-
Алуминиев PVD изолационен пръстен за системи за физическо отлагане на пари
PVD изолационният пръстен на St.Cera е произведен от 99,8% алуминиев оксид (Al₂O₃) с висока чистота за използване в системи за физическо отлагане от пари (PVD). Пръстенът осигурява електрическа изолация между компонентите на камерата, предотвратявайки искрене и осигурявайки стабилна работа с плазма. Ключовите свойства включват висока диелектрична якост (15×10⁶ V/m), специфично съпротивление >10¹⁴ Ω·mm²/m и термична стабилност до 1600°C. Нашите възможности за прецизна обработка постигат външни диаметри до 600 мм, вътрешни диаметри до 0,2 мм, плоскост от 0,003 мм и повърхностно покритие Ra0,1. Нулевата порьозност и химическата инертност на пръстена осигуряват дългосрочна надеждност в агресивни среди за разпрашаване.
-
Алуминиево-керамични части за изпарителни системи E-Gun
St.Cera произвежда високочисти 99,8% алуминиево-оксидни керамични компоненти, специално проектирани за изпарителни системи с електроннолъчев (E-gun). Тези части включват облицовки на тигели, екрани за дефлектор на лъча, изолатори и монтажни приспособления. Материалът предлага висока диелектрична якост (15×10⁶ V/m), термична стабилност до 1600°C и отлична устойчивост на термичен удар и химическо въздействие от изпарени материали. Нашите възможности за прецизна обработка постигат сложни геометрии с минимален размер на елемента 0,2 мм, плоскост 0,003 мм и повърхностно покритие Ra0,1. Всяка част е 100% проверена чрез CMM за точност на размерите.
-
Алуминиева керамична плоча с голям формат за полупроводникови и промишлени осветителни тела
St.Cera произвежда керамични плочи с голям формат от 99,8% алуминиев оксид с висока чистота (Al₂O₃) с максимални размери до 1500 мм дължина и 600 мм ширина. Нашите възможности за прецизно шлайфане постигат плоскост от 0,003 мм на 100 мм и паралелизъм от 0,002 мм, осигурявайки постоянно качество на повърхността за приложения с голяма площ. Дебелина до 100 мм, повърхностна обработка до Ra0.1. Тези плочи служат като основи за вакуумни патронници, нагревателни плочи, електрически изолационни панели и подове на технологични камери в производството на полупроводници, дисплеи и фотоволтаици. Предлагат се проходни отвори, зенкерования и профилиране на ръбове.
-
Прецизен алуминиев керамичен пръстен за уплътняване, изолация и закрепване
Керамичният пръстен на St.Cera е прецизно обработен от 99,8% алуминиев оксид (Al₂O₃) с висока чистота за приложения, изискващи висока износоустойчивост, електрическа изолация и термична стабилност до 1600°C. Нашите производствени възможности поддържат външни диаметри до 600 мм, дебелини до 100 мм и вътрешни диаметри до 0,2 мм, с плоскост от 0,003 мм, паралелизъм от 0,002 мм и концентричност от 0,01 мм. Предлага се като уплътнителни пръстени, дистанционни пръстени, задържащи пръстени или персонализирани профили. Нулевата порьозност и химическата инертност на материала го правят подходящ за агресивни химически и плазмени среди.
-
Високочиста алуминиева керамична тръба за високотемпературни и корозивни среди
Керамичната тръба на St.Cera е произведена от 99,8% алуминиев оксид с висока чистота (Al₂O₃), предлагащ отлична термична стабилност до 1600°C, висока диелектрична якост (15×10⁶ V/m) и превъзходна химическа устойчивост. Нашите възможности за прецизна обработка позволяват вътрешни диаметри от едва 0,2 мм, външни диаметри до 600 мм и дължини до 1500 мм, с праволинейност от 0,005 мм, концентричност от 0,01 мм и повърхностна обработка Ra0,1. Нулевата порьозност на тръбата (0% водопоглъщане) предотвратява отделянето на газове във вакуумна среда, което я прави идеална за дифузионни пещи за полупроводници, защита на термодвойки и химическа обработка. Предлагат се персонализирани дебелини на стените и конфигурации на краищата (плоски, конусовидни, фланцови).
-
Алуминиево-керамични части по поръчка за полупроводниково и промишлено оборудване
St.Cera произвежда керамични части по поръчка от 99,8% алуминиев оксид с висока чистота (Al₂O₃) по чертежи на клиента. Нашето съоръжение е оборудвано с прецизни шлифовъчни машини и CNC обработващи центрове, което позволява производството на сложни керамични компоненти с висока прецизност. Типичните части включват изолатори, лагерни сачми, уплътнителни пръстени, втулки, персонализирани приспособления и сложни геометрии. Нашите производствени възможности поддържат
-
Дюза от алуминиев оксид за инжектиране на газ/флуид при висока температура
Керамичната дюза на St.Cera е прецизно изработена от 99,8% алуминиев оксид с висока чистота (Al₂O₃), предлагайки висока износоустойчивост (Викерс 16 GPa), химическа инертност и термична стабилност до 1600°C. Нашите възможности за прецизна обработка постигат вътрешен диаметър от едва 0,2 мм, с праволинейност от 0,005 мм и концентричност от 0,01 мм, осигурявайки постоянен поток и прецизно разпределение на флуид/газ. Дюзата е с гладък вътрешен отвор с повърхностна обработка Ra0.1, което минимизира съпротивлението на потока и намалява запушването. Диаметри на отворите от 0,2 мм до 5,0 мм, с персонализирани геометрии, включително прави, конусовидни или многоотворни изходи. Всяка дюза се проверява по размер и за равномерност на потока.
-
Високочиста алуминиева керамична шлифовъчна плоча за прецизно притискане
Керамичната шлифовъчна плоча на St.Cera е произведена от 99,8% алуминиев оксид с висока чистота (Al₂O₃) за прецизно прилепване и шлайфане. Нашата способност за прецизно шлайфане постига плоскост от 0,003 мм, паралелизъм от 0,002 мм и повърхностна обработка Ra0,1, което осигурява равномерно отстраняване на материал по цялата повърхност на плочата. Плочата предлага отлична износоустойчивост (Викерс 16 GPa), висока якост на огъване (361 MPa) и термична стабилност до 800°C. Предлага се в кръгли формати с диаметър до 600 мм и правоъгълни плочи с дължина до 1500 мм. Предлагат се и канализирани повърхности (ширина на канала 0,5–2,0 мм) за разпределение на шлама при процесите на прилепване. Всяка плоча се проверява с лазерен интерферометър и се предоставя с протокол от прецизно измерване.
-
Високочист алуминиев керамичен краен ефектор за роботи за обработка на пластини
Алуминиево-керамичният краен ефектор на St.Cera е прецизно обработен от 99,8% Al₂O₃ с висока чистота, използвайки усъвършенствано 5-осно CNC шлифовъчно оборудване. Нашите производствени възможности включват прецизни шлифовъчни машини и CNC обработващи центрове, което позволява сложни геометрии с висока прецизност. Крайният ефектор се отличава с тънък профил (тънък до 1,5 мм) със заострен водещ ръб за плавно поставяне на пластината. Материалът осигурява висока твърдост (модул на Юнг 380 GPa), отлична износоустойчивост и термична стабилност до 800°C. Всеки модул е прецизно шлифован, за да се постигне плоскост от 0,003 мм, паралелизъм от 0,002 мм и повърхностна обработка Ra0.1, осигурявайки постоянен контакт с пластината и работа без частици в полупроводникови FAB среди. Предлага се в дължини от 150 мм до 450 мм, с персонализирани геометрии на върха (захват на ръб, Bernoulli, плосък) и монтажни фланци, подходящи за OEM роботи. Опциите за повърхностно покритие включват припокриване, полиране или ESD дисипативно покритие (10⁶–10⁹ Ω/кв.м.).
-
Вакуумен патронник от алуминиев оксид за прецизно нарязване и смилане
Вакуумният патронник от алуминиев оксид на St.Cera е произведен от 99,8% високочист Al₂O₃ с прецизно обработени вакуумни канали. Нашата способност за прецизно шлифоване постига плоскост от 0,003 мм и паралелизъм от 0,002 мм, което осигурява бездеформационно фиксиране на пластините по време на нарязване, шлифоване на задната страна и проверка. Материалът предлага висока якост на огъване (361 MPa), твърдост (16 GPa) и термична стабилност до 800°C. Предлага се в кръгли формати с външен диаметър (OD) до 600 мм и правоъгълни форми с дължина до 1500 мм. Вакуумните канали са проектирани по поръчка (концентрични, радиални или мрежови модели), за да отговарят на специфичните изисквания на процеса. Всеки патронник се проверява с лазерен интерферометър и се доставя с доклад за проверка на плоскостта.
-
Метален порест вакуумен патронник от SiC за работа с деформирани и тънки пластини
Керамичният вакуумен патронник на St.Cera, изработен от метал, комбинира порест керамичен слой от силициев карбид (SiC) с прецизно обработена метална основа (алуминий или неръждаема стомана). Порестият SiC материал (синьо-черен, порьозност 35–40%, размер на порите 20–30 μm, пропускливост 60 ml/cm²·min) осигурява равномерно и нежно разпределение на вакуума по цялата повърхност на пластината, елиминирайки маркировката по ръбовете и позволявайки безконтактна поддръжка за тънки (≤100 μm) или деформирани пластини. SiC слоят предлага ниско термично разширение (3,5×10⁻⁶/℃), термична стабилност до 1000°C и умерена якост на огъване (32–35 MPa). Металната основа добавя структурна твърдост, лесен монтаж чрез резбовани отвори и защита срещу крехко счупване. Този патронник е идеален за шлифоване на задната страна, нарязване на кубчета и високотемпературна обработка на пластини, където равномерният вакуум и термичната съвместимост са от решаващо значение.
-
Керамична плоча от алуминиев оксид с висока чистота – за изолация и високотемпературни осветителни тела
Керамичната плоча на St.Cera е произведена от 99,8% алуминиев оксид (Al₂O₃) с висока чистота, предлагайки висока диелектрична якост (15×10⁶ V/m), термична стабилност до 1600°C и отлична износоустойчивост. Плочите са прецизно припокривани, за да се постигне плоскост ≤5 μm на 100 mm и грапавост на повърхността Ra ≤0,4 μm. Предлага се в стандартни дебелини от 1 mm до 20 mm, с персонализирани размери до 500×500 mm. Използва се като електрически изолатори, основи за нагреватели, облицовки на камери и подложки за вакуумни патронници.
