-
Likarolo tsa Ceramic tsa Alumina tse Ikhethileng bakeng sa Lisebelisoa tsa Semiconductor le tsa Indasteri
St.Cera e etsa likarolo tsa letsopa tse ikhethileng ho tsoa ho alumina ea 99.8% e hloekileng haholo (Al₂O₃) ho latela litšoantšo tsa bareki. Setsi sa rona se na le mechini ea ho sila ka nepo le litsi tsa ho sebetsa tsa CNC, tse nolofalletsang tlhahiso ea likarolo tse rarahaneng tsa letsopa ka ho nepahala ho hoholo. Likarolo tse tloaelehileng li kenyelletsa li-insulator, libolo tsa ho jara, masale a tiiso, li-bushing, lisebelisoa tse ikhethileng le li-geometri tse rarahaneng. Bokhoni ba rona ba tlhahiso boa tšehetsa
-
Nozzle ea Ceramic ea Alumina bakeng sa Ente ea Khase/Mocheso o Phahameng
Nozzle ea ceramic ea St.Cera e entsoe ka nepo ho tloha ho 99.8% alumina e hloekileng haholo (Al₂O₃), e fanang ka khanyetso e phahameng ea ho tsofala (Vickers 16 GPa), ho se sebetse hantle ha lik'hemik'hale, le botsitso ba mocheso ho fihlela ho 1600°C. Bokhoni ba rona ba ho sebetsa ka nepo bo fihlella bophara ba kahare bo bonyenyane ba 0.2mm, ka ho otloloha ha 0.005mm le ho teba ha 0.01mm, ho netefatsa phallo e tsitsitseng le kabo e nepahetseng ea mokelikeli/khase. Nozzle e na le mokoti o boreleli oa kahare o nang le qetello ea bokaholimo ea Ra0.1, e fokotsang khanyetso ea phallo le ho fokotsa ho koaleha. Bophara ba orifice ho tloha ho 0.2mm ho isa ho 5.0mm, ka li-geometri tse ikhethileng ho kenyeletsoa le li-outlet tse otlolohileng, tse tenyetsehang, kapa tse nang le li-orifice tse ngata. Nozzle ka 'ngoe e hlahlojoa ka litekanyo' me e hlahlojoa hore na phallo e tšoana.
-
Poleiti ea ho Sila ea Alumina Ceramic e Hloekileng ka ho Fetisisa bakeng sa ho Lapping ka ho Sebetsa
Poleiti ea ho sila ea St.Cera e entsoe ka alumina ea 99.8% e hloekileng haholo (Al₂O₃) bakeng sa lits'ebetso tsa ho lata le ho sila ka nepo. Bokhoni ba rona ba ho sila ka nepo bo fihlella ho ba bataletseng ha 0.003mm, ho tšoana ha 0.002mm, le qetello ea bokaholimo ba Ra0.1, ho netefatsa hore thepa e tlosoa ka mokhoa o ts'oanang holim'a bokaholimo bohle ba poleiti. Poleiti e fana ka khanyetso e ntle ea ho tsofala (Vickers 16 GPa), matla a phahameng a ho kobeha (361 MPa), le botsitso ba mocheso ho fihlela ho 800°C. E fumaneha ka libopeho tse chitja ho fihlela ho bophara ba 600mm le lipoleiti tse khutlonnetsepa ho fihlela bolelele ba 1500mm. Libaka tse kobehileng (bophara ba groove 0.5–2.0mm) lia fumaneha bakeng sa kabo ea slurry lits'ebetsong tsa ho lata. Poleiti ka 'ngoe e hlahlojoa ka interferometer ea laser 'me e fanoa ka tlaleho ea tekanyo ea ho nepahala.
-
Phello ea Phello ea Alumina Ceramic e Hloekileng ka ho Fetisisa bakeng sa Liroboto tse Tšoarang ka Wafer
Sesebelisoa sa ho qetela sa alumina ceramic sa St.Cera se entsoe ka nepo ho tloha ho 99.8% Al₂O₃ e hloekileng haholo ho sebelisoa lisebelisoa tse tsoetseng pele tsa ho sila tsa CNC tse 5-axis. Bokhoni ba rona ba tlhahiso bo kenyelletsa mechini ea ho sila ka nepo le litsi tsa ho sila tsa CNC, tse nolofalletsang li-geometri tse rarahaneng ka nepo e phahameng. Sesebelisoa sa ho qetela se na le profil e tšesaane (e tšesaane joalo ka 1.5 mm) e nang le lehlakore le ka pele le lesesaane bakeng sa ho kenngoa ha wafer e boreleli. Thepa e fana ka ho tiea ho hoholo (modulus ea Young ea 380 GPa), ho hanyetsa ho tsofala ho hoholo, le botsitso ba mocheso ho fihlela ho 800°C. Yuniti ka 'ngoe e siloa ka nepo ho fihlela ho batalla ha 0.003mm, ho tšoana ha 0.002mm, le qetello ea bokaholimo ba Ra0.1, ho netefatsa ho kopana ho tsitsitseng ha wafer le ts'ebetso e se nang likaroloana libakeng tsa semiconductor FAB. E fumaneha ka bolelele ho tloha ho 150 mm ho isa ho 450 mm, ka li-geometri tsa ntlha tse ikhethileng (setšoantšo sa bohale, Bernoulli, se bataletseng) le li-flange tse hokeloang ho lekana liroboto tsa OEM. Dikgetho tsa ho qeta bokaholimo di kenyeletsa ho kwahela ka ho kobeha, ho benya, kapa ho kwahela ka ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
Alumina Vacuum Chuck bakeng sa ho Seha le ho Sila ka nepo
Sekotwana sa vacuum sa alumina sa St.Cera se entsoe ka 99.8% Al₂O₃ e hloekileng haholo ka li-groove tsa vacuum tse entsoeng ka nepo. Bokhoni ba rona ba ho sila ka nepo bo fihlella ho batalla ha 0.003mm le ho tšoana ha 0.002mm, ho netefatsa ho tiea ha wafer e se nang ho kobeha nakong ea ho seha, ho sila ka morao le tlhahlobo. Thepa e fana ka matla a phahameng a ho kobeha (361 MPa), ho thatafala (16 GPa), le botsitso ba mocheso ho fihlela ho 800°C. E fumaneha ka libopeho tse chitja ho fihlela ho 600mm bophara ba kantle (OD) le libopeho tse khutlonnetsepa ho fihlela bolelele ba 1500mm. Li-groove tsa vacuum li entsoe ka mokhoa o ikhethileng (lipaterone tse kobehileng, tsa radial, kapa tsa grid) ho latela litlhoko tse itseng tsa ts'ebetso. Sekotwana se seng le se seng se hlahlojoa ka laser interferometer 'me se fanoa ka tlaleho ea netefatso ea ho batalla.
-
Sekoti sa SiC se nang le Metsi se tšetsoeng ka Tšepe bakeng sa ho Tšoara Wafer e Kobehileng le e Nyenyane
Sekotwana sa vacuum sa ceramic se thehiloeng tšepeng sa St.Cera se kopanya lera la ceramic la silicon carbide (SiC) le nang le masoba le setsi sa tšepe se entsoeng ka mokhoa o nepahetseng (aluminium kapa tšepe e sa ruseng). Thepa ea SiC e nang le masoba (e putsoa-e ntšo, masoba a 35–40%, boholo ba masoba a 20–30 μm, ho kenella ha 60 ml/cm²·min) e fana ka kabo e tšoanang, e bonolo ea vacuum holim'a bokaholimo bohle ba wafer, e felisa ho tšoaea ha bohale le ho nolofalletsa tšehetso e sa amaneng le li-wafer tse tšesaane (≤100 μm) kapa tse sothehileng. Lera la SiC le fana ka katoloso e tlase ea mocheso (3.5×10⁻⁶/℃), botsitso ba mocheso ho fihlela ho 1000°C, le matla a ho kokobela a itekanetseng (32–35 MPa). Motheo oa tšepe o eketsa ho tiea ha sebopeho, ho kenya habonolo ka masoba a khoele, le tšireletso khahlanong le ho robeha ha bonolo. Sekotwana sena se loketse ho sila ka morao, ho arola, le ts'ebetso ea wafer ea mocheso o phahameng moo vacuum e tšoanang le ho lumellana ha mocheso ho leng bohlokoa.
-
Poleiti ea Ceramic ea Alumina e Hloekileng Haholo – bakeng sa ho Sireletsa le ho Sireletsa Mocheso o Phahameng
Poleiti ea letsopa ea St.Cera e entsoe ka alumina ea 99.8% e hloekileng haholo (Al₂O₃), e fanang ka matla a phahameng a dielectric (15×10⁶ V/m), botsitso ba mocheso ho fihlela ho 1600°C, le ho hanyetsa ho tsofala ho hoholo. Lipoleiti li hokahantsoe ka nepo ho fihlela ho batalla ≤5 μm ho feta 100 mm le ho hlaka ha bokaholimo ba Ra ≤0.4 μm. E fumaneha ka botenya bo tloaelehileng ho tloha ho 1 mm ho isa ho 20 mm, boholo bo ikhethileng ho fihlela ho 500×500 mm. E sebelisoa e le li-insulator tsa motlakase, li-heater base, li-chamber liners le li-vacuum chuck substrates.
-
Khoele ea Sebaka sa Alumina Ceramic e Hlokahalang ka ho Sebetsa bakeng sa Lisebelisoa tsa Semiconductor
Thupa ea sebaka sa letsopa ea St.Cera e siloa ka nepo ho tloha ho 99.8% alumina e hloekileng haholo (Al₂O₃). E fana ka thata e phahameng (16 GPa), khanyetso e ntle ea ho robeha, le botsitso ba litekanyo. Bophara ba mamello bo tiile joalo ka ±0.005 mm, bolelele bo fihlang ho 150 mm. Bokaholimo ba thupa bo hokahane ho Ra ≤0.2 μm bakeng sa ho kenngoa le ho tlosoa ka boreledi. E sebelisoa e le li-alignment pin, li-dowel pin, kapa li-positioning stops ka har'a li-semiconductor process fixtures, li-wafer cassette, le lisebelisoa tsa tlhahlobo.
-
Khoele ea Ceramic ea Zirconia e Matla a Phahameng – bakeng sa Li-Shaft le Li-Punch tse Hlokahalang ka ho Sebetsa
Thupa ea letsopa ea St.Cera ea zirconia e sitsoe ka nepo ho tsoa ho ZrO₂ e tsitsitseng ea yttria. E fana ka matla a ikhethang a ho kobeha (1000 MPa), ho tiea ha ho robeha (5–8 MPa·m¹/²), le ho thatafala ha Vickers (13 GPa). Thupa e na le ponahalo e ntšo kapa e tšoeu, e teteaneng 6.03 g/cm³, 'me ha e na masoba. Bophara ho tloha ho 1 mm ho isa ho 50 mm, bolelele bo fihlang ho 200 mm, ka mamello e tiileng joalo ka ±0.005 mm. Qetello ea bokaholimo e hokahane ho Ra ≤0.2 μm. E loketse lits'ebetso tse nang le ho robeha ho hoholo joalo ka li-plungers, shafts, dowel pins, le li-blanks tsa lisebelisoa tsa ho seha.
-
Likarolo tsa Ceramic tsa Zirconia tse Tsitsitseng tsa Yttria - Matla a Phahameng le Khanyetso ea ho Qeta
St.Cera e etsa likarolo tsa letsopa tsa zirconia tse ikhethileng ho sebelisa ZrO₂ (Y-TZP) e tsitsitseng ea yttria. Thepa ena e fana ka matla a ikhethang a ho kobeha (1000 MPa), ho tiea ho hoholo ha ho robeha (5–8 MPa·m¹/²), le ho thatafala ha Vickers ha 13 GPa. Boima ke 6.03 g/cm³, ha ho na ho monngoa ha metsi. Likarolo li ka fanoa ka 'mala o mosoeu kapa o motšo. Mokhoa o ikhethang oa ho tiisa phetoho oa Zirconia o fana ka khanyetso e ntle haholo khahlanong le ho ata ha mapetso, e leng se etsang hore e be e loketseng likarolo tse ka angoang ke tšusumetso, ho thothomela ha mocheso, kapa khatello e phahameng. Likarolo tse tloaelehileng li kenyelletsa litulo tsa li-valve, li-plunge tsa pompo, li-fibre guide pin, lisebelisoa tsa ho seha le li-bushing tse sa tsofaleng.
-
Likarolo tsa Ceramic tsa Alumina tse 99.5% tse etselitsoeng ST.CERA
Likarolo tsa sebopeho sa letsopa ke lentsoe le akaretsang la dibopeho tse fapaneng tse rarahaneng tsa dikarolo tsa letsopa. Di entswe ka phofo ya letsopa e hlwekileng haholo, dikarolo tsa letsopa di boptjwa ka ho hatelloa ka omileng kapa ho hatelloa ka serame sa isostatic, mme di silwa ka mocheso o phahameng, ebe di etswa ka ho nepahala. E sebediswa haholo disebedisweng tsa semiconductor, puisano ya optical, laser, disebediswa tsa bongaka, peterole, metallurgy, diindasteri tsa elektroniki tse nang le dikarolo tsa yona tse kang ho hanyetsa mocheso o phahameng, ho hanyetsa mafome, ho hanyetsa ho kgohlahala le ho kenya mocheso.
-
Likarolo tsa Ceramic tsa Alumina tse 99.5% tse etselitsoeng ST.CERA
Likarolo tsa sebopeho sa letsopa ke lentsoe le akaretsang la dibopeho tse fapaneng tse rarahaneng tsa dikarolo tsa letsopa. E sebediswa haholo disebedisweng tsa semiconductor, puisano ya optical, laser, disebedisweng tsa bongaka, peterole, metallurgy, diindasteri tsa elektroniki ka dikarolo tsa yona tse kang ho hanyetsa mocheso o phahameng, ho hanyetsa mafome, ho hanyetsa ho kgohlahala le ho kwahela.
