen.
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Aluminiumoxid-Keramikteile für E-Gun-Verdampfungssysteme
St.Cera fertigt hochreine 99,8%ige Aluminiumoxid-Keramikkomponenten speziell für Elektronenstrahlverdampfungssysteme. Das Sortiment umfasst Tiegelauskleidungen, Strahlumlenker, Isolatoren und Montagevorrichtungen. Das Material zeichnet sich durch eine hohe Durchschlagsfestigkeit (15 × 10⁶ V/m), thermische Stabilität bis 1600 °C und ausgezeichnete Beständigkeit gegenüber Temperaturschocks und chemischen Angriffen durch verdampfte Materialien aus. Dank unserer Präzisionsbearbeitung können wir komplexe Geometrien mit minimalen Strukturgrößen von 0,2 mm, einer Ebenheit von 0,003 mm und einer Oberflächenrauheit Ra 0,1 realisieren. Jedes Bauteil wird zu 100 % mittels Koordinatenmessmaschine (KMM) auf Maßgenauigkeit geprüft.
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Großformatige Aluminiumoxid-Keramikplatte für Halbleiter- und Industrievorrichtungen
St.Cera fertigt großformatige Keramikplatten aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 %. Die maximalen Abmessungen betragen bis zu 1500 mm Länge und 600 mm Breite. Dank präziser Schleifverfahren erreichen wir eine Ebenheit von 0,003 mm auf 100 mm und eine Parallelität von 0,002 mm. Dies gewährleistet eine gleichbleibende Oberflächenqualität für großflächige Anwendungen. Die Platten sind bis zu 100 mm dick und weisen eine Oberflächenrauheit bis zu Ra 0,1 auf. Sie dienen als Vakuumspannfutter, Heizplatten, Isolierplatten und Prozesskammerböden in der Halbleiter-, Display- und Photovoltaikindustrie. Durchgangsbohrungen, Senkbohrungen und Kantenprofilierung sind möglich.
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Präzisions-Aluminiumoxid-Keramikring für Abdichtung, Isolierung und Befestigung
Der Keramikring von St.Cera wird präzisionsgefertigt aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % und eignet sich für Anwendungen, die hohe Verschleißfestigkeit, elektrische Isolation und thermische Stabilität bis 1600 °C erfordern. Unsere Fertigungsmöglichkeiten umfassen Außendurchmesser bis zu 600 mm, Dicken bis zu 100 mm und Innendurchmesser bis zu 0,2 mm. Die Ebenheit beträgt 0,003 mm, die Parallelität 0,002 mm und die Rundlaufgenauigkeit 0,01 mm. Erhältlich sind die Ringe als Dichtungsringe, Distanzringe, Sicherungsringe oder in kundenspezifischen Profilen. Dank seiner Porositätsfreiheit und chemischen Inertheit ist er auch für aggressive chemische und Plasmaumgebungen geeignet.
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Hochreines Aluminiumoxid-Keramikrohr für Hochtemperatur- und korrosive Umgebungen
Das Keramikrohr von St.Cera wird aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % gefertigt und bietet hervorragende thermische Stabilität bis 1600 °C, hohe Durchschlagsfestigkeit (15 × 10⁶ V/m) und überlegene chemische Beständigkeit. Dank unserer präzisen Bearbeitungsmöglichkeiten realisieren wir Innendurchmesser ab 0,2 mm, Außendurchmesser bis zu 600 mm und Längen bis zu 1500 mm mit einer Geradheit von 0,005 mm, einer Rundlaufgenauigkeit von 0,01 mm und einer Oberflächenrauheit von Ra 0,1. Die Porenfreiheit des Rohrs (0 % Wasseraufnahme) verhindert Ausgasungen im Vakuum und macht es ideal für Halbleiter-Diffusionsöfen, den Schutz von Thermoelementen und die chemische Verarbeitung. Kundenspezifische Wandstärken und Endformen (flach, konisch, geflanscht) sind erhältlich.
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Kundenspezifische Aluminiumoxid-Keramikteile für Halbleiter- und Industrieanlagen
St.Cera fertigt kundenspezifische Keramikteile aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % nach Kundenzeichnung. Unsere Produktionsstätte ist mit Präzisionsschleifmaschinen und CNC-Bearbeitungszentren ausgestattet und ermöglicht die Herstellung komplexer Keramikkomponenten mit höchster Präzision. Zu den typischen Teilen gehören Isolatoren, Kugellager, Dichtungsringe, Buchsen, kundenspezifische Vorrichtungen und Bauteile mit komplexen Geometrien. Unsere Fertigungskapazitäten unterstützen
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Aluminiumoxid-Keramikdüse für Hochtemperatur-Gas-/Flüssigkeitseinspritzung
Die Keramikdüse von St.Cera wird präzisionsgefertigt aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % und bietet hohe Verschleißfestigkeit (Vickers 16 GPa), chemische Inertheit und thermische Stabilität bis 1600 °C. Dank unserer präzisen Bearbeitung erreichen wir Innendurchmesser bis zu 0,2 mm, eine Geradheit von 0,005 mm und eine Konzentrizität von 0,01 mm. Dies gewährleistet einen gleichmäßigen Durchfluss und eine präzise Verteilung von Fluiden/Gasen. Die Düse verfügt über eine glatte Innenbohrung mit einer Oberflächenrauheit von Ra 0,1, wodurch der Strömungswiderstand minimiert und Verstopfungen reduziert werden. Die Düsen sind mit Öffnungsdurchmessern von 0,2 mm bis 5,0 mm und kundenspezifischen Geometrien wie geraden, konischen oder Mehrfachauslässen erhältlich. Jede Düse wird maßlich geprüft und auf Durchflussgleichmäßigkeit kontrolliert.
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Hochreine Aluminiumoxid-Keramik-Schleifplatte für Präzisionsläppen
Die Keramikschleifscheibe von St.Cera wird aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % für Präzisionsläpp- und Schleifanwendungen gefertigt. Dank unserer Präzisionsschleiftechnologie erreichen wir eine Ebenheit von 0,003 mm, eine Parallelität von 0,002 mm und eine Oberflächenrauheit von Ra 0,1. Dies gewährleistet einen gleichmäßigen Materialabtrag über die gesamte Scheibenoberfläche. Die Scheibe zeichnet sich durch hervorragende Verschleißfestigkeit (Vickers 16 GPa), hohe Biegefestigkeit (361 MPa) und thermische Stabilität bis 800 °C aus. Sie ist in runden Ausführungen bis 600 mm Durchmesser und als rechteckige Scheibe bis 1500 mm Länge erhältlich. Für die Verteilung der Schleifpaste beim Läppen sind gerillte Oberflächen (Rillenbreite 0,5–2,0 mm) verfügbar. Jede Scheibe wird mit einem Laserinterferometer geprüft und mit einem präzisen Messbericht geliefert.
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Hochreiner Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor für Wafer-Handling-Roboter
Der Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor von St.Cera wird präzisionsgefertigt aus 99,8 % hochreinem Al₂O₃ mit modernsten 5-Achs-CNC-Schleifmaschinen. Unsere Fertigungskapazitäten umfassen Präzisionsschleifmaschinen und CNC-Bearbeitungszentren, die die Herstellung komplexer Geometrien mit höchster Präzision ermöglichen. Der Endeffektor zeichnet sich durch ein schlankes Profil (bis zu 1,5 mm) mit einer konischen Vorderkante für ein reibungsloses Einführen des Wafers aus. Das Material bietet hohe Steifigkeit (Elastizitätsmodul 380 GPa), ausgezeichnete Verschleißfestigkeit und thermische Stabilität bis 800 °C. Jede Einheit wird präzisionsgeschliffen, um eine Ebenheit von 0,003 mm, eine Parallelität von 0,002 mm und eine Oberflächengüte von Ra 0,1 zu erreichen. Dies gewährleistet einen gleichmäßigen Waferkontakt und partikelfreien Betrieb in Halbleiterfertigungsanlagen. Erhältlich in Längen von 150 mm bis 450 mm, mit kundenspezifischen Spitzengeometrien (Kantengriff, Bernoulli, flach) und Montageflanschen für OEM-Roboter. Zu den Oberflächenveredelungsoptionen gehören geläppt, poliert oder mit einer ESD-ableitenden Beschichtung (10⁶–10⁹ Ω/sq).
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Aluminiumoxid-Vakuumfutter für präzises Trennen und Schleifen
Die Vakuumspannfutter aus Aluminiumoxid von St.Cera werden aus hochreinem Al₂O₃ (99,8 %) mit präzisionsgefertigten Vakuumnuten hergestellt. Dank unserer Präzisionsschleiftechnik erreichen wir eine Ebenheit von 0,003 mm und eine Parallelität von 0,002 mm. Dies gewährleistet eine verzugsfreie Waferfixierung beim Vereinzeln, Rückseitenschleifen und der Inspektion. Das Material zeichnet sich durch hohe Biegefestigkeit (361 MPa), Härte (16 GPa) und thermische Stabilität bis 800 °C aus. Die Spannfutter sind in runden Formen bis zu 600 mm Außendurchmesser und in rechteckigen Formen bis zu 1500 mm Länge erhältlich. Die Vakuumnuten werden kundenspezifisch (konzentrisch, radial oder als Gittermuster) an die jeweiligen Prozessanforderungen angepasst. Jedes Spannfutter wird mit einem Laserinterferometer geprüft und mit einem Ebenheitsprüfbericht geliefert.
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Metallgestützter poröser SiC-Vakuumspannfutter für die Handhabung verzogener und dünner Wafer
Der metallbasierte Keramik-Vakuumspannfutter von St.Cera kombiniert eine poröse Siliziumkarbid-Keramikschicht (SiC) mit einem präzisionsgefertigten Metallsockel (Aluminium oder Edelstahl). Das poröse SiC-Material (blauschwarz, Porosität 35–40 %, Porengröße 20–30 μm, Permeabilität 60 ml/cm²·min) sorgt für eine gleichmäßige und schonende Vakuumverteilung über die gesamte Waferoberfläche. Dadurch werden Kantenmarkierungen vermieden und eine berührungslose Lagerung dünner (≤ 100 μm) oder gewölbter Wafer ermöglicht. Die SiC-Schicht zeichnet sich durch eine geringe Wärmeausdehnung (3,5 × 10⁻⁶/°C), thermische Stabilität bis 1000 °C und eine moderate Biegefestigkeit (32–35 MPa) aus. Der Metallsockel erhöht die strukturelle Steifigkeit, ermöglicht eine einfache Montage über Gewindebohrungen und schützt vor Sprödbruch. Dieses Spannfutter ist ideal für das Rückseitenschleifen, das Vereinzeln und die Hochtemperatur-Waferbearbeitung, bei denen ein gleichmäßiges Vakuum und eine gute thermische Kompatibilität entscheidend sind.
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Hochreine Aluminiumoxid-Keramikplatte – für Isolierung und Hochtemperaturanwendungen
Die Keramikplatte von St.Cera wird aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃) mit einem Reinheitsgrad von 99,8 % hergestellt und zeichnet sich durch eine hohe Durchschlagsfestigkeit (15 × 10⁶ V/m), thermische Stabilität bis 1600 °C und ausgezeichnete Verschleißfestigkeit aus. Die Platten werden präzisionsgeläppt, um eine Ebenheit von ≤ 5 μm auf 100 mm und eine Oberflächenrauheit Ra ≤ 0,4 μm zu erreichen. Sie ist in Standarddicken von 1 mm bis 20 mm und in kundenspezifischen Größen bis zu 500 × 500 mm erhältlich. Einsatzgebiete sind elektrische Isolatoren, Heizplatten, Kammerauskleidungen und Vakuumspannfutter.
